Печь RTP
Печь трубчатая с быстрым ИК-нагревом и скользящим механизмом RTP, максимальная температура 900 ºC, с кварцевой трубкой Ø 4 дюйма
Артикул: TU-RT26
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная скользящая трубчатая печь для быстрого термического отжига (RTP) представляет собой значительный прогресс в области лабораторной термообработки, специально разработанный для исследователей в области материаловедения, которым требуются экстремальные скорости нагрева и охлаждения. Благодаря использованию усовершенствованной матрицы инфракрасных (ИК) ламп и прецизионного скользящего механизма система обеспечивает быстрые термические циклы, необходимые для синтеза современных 2D-материалов, полупроводниковых пластин и передовых тонких пленок. Основная ценность этого оборудования заключается в его способности достигать точных фазовых переходов и контролируемого роста кристаллов за счет исключительного управления температурным градиентом.
Спроектированная для самых требовательных промышленных сред НИОКР, установка особенно эффективна для выращивания графена и углеродных нанотрубок (УНТ) методом химического осаждения из газовой фазы (CVD), а также для специализированного производства перовскитных солнечных элементов. Ее универсальность позволяет работать в вакууме или контролируемых атмосферных условиях, предоставляя гибкую платформу для различных процессов термообработки. Использование высокочистых кварцевых компонентов и вакуумной арматуры из нержавеющей стали обеспечивает чистую, свободную от загрязнений среду для обработки чувствительных электронных и оптических материалов.
Надежность и стабильность находятся на переднем плане при проектировании этой системы. Двухслойный стальной корпус и система активного воздушного охлаждения предназначены для сохранения структурной целостности и внешней безопасности даже во время высокотемпературных операций. Каждый компонент, от галогенных ламп до скользящих рельсов с приводом от двигателя постоянного тока, выбран с учетом его долговечности и производительности при циклических термических нагрузках. Это гарантирует, что оборудование обеспечивает воспроизводимые результаты в течение тысяч рабочих часов, давая командам по закупкам и ведущим исследователям полную уверенность в своих экспериментальных данных и масштабируемости процессов.
Ключевые особенности
- Высокоинтенсивный нагрев ИК-лампами: Система использует матрицу из восьми галогенных ламп мощностью 1 кВт каждая для достижения сверхбыстрой скорости нагрева до 50°C/с. Это позволяет исследователям достигать рабочих температур за секунды, минимизируя тепловой бюджет и предотвращая нежелательную диффузию в чувствительных полупроводниковых слоях.
- Автоматизированный скользящий механизм охлаждения: Интегрированные двойные скользящие рельсы позволяют корпусу печи автоматически отъезжать от зоны образца по завершении программы. В сочетании со встроенными вентиляторами охлаждения это обеспечивает скорость охлаждения более 8°C/с, что критически важно для закалки фаз или мгновенной остановки химических реакций.
- Точное ПИД-терморегулирование: Продвинутый цифровой контроллер поддерживает 30 программируемых сегментов, позволяя создавать сложные профили нагрева, выдержки и охлаждения. С точностью ±1°C система гарантирует, что каждый процесс строго соответствует заданным термическим параметрам.
- Оптимизированная вакуумная и газовая система: Оснащенная фланцами из нержавеющей стали и встроенным игольчатым клапаном, система поддерживает уровень вакуума до 10^-4 торр с молекулярным насосом. Конструкция правого фланца на петлях облегчает загрузку и выгрузку образцов, а встроенный цифровой вакуумметр обеспечивает мониторинг состояния камеры в реальном времени.
- Прочная двухслойная конструкция: Печь имеет двухслойный стальной корпус с каналами воздушного охлаждения. Эта конструкция не только защищает внутренние компоненты при длительном нагреве, но и гарантирует, что внешний корпус остается безопасным на ощупь, соответствуя современным стандартам лабораторной безопасности.
- Двойной мониторинг термопарами: Установка включает две термопары типа K. Одна предназначена для ПИД-контроллера для регулирования температуры печи, а вторая вставляется непосредственно в зону образца для точного мониторинга фактической температуры материала во время быстрых циклов нагрева и охлаждения.
- Расширяемый интерфейс ПК: Встроенный коммуникационный порт RS485 и включенный в комплект модуль управления MTS-02 позволяют осуществлять дистанционное управление и регистрацию данных через ПК. Это дает исследователям возможность экспортировать термические профили для целей документирования и контроля качества.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Синтез графена | Высокотемпературная CVD-обработка для выращивания одно- и многослойного графена на металлических фольгах. | Высокие скорости нагрева способствуют контролируемому зародышеобразованию и большому размеру зерен. |
| Синтез УНТ | Контролируемый рост углеродных нанотрубок методом газофазного осаждения. | Точный контроль температуры обеспечивает равномерный диаметр и высокую чистоту. |
| Перовскитные солнечные элементы | Термический отжиг и кристаллизация перовскитных тонких пленок для фотоэлектрических исследований. | Быстрое охлаждение предотвращает деградацию пленки и оптимизирует кристаллическую структуру. |
| Отжиг пластин | Быстрый термический отжиг (RTA) для полупроводниковых пластин диаметром до 3 дюймов. | Минимизирует диффузию легирующих примесей при одновременной активации имплантированных ионов. |
| Исследования 2D-материалов | Обработка MoS2, WS2 и других дихалькогенидов переходных металлов. | Высокоскоростные термические циклы позволяют исследовать метастабильные фазы. |
| CVD тонкие пленки | Осаждение специализированных покрытий в вакууме или при низком давлении газового потока. | Интегрированный расходомер и вакуумные фланцы предоставляют готовое CVD-решение. |
Технические характеристики
| Параметр | Спецификация для модели TU-RT26 |
|---|---|
| Номер модели | TU-RT26 |
| Конструкция печи | Двухслойный стальной корпус с воздушным охлаждением; интегрированные автоматические скользящие рельсы |
| Максимальная температура | 900°C (менее 1 часа) |
| Стандартная рабочая температура | 800ºC (менее 120 мин); 600ºC (непрерывно) |
| Скорость нагрева | Макс. 50 ºC/с |
| Скорость охлаждения | Макс. 8 ºC/с (в диапазоне 1000 - 600ºC при скольжении) |
| Нагревательные элементы | 8 шт. галогенных ламп по 1 КВт (ресурс 2000 ч; длина нагрева 200 мм) |
| Рабочая труба | Высокочистый плавленый кварц; Øнар. 100 мм x Øвн. 94 мм x Дл. 1400 мм |
| Требования к питанию | AC 208-240В, однофазное, 50/60 Гц; общая мощность 9 КВт |
| Скользящая система | С приводом от двигателя постоянного тока; длина рельса 1200 мм; ход скольжения 340 мм |
| Скорость скольжения | 0-70 мм/с (регулируется ручкой или автоматической программой) |
| Управление температурой | ПИД-автоконтроллер; 30 программируемых сегментов; точность ±1 ºC |
| Термопары | Двойные типа K (Ø 1/4" x Дл. 24"); для контроля печи и образца |
| Вакуумная система | Фланцы из нержавеющей стали; правый фланец на петлях; KF25 угловой клапан |
| Уровень вакуума | 10^-2 торр (механический насос); 10^-4 торр (молекулярный насос) |
| Управление газом | Встроенный расходомер (16-160 мл/мин); фитинги с игольчатым клапаном |
| Коммуникации | Порт RS485; модуль управления MTS-02 в комплекте |
| Соответствие стандартам | Сертификат CE; NRTL (UL61010) или CSA доступны по запросу |
Почему выбирают нас
- Превосходная термическая маневренность: В отличие от традиционных трубчатых печей, ИК-технология нагрева и автоматическое скользящее охлаждение этой установки обеспечивают беспрецедентные температурные градиенты, значительно сокращая циклы обработки и позволяя осуществлять передовой синтез материалов.
- Надежность промышленного класса: Собранная из премиальных компонентов, включая высокочистый кварц и хромированные стальные рельсы, эта система предназначена для интенсивных рабочих циклов в загруженных исследовательских и производственных средах.
- Прецизионная инженерия: Каждый аспект дизайна, от вакуумных фланцев на петлях до двойного мониторинга термопарами, оптимизирован для удобства использования без ущерба для технических характеристик.
- Готовое интегрированное решение: Со встроенными вакуумметрами, расходомерами и модулями управления ПК система поставляется готовой к немедленному развертыванию в CVD- и RTA-приложениях.
- Глобальное соответствие и поддержка: Сертификация CE гарантирует соответствие международным стандартам безопасности, а наша отзывчивая техническая команда обеспечивает поддержку по кастомизации и долгосрочному обслуживанию.
Для получения подробного коммерческого предложения или обсуждения того, как эта система быстрого термического отжига может быть адаптирована под ваши конкретные исследовательские задачи, пожалуйста, свяжитесь с нашей технической службой продаж уже сегодня.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Сдвижная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, кварцевой трубкой 80 мм (внешний диаметр) и вакуумными фланцами для быстрой термической обработки, ускоренного нагрева и охлаждения
Выполняйте быструю термическую обработку с помощью этой сдвижной трубчатой печи с максимальной температурой 1200°C. Благодаря кварцевой трубке с внешним диаметром 80 мм и ручному механизму сдвига, печь обеспечивает исключительную скорость нагрева и охлаждения до 100°C в минуту, что идеально подходит для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР.
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая сдвижная трубчатая печь для быстрого термического отжига (RTP) и отжига пластин
Ускорьте свои исследования материалов с помощью этой сдвижной трубчатой печи на 1200°C, предназначенной для быстрого термического отжига. Оснащенная 5-дюймовой кварцевой трубкой и двойными ПИД-контроллерами, она обеспечивает точные скорости нагрева и охлаждения для передовых полупроводниковых приложений.
Автоматизированная сдвижная трубчатая печь для быстрого нагрева и охлаждения, внешний диаметр 2 дюйма, макс. 1100°C
Оптимизируйте исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной автоматизированной сдвижной трубчатой печи. Эта система с максимальной температурой 1100°C обеспечивает сверхбыстрый нагрев и охлаждение со скоростью до 100°C в минуту, гарантируя прецизионную термическую обработку для полупроводников, нанотехнологий и промышленных НИОКР, требующих быстрого термического цикла.
Скоростная трубчатая печь для термической обработки с кварцевой трубкой 4 дюйма и ИК-нагревом до 900°C
Оптимизируйте синтез материалов с помощью этой скоростной трубчатой печи RTP с максимальной температурой 900°C. Разработанная для быстрого ИК-нагрева со скоростью 50°C/с и автоматизированного охлаждения, она обеспечивает точный контроль для исследований графена, углеродных нанотрубок и перовскитных солнечных элементов.
Трубчатая печь 1200C с внутренним магнитным скольжением образца для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки
Эта профессиональная трубчатая печь 1200C оснащена ручным магнитным механизмом скольжения образца, специально разработанным для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки. Она обеспечивает точный контроль температуры и стабильный рост материалов для требовательных научно-исследовательских и промышленных применений в области материаловедения.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
Высокотемпературная трубчатая печь 1500°C с раздвижными фланцами и внешним диаметром 50 мм для быстрого термического отжига, быстрого нагрева и охлаждения
Обеспечьте быстрый термический отжиг с помощью этой трубчатой печи с максимальной температурой 1500°C, оснащенной ручными раздвижными фланцами для ускоренного нагрева и охлаждения. Разработанная для исследований в области материаловедения, эта высокоточная система предлагает исключительные вакуумные характеристики и мониторинг с помощью двойного контроллера для требовательных лабораторных применений.
Двухзонная ИК-печь для быстрого термического отжига (RTP) с кварцевой трубкой (внутренний диаметр 4 дюйма) и подвижными держателями образцов
Высокопроизводительная двухзонная ИК-печь RTP с кварцевой трубкой (внутренний диаметр 4 дюйма) и двумя подвижными держателями образцов. Обеспечивает скорость нагрева до 50°C/с для передовых исследований в области синтеза 2D-материалов, сверхпроводимости и прецизионного высокоскоростного осаждения из паровой фазы.
Трубчатая печь с внутренним подвижным тигелем 1200°C для осаждения тонких пленок в контролируемой атмосфере и исследования сублимации материалов
Эта раздвижная трубчатая печь 1200°C оснащена автоматическим внутренним тигельным механизмом для точного позиционирования образцов в контролируемых атмосферах. Идеально подходит для приложений PVD и DVD, обеспечивает превосходную консистентность роста пленок и эффективность термической обработки для лабораторий исследования современных материалов.
Высокотемпературная наклонная вращающаяся трубчатая печь для непрерывной термической обработки порошков и спекания в контролируемой атмосфере
Эта промышленная высокотемпературная наклонная вращающаяся трубчатая печь обеспечивает точную непрерывную обработку порошков и равномерную термообработку в контролируемой атмосфере. Разработанная для передовых исследований и производства, она оснащена усовершенствованными механизмами наклона, встроенными контроллерами массового расхода газа и надежной системой PID-регулирования температуры.
Лабораторные наклонные вращающиеся трубчатые печи для материаловедения и промышленной термообработки
Высокопроизводительные наклонные вращающиеся трубчатые печи, разработанные для точной лабораторной термообработки. Благодаря усовершенствованному PID-управлению, регулируемым углам наклона и превосходной температурной однородности эти системы оптимизируют извлечение металлов и синтез материалов для требовательных промышленных исследований и НИОКР.
Высокотемпературная наклонная вращающаяся трубчатая печь со встроенным контролем массового расхода и многозонным нагревом
Эта высокопроизводительная наклонная вращающаяся трубчатая печь обеспечивает непрерывную обработку материалов с прецизионным контролем температуры и интеграцией многоканальной подачи газа. Разработанная для промышленных исследований и разработок (R&D), она гарантирует равномерную термическую обработку для синтеза передовых материалов и крупномасштабных металлургических испытаний.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Оптимизируйте передовой синтез 2D-материалов с помощью этой двухпечной системы 1200°C, оснащенной сдвижной зоной нагрева для сверхбыстрого охлаждения, независимым ПИД-регулированием температуры и кварцевой рабочей камерой высокой чистоты, разработанной для прецизионного термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD) и НИОКР.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Двухзонная трубчатая печь 1200°C со сдвижным механизмом и фланцами для процессов PECVD
Ускорьте исследования материалов с помощью этой двухзонной сдвижной трубчатой печи 1200°C, разработанной для точных процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Оснащенная мощным ВЧ-плазменным генератором и возможностями быстрого термического отжига, она обеспечивает исключительную равномерность пленок и стабильные результаты для передовых промышленных НИОКР.
Компактная печь для быстрого термического отжига (RTP) с контролируемой атмосферой и кварцевой трубкой с внутренним диаметром 4 дюйма, 1100°C
Усовершенствуйте свои исследования в области полупроводников с помощью этой компактной печи RTP с контролируемой атмосферой. Оснащенная 4-дюймовой кварцевой трубкой и рассчитанная на температуру 1100°C, она обеспечивает скорость нагрева 50°C/сек для прецизионного отжига, процессов CVD и высокопроизводительной обработки материалов.
Трехзонная вращающаяся трубчатая печь для спекания материалов и термообработки в контролируемой атмосфере
Улучшите процессы термической обработки с помощью этой трехзонной вращающейся трубчатой печи. Оснащенная шведскими нагревательными элементами Kanthal A1 и механизмом наклона 0-40 градусов, она обеспечивает превосходную равномерность нагрева для спекания порошков и исследований высокочистых материалов в условиях вакуума или контролируемой атмосферы для промышленных научно-исследовательских отделов.
Трубчатая печь 4 дюйма для высоких температур 1200°C со скользящим фланцем для систем CVD
Эта трубчатая печь 4 дюйма для температур до 1200°C оснащена скользящими фланцами для быстрой загрузки образцов и совместима с высоким вакуумом. Она разработана для прецизионных процессов химического осаждения из газовой фазы и передовых материаловедческих исследований, обеспечивая исключительно надёжную работу в сложных лабораторных условиях.
Высокотемпературные вращающиеся наклонные трубчатые печи для передовой обработки материалов и спекания порошков
Передовые высокотемпературные вращающиеся наклонные трубчатые печи, разработанные для равномерного спекания порошков и обработки материалов. Благодаря динамическому вращению, прецизионному ПИД-регулированию и автоматизированному наклону, эта профессиональная система обеспечивает гомогенную термическую обработку для самых требовательных промышленных и научно-исследовательских задач.
