Печь RTP
Сдвижная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, кварцевой трубкой 80 мм (внешний диаметр) и вакуумными фланцами для быстрой термической обработки, ускоренного нагрева и охлаждения
Артикул: TU-KT08
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для лабораторий и промышленных объектов, требующих циклов быстрого нагрева и охлаждения. Интеграция специализированного механизма сдвига с прецизионной нагревательной камерой позволяет исследователям достигать температурных градиентов и скоростей закалки, недоступных для стационарных печей. Основное преимущество системы заключается в возможности проведения быстрой термической обработки (RTP) за малую долю стоимости традиционных специализированных систем RTP, что делает её незаменимым инструментом для инноваций в области материаловедения и высокопроизводительного тестирования образцов.
Система в первую очередь предназначена для передовых исследований материалов, обработки полупроводников и изучения фазовых превращений. Возможность вручную перемещать зону нагрева вдоль фиксированной технологической трубки позволяет предварительно нагревать печь независимо от положения образца, обеспечивая мгновенное воздействие высоких температур. Установка часто используется при отжиге полупроводниковых пластин, осаждении тонких пленок и синтезе низкоразмерных наноматериалов, где точный контроль термической истории критически важен для достижения желаемых свойств материала.
Оборудование создано для жестких условий НИОКР и отличается прочной двухслойной стальной конструкцией со встроенными двойными охлаждающими вентиляторами. Такой инженерный подход гарантирует безопасность внешней поверхности при работе внутренних компонентов на пиковой эффективности. Надежность дополнительно обеспечивается высокочистыми кварцевыми компонентами и нагревательными элементами из сплава, легированного молибденом (Mo), что обеспечивает стабильную термическую среду даже при повторяющихся операциях быстрого сдвига. Эта система представляет собой долгосрочную инвестицию для учреждений, специализирующихся на передовой термической обработке и металлургическом анализе.
Основные характеристики
- Высокоскоростной механизм сдвига: Оборудование установлено на паре прецизионных направляющих из хромированной стали, обеспечивающих общую длину хода 600 мм. Эта возможность ручного сдвига позволяет оператору перемещать предварительно нагретую печь над образцом или в сторону, достигая скорости нагрева и охлаждения до 100°C/мин или даже 15°C/сек при определенных атмосферных условиях.
- Усовершенствованное ПИД-управление температурой: В системе используется сложный автоматический ПИД-контроллер с 30 программируемыми сегментами. Благодаря точности управления ±1°C, устройство обеспечивает воспроизводимые температурные профили. В комплект входят встроенные аварийные сигналы перегрева и протоколы автоматической защиты, что позволяет эксплуатировать печь без присмотра во время длительных циклов.
- Мониторинг с помощью двух термопар: Для обеспечения высочайшего уровня целостности данных система включает две термопары K-типа. Одна предназначена для управления печью, а вторая вставляется непосредственно в трубку для мониторинга профиля температуры образца в режиме реального времени. Эта конфигурация необходима для документирования точного термического воздействия во время быстрых маневров сдвига.
- Премиальная кварцевая технологическая трубка: В печи используется трубка из высокочистого плавленого кварца с внешним диаметром 80 мм и длиной 1400 мм. Этот материал обладает превосходной стойкостью к тепловому удару и химической чистотой, что делает его идеальным для процессов с использованием чувствительных материалов или специализированных газовых сред.
- Превосходный контроль вакуума и атмосферы: Система оснащена вакуумными фланцами из нержавеющей стали и цифровым вакуумметром, что позволяет немедленно использовать её для работы в вакууме или инертной среде. Фланцы поддерживаются усиленными креплениями для обеспечения стабильности во время процесса сдвига, а встроенный игольчатый клапан позволяет точно управлять атмосферой.
- Улучшенный химический состав нагревательных элементов: Нагревательные элементы изготовлены из сплава Fe-Cr-Al, легированного молибденом (Mo). Это усовершенствованное легирование повышает структурную целостность элементов при высоких температурах, предотвращая провисание и обеспечивая длительный срок службы даже при частых циклах быстрого нагрева.
- Регистрация данных и подключение к ПК: Каждое устройство поставляется с сертифицированным NIST термометром и модулем управления через ПК. Интерфейс RS485 и входящее в комплект программное обеспечение для Windows позволяют исследователям записывать, анализировать и экспортировать температурные профили, обеспечивая полную прослеживаемость чувствительных экспериментальных данных.
- Двухслойная безопасная конструкция: Корпус печи имеет двухслойную стальную структуру со встроенными двойными вентиляторами охлаждения. Эта конструкция способствует более быстрому отводу тепла от электроники и гарантирует, что внешняя поверхность остается безопасной для прикосновения даже при непрерывной работе при 1100°C.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Быстрая термическая обработка (RTP) | Использование механизма сдвига для перемещения печи над образцом при заданной температуре. | Минимизирует тепловой бюджет и предотвращает нежелательную диффузию в полупроводниковых образцах. |
| Изучение фазовых превращений | Быстрое охлаждение образцов от высоких температур до комнатной путем отвода зоны нагрева. | Позволяет фиксировать метастабильные фазы и изучать кинетику закалки в металлургии. |
| Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) | Точный контроль температурных зон и потока газа для выращивания тонких пленок или наноструктур. | Высокочистый кварц и вакуумная герметичность обеспечивают качественную среду роста без загрязнений. |
| Отжиг полупроводников | Высокоскоростное термическое циклирование кремниевых пластин или сложных полупроводников для активации примесей. | Увеличивает пропускную способность и обеспечивает равномерное распределение температуры в зоне постоянного нагрева. |
| Испытания катализаторов | Подвергание каталитических материалов быстрым тепловым ударам и воздействию различных газовых сред. | Позволяет проводить высоконагрузочные испытания долговечности и производительности материалов в экстремальных условиях. |
| Синтез углеродных нанотрубок | Выращивание УНТ с использованием контролируемого потока газа и быстрых скачков температуры. | Трубка диаметром 80 мм позволяет обрабатывать несколько подложек или объемные порошки за один цикл. |
| Кристаллизация тонких пленок | Быстрый нагрев аморфных пленок для индукции кристаллизации без деградации подложки. | Достигает высоких скоростей нагрева (15°C/сек), защищая чувствительные материалы подложек. |
Технические характеристики
| Категория характеристик | Параметры (Модель: TU-KT08) |
|---|---|
| Номер модели | TU-KT08 |
| Конструкция печи | Двухслойная сталь с двойными вентиляторами охлаждения; ручное перемещение по направляющим 1200 мм |
| Расстояние сдвига | Эффективный ход 600 мм |
| Макс. температура | 1200°C (< 1 часа) |
| Рабочая температура | 1100°C |
| Длина зоны нагрева | 440 мм (одна зона) |
| Зона постоянной температуры | 150 мм (±3°C при 1000°C) |
| Мощность / Напряжение | 2.5 кВт; AC 208-240В, одна фаза, 50/60 Гц |
| Нагревательные элементы | Сплав Fe-Cr-Al, легированный молибденом (Mo) |
| Технологическая трубка | Высокочистый плавленый кварц; внешний диаметр: 80 мм; внутренний диаметр: 75 мм; длина: 1400 мм |
| Контроллер температуры | Автоматический ПИД-контроль, 30 программируемых сегментов, точность ±1°C |
| Термопары | Две термопары K-типа (одна для управления печью, одна для контроля образца) |
| Интерфейс данных | Интерфейс RS485 с ПО для Windows и сертифицированным NIST термометром |
| Вакуумные фланцы | Нержавеющая сталь с усиленной опорой; включает игольчатый клапан и цифровой вакуумметр |
| Макс. скорость нагрева | 15°C/сек (RT-150°C); 10°C/сек (150-250°C); 7°C/сек (250-350°C); 4°C/сек (350-500°C) |
| Макс. скорость охлаждения | 15°C/сек (1000-950°C); 10°C/сек (950-900°C); 7°C/сек (900-850°C); 4°C/сек (850-750°C) |
| Уровень вакуума | 10E-4 торр (молекулярный насос); 10E-2 торр (механический насос) |
| Безопасность атмосферы | < 0.2 бар / 3 psi / 0.02 МПа (рекомендуется поток газа < 200 SCCM) |
Почему стоит выбрать эту печь
- Непревзойденная термическая гибкость: Эта система предоставляет исследователям возможность выполнять как стандартную длительную термообработку, так и сверхбыструю термическую обработку благодаря прецизионному ручному механизму сдвига и высокомощным нагревательным элементам.
- Комплексные возможности документирования: В отличие от стандартных лабораторных печей, данное устройство включает мониторинг с помощью двух термопар и регистрацию данных, сертифицированную NIST, что гарантирует документирование каждого термического цикла для публикаций или требований промышленного контроля качества.
- Надежная инженерия и безопасность: От двухслойного стального корпуса, поддерживающего низкую температуру поверхности, до усиленных опор фланцев, защищающих кварцевую трубку во время сдвига — каждый компонент спроектирован для промышленной долговечности и безопасности оператора.
- Готовое решение для вакуумных процессов: Включение высококачественных фланцев из нержавеющей стали, цифрового вакуумметра и всех необходимых фитингов означает, что оборудование готово к экспериментам в высоком вакууме и инертной среде сразу после установки.
- Универсальный и масштабируемый дизайн: Благодаря трубке с внешним диаметром 80 мм система подходит для широкого спектра размеров образцов и конфигураций лодочек, что делает её пригодной для разнообразных исследовательских направлений — от металлургии до полупроводниковых тонких пленок.
Наша команда инженеров готова помочь вам подобрать идеальную термическую конфигурацию для ваших конкретных нужд в области исследования материалов. Свяжитесь с нами сегодня для получения технической консультации или официального коммерческого предложения на эту высокопроизводительную сдвижную печную систему.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная трубчатая печь 1500°C с раздвижными фланцами и внешним диаметром 50 мм для быстрого термического отжига, быстрого нагрева и охлаждения
Обеспечьте быстрый термический отжиг с помощью этой трубчатой печи с максимальной температурой 1500°C, оснащенной ручными раздвижными фланцами для ускоренного нагрева и охлаждения. Разработанная для исследований в области материаловедения, эта высокоточная система предлагает исключительные вакуумные характеристики и мониторинг с помощью двойного контроллера для требовательных лабораторных применений.
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая сдвижная трубчатая печь для быстрого термического отжига (RTP) и отжига пластин
Ускорьте свои исследования материалов с помощью этой сдвижной трубчатой печи на 1200°C, предназначенной для быстрого термического отжига. Оснащенная 5-дюймовой кварцевой трубкой и двойными ПИД-контроллерами, она обеспечивает точные скорости нагрева и охлаждения для передовых полупроводниковых приложений.
Трубчатая печь 4 дюйма для высоких температур 1200°C со скользящим фланцем для систем CVD
Эта трубчатая печь 4 дюйма для температур до 1200°C оснащена скользящими фланцами для быстрой загрузки образцов и совместима с высоким вакуумом. Она разработана для прецизионных процессов химического осаждения из газовой фазы и передовых материаловедческих исследований, обеспечивая исключительно надёжную работу в сложных лабораторных условиях.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
Многопозиционная трубчатая печь 1100°C для лабораторных исследований материалов и передовой промышленной термической обработки
Эта многопозиционная трубчатая печь обеспечивает прецизионный нагрев до 1100°C с возможностью вертикальной и горизонтальной ориентации. Разработанная для передовых исследований материалов, она оснащена 30-сегментным ПИД-контроллером и высокочистой волокнистой изоляцией для исключительной термической стабильности и надежной работы в промышленных лабораториях.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Автоматизированная сдвижная трубчатая печь для быстрого нагрева и охлаждения, внешний диаметр 2 дюйма, макс. 1100°C
Оптимизируйте исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной автоматизированной сдвижной трубчатой печи. Эта система с максимальной температурой 1100°C обеспечивает сверхбыстрый нагрев и охлаждение со скоростью до 100°C в минуту, гарантируя прецизионную термическую обработку для полупроводников, нанотехнологий и промышленных НИОКР, требующих быстрого термического цикла.
Трубчатая печь 1200C с внутренним магнитным скольжением образца для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки
Эта профессиональная трубчатая печь 1200C оснащена ручным магнитным механизмом скольжения образца, специально разработанным для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки. Она обеспечивает точный контроль температуры и стабильный рост материалов для требовательных научно-исследовательских и промышленных применений в области материаловедения.
Десятизонная лабораторная трубчатая печь многоориентационного типа для высокотемпературной градиентной термообработки при 1200°C
Оптимизированная для сложных термических профилей, эта десятизонная печь обеспечивает точное регулирование температуры до 1200°C как в горизонтальном, так и в вертикальном положении. Идеально подходит для научно-исследовательских разработок в области материаловедения, требующих крупномасштабных температурных градиентов и надежной обработки в контролируемой атмосфере в системе с общей длиной нагрева 1470 мм.
Высокотемпературная трубчатая печь из оксида алюминия 1700°C с зоной нагрева 18 дюймов и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта профессиональная трубчатая печь на 1700°C оснащена восемнадцатидюймовой зоной нагрева и трубками из высокочистого оксида алюминия для передовых исследований материалов. Разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, она обеспечивает исключительную термическую стабильность и надежность для сложных лабораторных процессов.
Шестизонная трубчатая печь разъемного типа с глиноземной трубкой и вакуумными фланцами для высокотемпературной обработки до 1500°C и CVD-процессов
Эта шестизонная трубчатая печь разъемного типа с рабочей температурой 1500°C обеспечивает исключительный тепловой контроль для профессиональных лабораторных исследований и высокотемпературных CVD-процессов. Оснащена глиноземной трубкой длиной 1800 мм и точными 30-сегментными ПИД-контроллерами для достижения стабильных результатов обработки материалов и отжига.
Высокотемпературная трубчатая печь 1200°C с разъемным корпусом, откидными вакуумными фланцами и кварцевой трубкой 4 дюйма для лабораторных исследований
Эта трубчатая печь с разъемным корпусом (1200°C) оснащена откидными вакуумными фланцами и четырехдюймовой кварцевой трубкой для удобной загрузки образцов. Разработанная для прецизионной термической обработки, она обеспечивает исключительную равномерность температуры и вакуумные характеристики для передовых исследований в области материаловедения и промышленных НИОКР.
Скоростная трубчатая печь для термической обработки с кварцевой трубкой 4 дюйма и ИК-нагревом до 900°C
Оптимизируйте синтез материалов с помощью этой скоростной трубчатой печи RTP с максимальной температурой 900°C. Разработанная для быстрого ИК-нагрева со скоростью 50°C/с и автоматизированного охлаждения, она обеспечивает точный контроль для исследований графена, углеродных нанотрубок и перовскитных солнечных элементов.
Печь трубчатая с быстрым ИК-нагревом и скользящим механизмом RTP, максимальная температура 900 ºC, с кварцевой трубкой Ø 4 дюйма
Максимизируйте эффективность НИОКР с этой скользящей RTP трубчатой печью на 900°C, оснащенной быстрым ИК-нагревом, скоростью нагрева до 50°C/с и автоматическим охлаждением для выращивания графена, синтеза УНТ и отжига полупроводниковых пластин в вакууме или атмосферных условиях.
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с системой турбомолекулярного насоса высокого вакуума и многоканальным газовым смесителем с контроллерами массового расхода
Эта современная высокотемпературная трубчатая печь (1700°C) объединяет прецизионную систему турбомолекулярного высоковакуумного насоса и многоканальный газовый смеситель с контроллерами массового расхода, обеспечивая исключительную производительность для сложных процессов CVD, диффузии и материаловедческих исследований в требовательных промышленных R&D средах.
Высокотемпературная автоматизированная трубчатая печь 5 дюймов для автономных исследований материалов и передовых лабораторных НИОКР
Ускорьте синтез материалов с помощью этой автоматизированной трубчатой печи на 1200 °C, оснащённой прецизионным вакуумным контролем, высокочистым кварцевым процессным трактом и интеграцией, готовой к удалённой работе, для исследований с высокой пропускной способностью на базе ИИ и автономных лабораторных приложений в требовательных промышленных секторах материаловедения и передовых рабочих процессах НИОКР.
Трехзонная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, внешний диаметр до 6 дюймов, с трубкой и фланцами
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой трехзонной трубчатой печи на 1200°C с поддержкой внешнего диаметра 6 дюймов и усовершенствованным сенсорным управлением. Эта высокоточная система обеспечивает равномерное распределение температуры для передовых исследований материалов, отжига полупроводников и промышленной термообработки.
Компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь 1800°C с трубкой из оксида алюминия (внешний диаметр 60 мм) и нагревательными элементами Kanthal MoSi2
Эта компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь (1800°C) оснащена первоклассными нагревательными элементами Kanthal и трубкой из оксида алюминия с внешним диаметром 60 мм. Разработанная для исследований материалов и процессов спекания, она обеспечивает прецизионную термическую обработку в вакууме или контролируемой атмосфере для лабораторных НИОКР.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.