Печь RTP
Сдвижная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, кварцевой трубкой 80 мм (внешний диаметр) и вакуумными фланцами для быстрой термической обработки, ускоренного нагрева и охлаждения
Артикул: TU-KT08
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта

Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для лабораторий и промышленных объектов, требующих циклов быстрого нагрева и охлаждения. Интеграция специализированного механизма сдвига с прецизионной нагревательной камерой позволяет исследователям достигать температурных градиентов и скоростей закалки, недоступных для стационарных печей. Основное преимущество системы заключается в возможности проведения быстрой термической обработки (RTP) за малую долю стоимости традиционных специализированных систем RTP, что делает её незаменимым инструментом для инноваций в области материаловедения и высокопроизводительного тестирования образцов.
Система в первую очередь предназначена для передовых исследований материалов, обработки полупроводников и изучения фазовых превращений. Возможность вручную перемещать зону нагрева вдоль фиксированной технологической трубки позволяет предварительно нагревать печь независимо от положения образца, обеспечивая мгновенное воздействие высоких температур. Установка часто используется при отжиге полупроводниковых пластин, осаждении тонких пленок и синтезе низкоразмерных наноматериалов, где точный контроль термической истории критически важен для достижения желаемых свойств материала.
Оборудование создано для жестких условий НИОКР и отличается прочной двухслойной стальной конструкцией со встроенными двойными охлаждающими вентиляторами. Такой инженерный подход гарантирует безопасность внешней поверхности при работе внутренних компонентов на пиковой эффективности. Надежность дополнительно обеспечивается высокочистыми кварцевыми компонентами и нагревательными элементами из сплава, легированного молибденом (Mo), что обеспечивает стабильную термическую среду даже при повторяющихся операциях быстрого сдвига. Эта система представляет собой долгосрочную инвестицию для учреждений, специализирующихся на передовой термической обработке и металлургическом анализе.
Основные характеристики
- Высокоскоростной механизм сдвига: Оборудование установлено на паре прецизионных направляющих из хромированной стали, обеспечивающих общую длину хода 600 мм. Эта возможность ручного сдвига позволяет оператору перемещать предварительно нагретую печь над образцом или в сторону, достигая скорости нагрева и охлаждения до 100°C/мин или даже 15°C/сек при определенных атмосферных условиях.
- Усовершенствованное ПИД-управление температурой: В системе используется сложный автоматический ПИД-контроллер с 30 программируемыми сегментами. Благодаря точности управления ±1°C, устройство обеспечивает воспроизводимые температурные профили. В комплект входят встроенные аварийные сигналы перегрева и протоколы автоматической защиты, что позволяет эксплуатировать печь без присмотра во время длительных циклов.
- Мониторинг с помощью двух термопар: Для обеспечения высочайшего уровня целостности данных система включает две термопары K-типа. Одна предназначена для управления печью, а вторая вставляется непосредственно в трубку для мониторинга профиля температуры образца в режиме реального времени. Эта конфигурация необходима для документирования точного термического воздействия во время быстрых маневров сдвига.
- Премиальная кварцевая технологическая трубка: В печи используется трубка из высокочистого плавленого кварца с внешним диаметром 80 мм и длиной 1400 мм. Этот материал обладает превосходной стойкостью к тепловому удару и химической чистотой, что делает его идеальным для процессов с использованием чувствительных материалов или специализированных газовых сред.
- Превосходный контроль вакуума и атмосферы: Система оснащена вакуумными фланцами из нержавеющей стали и цифровым вакуумметром, что позволяет немедленно использовать её для работы в вакууме или инертной среде. Фланцы поддерживаются усиленными креплениями для обеспечения стабильности во время процесса сдвига, а встроенный игольчатый клапан позволяет точно управлять атмосферой.
- Улучшенный химический состав нагревательных элементов: Нагревательные элементы изготовлены из сплава Fe-Cr-Al, легированного молибденом (Mo). Это усовершенствованное легирование повышает структурную целостность элементов при высоких температурах, предотвращая провисание и обеспечивая длительный срок службы даже при частых циклах быстрого нагрева.
- Регистрация данных и подключение к ПК: Каждое устройство поставляется с сертифицированным NIST термометром и модулем управления через ПК. Интерфейс RS485 и входящее в комплект программное обеспечение для Windows позволяют исследователям записывать, анализировать и экспортировать температурные профили, обеспечивая полную прослеживаемость чувствительных экспериментальных данных.
- Двухслойная безопасная конструкция: Корпус печи имеет двухслойную стальную структуру со встроенными двойными вентиляторами охлаждения. Эта конструкция способствует более быстрому отводу тепла от электроники и гарантирует, что внешняя поверхность остается безопасной для прикосновения даже при непрерывной работе при 1100°C.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Быстрая термическая обработка (RTP) | Использование механизма сдвига для перемещения печи над образцом при заданной температуре. | Минимизирует тепловой бюджет и предотвращает нежелательную диффузию в полупроводниковых образцах. |
| Изучение фазовых превращений | Быстрое охлаждение образцов от высоких температур до комнатной путем отвода зоны нагрева. | Позволяет фиксировать метастабильные фазы и изучать кинетику закалки в металлургии. |
| Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) | Точный контроль температурных зон и потока газа для выращивания тонких пленок или наноструктур. | Высокочистый кварц и вакуумная герметичность обеспечивают качественную среду роста без загрязнений. |
| Отжиг полупроводников | Высокоскоростное термическое циклирование кремниевых пластин или сложных полупроводников для активации примесей. | Увеличивает пропускную способность и обеспечивает равномерное распределение температуры в зоне постоянного нагрева. |
| Испытания катализаторов | Подвергание каталитических материалов быстрым тепловым ударам и воздействию различных газовых сред. | Позволяет проводить высоконагрузочные испытания долговечности и производительности материалов в экстремальных условиях. |
| Синтез углеродных нанотрубок | Выращивание УНТ с использованием контролируемого потока газа и быстрых скачков температуры. | Трубка диаметром 80 мм позволяет обрабатывать несколько подложек или объемные порошки за один цикл. |
| Кристаллизация тонких пленок | Быстрый нагрев аморфных пленок для индукции кристаллизации без деградации подложки. | Достигает высоких скоростей нагрева (15°C/сек), защищая чувствительные материалы подложек. |
Технические характеристики
| Категория характеристик | Параметры (Модель: TU-KT08) |
|---|---|
| Номер модели | TU-KT08 |
| Конструкция печи | Двухслойная сталь с двойными вентиляторами охлаждения; ручное перемещение по направляющим 1200 мм |
| Расстояние сдвига | Эффективный ход 600 мм |
| Макс. температура | 1200°C (< 1 часа) |
| Рабочая температура | 1100°C |
| Длина зоны нагрева | 440 мм (одна зона) |
| Зона постоянной температуры | 150 мм (±3°C при 1000°C) |
| Мощность / Напряжение | 2.5 кВт; AC 208-240В, одна фаза, 50/60 Гц |
| Нагревательные элементы | Сплав Fe-Cr-Al, легированный молибденом (Mo) |
| Технологическая трубка | Высокочистый плавленый кварц; внешний диаметр: 80 мм; внутренний диаметр: 75 мм; длина: 1400 мм |
| Контроллер температуры | Автоматический ПИД-контроль, 30 программируемых сегментов, точность ±1°C |
| Термопары | Две термопары K-типа (одна для управления печью, одна для контроля образца) |
| Интерфейс данных | Интерфейс RS485 с ПО для Windows и сертифицированным NIST термометром |
| Вакуумные фланцы | Нержавеющая сталь с усиленной опорой; включает игольчатый клапан и цифровой вакуумметр |
| Макс. скорость нагрева | 15°C/сек (RT-150°C); 10°C/сек (150-250°C); 7°C/сек (250-350°C); 4°C/сек (350-500°C) |
| Макс. скорость охлаждения | 15°C/сек (1000-950°C); 10°C/сек (950-900°C); 7°C/сек (900-850°C); 4°C/сек (850-750°C) |
| Уровень вакуума | 10E-4 торр (молекулярный насос); 10E-2 торр (механический насос) |
| Безопасность атмосферы | < 0.2 бар / 3 psi / 0.02 МПа (рекомендуется поток газа < 200 SCCM) |
Почему стоит выбрать эту печь
- Непревзойденная термическая гибкость: Эта система предоставляет исследователям возможность выполнять как стандартную длительную термообработку, так и сверхбыструю термическую обработку благодаря прецизионному ручному механизму сдвига и высокомощным нагревательным элементам.
- Комплексные возможности документирования: В отличие от стандартных лабораторных печей, данное устройство включает мониторинг с помощью двух термопар и регистрацию данных, сертифицированную NIST, что гарантирует документирование каждого термического цикла для публикаций или требований промышленного контроля качества.
- Надежная инженерия и безопасность: От двухслойного стального корпуса, поддерживающего низкую температуру поверхности, до усиленных опор фланцев, защищающих кварцевую трубку во время сдвига — каждый компонент спроектирован для промышленной долговечности и безопасности оператора.
- Готовое решение для вакуумных процессов: Включение высококачественных фланцев из нержавеющей стали, цифрового вакуумметра и всех необходимых фитингов означает, что оборудование готово к экспериментам в высоком вакууме и инертной среде сразу после установки.
- Универсальный и масштабируемый дизайн: Благодаря трубке с внешним диаметром 80 мм система подходит для широкого спектра размеров образцов и конфигураций лодочек, что делает её пригодной для разнообразных исследовательских направлений — от металлургии до полупроводниковых тонких пленок.
Наша команда инженеров готова помочь вам подобрать идеальную термическую конфигурацию для ваших конкретных нужд в области исследования материалов. Свяжитесь с нами сегодня для получения технической консультации или официального коммерческого предложения на эту высокопроизводительную сдвижную печную систему.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная семизонная трубчатая печь с раздельной конструкцией, максимальной рабочей температурой 1200°C и кварцевой трубкой большого диаметра
Эта высокопроизводительная семизонная трубчатая печь с раздельной конструкцией оснащена обширной зоной нагрева длиной 82,6 дюйма (2100 мм) и кварцевой трубкой диаметром 8 дюймов. Разработанная для прецизионных исследований материалов, она обеспечивает исключительную равномерность температуры и расширенные возможности управления атмосферой для промышленных НИОКР и сложных производственных задач.
Трубчатая печь 1200C с внутренним магнитным скольжением образца для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки
Эта профессиональная трубчатая печь 1200C оснащена ручным магнитным механизмом скольжения образца, специально разработанным для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки. Она обеспечивает точный контроль температуры и стабильный рост материалов для требовательных научно-исследовательских и промышленных применений в области материаловедения.
Разрывная вертикальная трубчатая печь с кварцевой трубкой 1200°C и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической обработки
Максимизируйте эффективность исследований с этой разрывной вертикальной трубчатой печью 1200°C, оснащенной 5-дюймовой кварцевой трубкой и точным ПИД-регулированием для быстрого закаливания, вакуумной обработки и современного синтеза материалов в требовательных лабораторных условиях промышленности.
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая сдвижная трубчатая печь для быстрого термического отжига (RTP) и отжига пластин
Ускорьте свои исследования материалов с помощью этой сдвижной трубчатой печи на 1200°C, предназначенной для быстрого термического отжига. Оснащенная 5-дюймовой кварцевой трубкой и двойными ПИД-контроллерами, она обеспечивает точные скорости нагрева и охлаждения для передовых полупроводниковых приложений.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
Трубчатая печь с внутренним подвижным тигелем 1200°C для осаждения тонких пленок в контролируемой атмосфере и исследования сублимации материалов
Эта раздвижная трубчатая печь 1200°C оснащена автоматическим внутренним тигельным механизмом для точного позиционирования образцов в контролируемых атмосферах. Идеально подходит для приложений PVD и DVD, обеспечивает превосходную консистентность роста пленок и эффективность термической обработки для лабораторий исследования современных материалов.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Оптимизируйте передовой синтез 2D-материалов с помощью этой двухпечной системы 1200°C, оснащенной сдвижной зоной нагрева для сверхбыстрого охлаждения, независимым ПИД-регулированием температуры и кварцевой рабочей камерой высокой чистоты, разработанной для прецизионного термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD) и НИОКР.
Вертикальная трубчатая печь с разъемным корпусом 1100°C, кварцевой трубкой 80 мм и вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Эта высокопроизводительная вертикальная трубчатая печь с разъемным корпусом (1100°C) оснащена кварцевой трубкой диаметром 80 мм, вакуумными фланцами из нержавеющей стали и точным 30-сегментным ПИД-контроллером. Разработана для НИОКР в области материалов, быстрой закалки и термической обработки в контролируемой атмосфере в профессиональных промышленных лабораториях.
Двухзонная трубчатая печь 1200°C со сдвижным механизмом и фланцами для процессов PECVD
Ускорьте исследования материалов с помощью этой двухзонной сдвижной трубчатой печи 1200°C, разработанной для точных процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Оснащенная мощным ВЧ-плазменным генератором и возможностями быстрого термического отжига, она обеспечивает исключительную равномерность пленок и стабильные результаты для передовых промышленных НИОКР.
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
Вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C, 5 дюймов, с вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Высокопроизводительная вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C с рабочей камерой диаметром 5 дюймов и вакуумными фланцами из нержавеющей стали. Прецизионное 30-сегментное ПИД-управление обеспечивает точность термической обработки для НИОКР в области материаловедения, CVD-процессов и специализированных задач закалки в контролируемой атмосфере.
Муфельная печь с пятисторонним нагревом 1200°C, раздвижной дверью, объемом 125 л, высокотемпературная система термообработки для крупномасштабного спекания и отжига
Оптимизируйте обработку больших объемов материалов с помощью этой муфельной печи на 1200°C объемом 125 л, оснащенной пятисторонним нагревом и раздвижной дверью для быстрого охлаждения. Разработанная для обеспечения превосходной равномерности температуры и промышленной надежности, эта передовая система гарантирует точное спекание и отжиг для требовательных научно-исследовательских лабораторий.
Трубчатая печь 4 дюйма для высоких температур 1200°C со скользящим фланцем для систем CVD
Эта трубчатая печь 4 дюйма для температур до 1200°C оснащена скользящими фланцами для быстрой загрузки образцов и совместима с высоким вакуумом. Она разработана для прецизионных процессов химического осаждения из газовой фазы и передовых материаловедческих исследований, обеспечивая исключительно надёжную работу в сложных лабораторных условиях.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Высокопроизводительная четырехканальная трубчатая печь 1200°C с кварцевыми трубками диаметром 3 дюйма для много-зонного отжига и исследований материалов
Ускорьте исследования материалов с нашей передовой четырехканальной трубчатой печью 1200°C, оснащенной независимым управлением для каждой кварцевой трубки диаметром 3 дюйма. Эта высокопроизводительная система обеспечивает непревзойденную эффективность для отжига и исследований фазовых диаграмм в промышленных и академических лабораториях НИОКР.
Высокотемпературная автоматизированная трубчатая печь 5 дюймов для автономных исследований материалов и передовых лабораторных НИОКР
Ускорьте синтез материалов с помощью этой автоматизированной трубчатой печи на 1200 °C, оснащённой прецизионным вакуумным контролем, высокочистым кварцевым процессным трактом и интеграцией, готовой к удалённой работе, для исследований с высокой пропускной способностью на базе ИИ и автономных лабораторных приложений в требовательных промышленных секторах материаловедения и передовых рабочих процессах НИОКР.
Гибридная муфельная и трубчатая печь 1200°C для исследований материалов с кварцевыми трубками и контролем двойной атмосферы
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной гибридной печи 1200°C, оснащенной муфельной камерой объемом 7,2 л и двумя 2-дюймовыми кварцевыми трубками для универсальной обработки в вакууме или инертной среде. Оцените точность контроля температуры и исключительную тепловую эффективность для промышленных НИОКР.
Семизонная разъемная трубчатая печь 1200°C с прецизионным контроллером температуры и быстроразъемной вакуумной системой
Профессиональная семизонная разъемная трубчатая печь 1200°C, разработанная для материаловедческих исследований, оснащенная 5-дюймовой кварцевой трубкой, точным ПИД-регулированием и быстроразъемными фланцами для оперативной термообработки в вакууме или контролируемой атмосфере. Высокопроизводительное решение для НИОКР.
Компактная высоковакуумная трубчатая печь 1200°C со встроенной турбомолекулярной насосной системой и зоной нагрева 8 дюймов
Эта компактная высоковакуумная трубчатая печь 1200°C оснащена встроенной турбомолекулярной насосной системой, обеспечивающей вакуум 10^-5 торр. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения; она предлагает точное ПИД-управление, зону нагрева 8 дюймов и прочную кварцевую трубку для обработки.