Печь RTP
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Артикул: TU-RT05
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная двухзонная сдвижная система представляет собой прорыв в области термической обработки для передовых исследований материалов. Оборудование, специально разработанное для процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD) и физического транспорта пара (PVT), оснащено двумя независимыми нагревательными блоками, установленными на прецизионных направляющих. Такая конфигурация обеспечивает беспрецедентный контроль над температурными градиентами и быстрыми термическими циклами, позволяя исследователям достигать сложных профилей синтеза, которые невозможны при использовании стационарных систем. Перемещая зоны нагрева относительно рабочей трубки, пользователи могут создавать локальные горячие точки для испарения прекурсоров, поддерживая при этом заданную температуру для осаждения на подложку.
Система создана для суровых условий промышленных исследований и полупроводниковых лабораторий и способствует производству высококачественных тонких пленок, 2D-материалов и наноструктур. Основное преимущество заключается в универсальности: установка может работать как двухзонная печь для контролируемого градиентного роста или как инструмент для высокоскоростной термической закалки при изучении фазовых переходов. Целевые отрасли включают аэрокосмическую промышленность, хранение энергии (в частности, разработку перовскитных солнечных элементов) и микроэлектронику, где точность и воспроизводимость являются основой успешных инноваций.
Система спроектирована с акцентом на долгосрочную надежность и использует прочную двухслойную стальную конструкцию для обеспечения внешней безопасности и тепловой эффективности. Сверхпрочные направляющие рассчитаны на плавное и стабильное движение даже после тысяч циклов при высоких температурах. Каждый компонент, от нагревательных элементов из сплава Fe-Cr-Al с добавлением молибдена до герметичных фланцев из нержавеющей стали, был выбран для работы в сложных условиях высокого вакуума и агрессивных газовых сред. Эта приверженность инженерному совершенству гарантирует, что оборудование будет демонстрировать стабильную работу изо дня в день даже в самых сложных исследовательских сценариях.
Ключевые особенности
- Независимое управление двумя зонами: Два отдельных нагревательных блока, каждый с зоной нагрева 200 мм, позволяют независимо программировать PID-контроллеры. Это обеспечивает одновременное управление температурой сублимации прекурсора и температурой роста на подложке, что критически важно для сложных CVD-рецептур.
- Прецизионная система сдвижных направляющих: Оборудование установлено на системе двойных направляющих длиной 1200 мм. Это позволяет операторам вручную или (опционально) автоматически перемещать печи на расстояние 400 мм, обеспечивая физический механизм для быстрых изменений температуры и закалки.
- Передовая тепловая динамика: За счет сдвига нагретой печи в сторону от места расположения образца система может достигать скорости нагрева и охлаждения до 100°C/мин. Эта возможность быстрой термической обработки (RTP) необходима для контроля размера зерна и кристаллической структуры в современных тонких пленках.
- Высокопроизводительные нагревательные элементы: Оснащенная элементами из сплава Fe-Cr-Al, легированного молибденом, установка обеспечивает стабильный и долговечный нагрев до 1200°C, гарантируя длительный срок службы даже при непрерывной работе при высоких температурах.
- Герметичные вакуумные фланцы: В стандартную комплектацию входят вакуумные фланцы из нержавеющей стали со встроенными датчиками и усиленными опорами. Они обеспечивают герметичность, поддерживая уровень вакуума до 10E-5 торр при использовании молекулярного насоса.
- Программируемая PID-автоматизация: Каждая зона управляется автоматическим контроллером с 30 программируемыми сегментами. Это позволяет точно контролировать скорость нагрева, время выдержки и кривые охлаждения, снижая риск человеческой ошибки при выполнении сложных циклов.
- Встроенные системы безопасности: Система включает встроенные аварийные сигналы перегрева и функции автоматического отключения. Двухслойная конструкция корпуса из стали включает воздушное охлаждение, благодаря чему поверхность печи остается безопасной для прикосновения во время работы.
- Модульное расширение системы: Оборудование спроектировано с учетом роста ваших исследовательских потребностей. Его можно легко модернизировать с помощью контроллеров массового расхода газа (MFC) для точной подачи газов, ВЧ-плазменных генераторов для PECVD или комплектов моторизованных направляющих для автоматизированных циклов сдвига.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Синтез перовскитов | Точный контроль зон испарения и осаждения MAI и галогенидов свинца. | Настройка размера зерна и однородности пленки для повышения эффективности солнечных элементов. |
| Рост 2D-материалов | Рост графена, MoS2 и WS2 методом химического осаждения из газовой фазы на различных подложках. | Получение высококачественных крупноплощадных монослойных пленок с воспроизводимыми результатами. |
| Термическая закалка | Быстрое перемещение печи для достижения скорости охлаждения 100°C/мин. | Фиксация высокотемпературных фаз и предотвращение роста зерен во время охлаждения. |
| Сублимация/Очистка | Разделение материалов на основе их различных температур испарения и конденсации. | Получение высокочистых прекурсоров для производства полупроводников. |
| Производство нанопроволок | Рост VLS (пар-жидкость-кристалл), требующий различных температур для источника и катализатора. | Обеспечивает точный контроль морфологии и длины нанопроволок. |
| Вакуумная термообработка | Отжиг или снятие напряжений материалов в контролируемой атмосфере или вакууме. | Предотвращает окисление и загрязнение чувствительных промышленных сплавов. |
Технические характеристики
| Параметр | Характеристики для TU-RT05 |
|---|---|
| Конструкция печи | Два сдвижных двухслойных стальных блока на направляющих 1200 мм |
| Макс. рабочая температура | 1200°C (< 1 часа) |
| Температура непрерывной работы | 1100°C |
| Макс. расстояние сдвига | 400 мм (стандартно вручную; опционально моторизованно) |
| Длина зоны нагрева | 200 мм (8") на печь (всего 400 мм) |
| Зона постоянной температуры | 60 мм (+/- 3°C при 800°C) на печь |
| Макс. скорость нагрева/охлаждения | ~100°C/мин (достигается сдвигом печи) |
| Стандартная скорость нагрева | 15°C/сек (RT-150°C) до 0.5°C/сек (800°C-1000°C) |
| Стандартная скорость охлаждения | 15°C/сек (1000-950°C) до 0.5°C/сек (400°C-300°C) |
| Нагревательные элементы | Сплав Fe-Cr-Al, легированный молибденом |
| Материал/размер трубки | Кварцевая трубка; 50 мм наружный диаметр x 44 мм внутренний диаметр x 1500 мм длина |
| Опциональная трубка | Трубка из высокотемпературного сплава S310 для высокого давления (100 PSI) |
| Вакуумные фланцы | Нержавеющая сталь с вакуумметром и усиленной опорой |
| Уровень вакуума | 10E-2 торр (механический насос) до 10E-5 торр (молекулярный насос) |
| Температурный контроллер | Двойной PID-контроллер, 30 программируемых сегментов |
| Точность температуры | +/- 1°C |
| Электропитание | AC 208-240В, однофазное, 50/60 Гц, 20А всего |
| Общая мощность | 2.5 кВт |
| Соответствие | Сертификат CE (NRTL/CSA по запросу) |
Почему стоит выбрать TU-RT05
- Превосходная тепловая гибкость: Двухзонная сдвижная конструкция обеспечивает уровень контроля процесса, недоступный для стационарных печей, особенно для быстрой закалки и CVD с градиентным контролем.
- Прецизионная инженерия: Изготовлена из компонентов премиум-класса, включая элементы из сплава с молибденом и фланцы из высококачественной нержавеющей стали, что гарантирует целостность высокого вакуума и температурную стабильность.
- Масштабируемость на будущее: Независимо от того, нужна ли вам простая CVD-установка сегодня или полностью автоматизированная система PECVD завтра, это устройство поддерживает бесшовную модернизацию с помощью MFC и ВЧ-генераторов.
- Непревзойденная эффективность охлаждения: Физическое отделение нагревательной камеры от рабочей трубки позволяет осуществлять по-настоящему быстрое охлаждение, что критически важно для металлургических и полупроводниковых исследований.
- Доказанная надежность: Благодаря тысячам устройств, работающих по всему миру, наш дизайн является отраслевым стандартом долговечности и эксплуатационной стабильности в высокотемпературных исследованиях.
Свяжитесь с нами сегодня для индивидуальной конфигурации или получения официального коммерческого предложения для специфических требований вашей лаборатории в области CVD.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Оптимизируйте передовой синтез 2D-материалов с помощью этой двухпечной системы 1200°C, оснащенной сдвижной зоной нагрева для сверхбыстрого охлаждения, независимым ПИД-регулированием температуры и кварцевой рабочей камерой высокой чистоты, разработанной для прецизионного термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD) и НИОКР.
Двухзонная трубчатая печь 1200°C со сдвижным механизмом и фланцами для процессов PECVD
Ускорьте исследования материалов с помощью этой двухзонной сдвижной трубчатой печи 1200°C, разработанной для точных процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Оснащенная мощным ВЧ-плазменным генератором и возможностями быстрого термического отжига, она обеспечивает исключительную равномерность пленок и стабильные результаты для передовых промышленных НИОКР.
Трубчатая печь 4 дюйма для высоких температур 1200°C со скользящим фланцем для систем CVD
Эта трубчатая печь 4 дюйма для температур до 1200°C оснащена скользящими фланцами для быстрой загрузки образцов и совместима с высоким вакуумом. Она разработана для прецизионных процессов химического осаждения из газовой фазы и передовых материаловедческих исследований, обеспечивая исключительно надёжную работу в сложных лабораторных условиях.
Трубчатая печь с внутренним подвижным тигелем 1200°C для осаждения тонких пленок в контролируемой атмосфере и исследования сублимации материалов
Эта раздвижная трубчатая печь 1200°C оснащена автоматическим внутренним тигельным механизмом для точного позиционирования образцов в контролируемых атмосферах. Идеально подходит для приложений PVD и DVD, обеспечивает превосходную консистентность роста пленок и эффективность термической обработки для лабораторий исследования современных материалов.
Трубчатая печь 1200C с внутренним магнитным скольжением образца для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки
Эта профессиональная трубчатая печь 1200C оснащена ручным магнитным механизмом скольжения образца, специально разработанным для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки. Она обеспечивает точный контроль температуры и стабильный рост материалов для требовательных научно-исследовательских и промышленных применений в области материаловедения.
5-дюймовая трехзонная вращающаяся трубчатая печь со встроенной системой подачи газа и рабочей температурой до 1200°C для передовых процессов CVD
Эта высокоточная трехзонная вращающаяся трубчатая печь с рабочей температурой 1200°C оснащена встроенной четырехканальной системой подачи газа и автоматизированным механизмом наклона, обеспечивая равномерную термическую обработку и химическое осаждение из газовой фазы (CVD) для передовых аккумуляторных материалов, синтеза катодов и промышленных исследований порошков.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая сдвижная трубчатая печь для быстрого термического отжига (RTP) и отжига пластин
Ускорьте свои исследования материалов с помощью этой сдвижной трубчатой печи на 1200°C, предназначенной для быстрого термического отжига. Оснащенная 5-дюймовой кварцевой трубкой и двойными ПИД-контроллерами, она обеспечивает точные скорости нагрева и охлаждения для передовых полупроводниковых приложений.
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.
Двухзонная вращающаяся трубчатая печь с прецизионным вращением и регулируемым наклоном для передовых исследований материалов
Высокопроизводительная двухзонная вращающаяся трубчатая печь с нагревательными элементами Kanthal A1 и прецизионным вращением для равномерной обработки материалов. Идеально подходит для процессов CVD и научно-исследовательских работ, требующих надежного температурного контроля и регулируемого наклона в условиях требовательных промышленных лабораторий.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь для исследования материалов и процессов CVD
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой высокоточной двухзонной вакуумной трубчатой печи. Разработанная для передовых исследований материалов и процессов CVD, она оснащена независимым контролем температуры, высокой скоростью нагрева и надежной вакуумной герметизацией для получения стабильных результатов термообработки промышленного уровня.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
5-дюймовая вращающаяся трубчатая печь с системой автоматической подачи и выгрузки, 1200°C, трехзонная обработка порошков методом CVD
Профессиональная 5-дюймовая вращающаяся трубчатая печь с системой автоматической подачи и выгрузки. Трехзонный нагрев до 1200°C с высокой производительностью для синтеза материалов литий-ионных аккумуляторов в контролируемой атмосфере или вакууме. Идеально подходит для масштабируемых промышленных исследований и разработок, а также пилотного производства, оптимизированного для эффективной термической обработки.
Гибридная муфельная и трубчатая печь 1200°C для исследований материалов с кварцевыми трубками и контролем двойной атмосферы
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной гибридной печи 1200°C, оснащенной муфельной камерой объемом 7,2 л и двумя 2-дюймовыми кварцевыми трубками для универсальной обработки в вакууме или инертной среде. Оцените точность контроля температуры и исключительную тепловую эффективность для промышленных НИОКР.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева с системой вакуумной атмосферы
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева обеспечивает максимальную температуру 1200°C, скорость нагрева до 100°C в минуту, точное ПИД-регулирование и возможности работы в вакуумной атмосфере для передовых исследований материалов, спекания и процессов химического осаждения из газовой фазы.
