Печь RTP
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая сдвижная трубчатая печь для быстрого термического отжига (RTP) и отжига пластин
Артикул: TU-KT09
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для удовлетворения строгих требований современной материаловедческой и полупроводниковой науки. Благодаря использованию сложного сдвижного механизма оборудование обеспечивает циклы быстрого нагрева и охлаждения, недостижимые в стационарных трубчатых печах. Эта возможность важна для исследователей, выполняющих быстрый термический отжиг (RTP), где точный контроль над тепловой кинетикой определяет кристаллическую структуру и электрические свойства образца. Основная ценность устройства заключается в его способности мгновенно перемещать образцы между температурными зонами, предоставляя универсальную платформу для высокопроизводительных экспериментов и разработки тонких пленок.
Разработанная для универсальности и точности, эта система является краеугольным камнем для лабораторий, специализирующихся на отжиге полупроводниковых пластин, химическом осаждении из паровой фазы (CVD) и изучении фазовых превращений металлов. Интеграция кварцевой трубки большого диаметра позволяет обрабатывать пластины диаметром до 4 дюймов, что делает ее идеальным выбором как для фундаментальных академических исследований, так и для промышленных НИОКР. Прочная конструкция гарантирует, что устройство выдержит многократные быстрые термические циклы без ущерба для структурной целостности или равномерности температуры, предоставляя исследователям стабильность, необходимую для воспроизводимых результатов в требовательных промышленных условиях.
Надежность лежит в основе конструкции этого оборудования. Благодаря двухслойному стальному корпусу и встроенной технологии воздушного охлаждения система поддерживает безопасную температуру внешней поверхности даже при длительной работе при 1200°C. Отдельный блок управления позволяет осуществлять дистанционное управление, защищая чувствительную электронику от перегрева и обеспечивая более безопасную рабочую среду для персонала лаборатории. Будь то отжиг реактивных металлов или спекание высокоплотной керамики, эта система обеспечивает производительность, долговечность и функции безопасности, необходимые для ответственных лабораторных и промышленных процессов термообработки.
Основные характеристики
- Быстрое управление тепловой кинетикой: Встроенный электрический сдвижной двигатель позволяет печи перемещаться вдоль кварцевой трубки с переменной скоростью, обеспечивая скорость нагрева до 2°C/с и скорость закалки/охлаждения до 4°C/с путем перемещения нагретой зоны в сторону от образца.
- Усовершенствованная система двойного ПИД-регулирования: Оснащенное двумя независимыми автоматическими ПИД-контроллерами с 30 программируемыми сегментами, устройство обеспечивает тщательный контроль над скоростью нагрева, временем выдержки и кривыми охлаждения с точностью ±1°C.
- Среда для высокопроизводительной обработки: 5-дюймовая кварцевая трубка высокой чистоты вмещает образцы и пластины диаметром до 100 мм (4 дюйма), поддерживаемые специальной кварцевой лодочкой для стабильного позиционирования материала во время перемещения.
- Надежная архитектура вакуума и атмосферы: Вакуумные фланцы из нержавеющей стали с двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и цифровыми манометрами способствуют созданию среды высокого вакуума до 10^-5 торр, поддерживая процессы, требующие инертной, восстановительной или вакуумной атмосферы.
- Превосходная теплоизоляция и безопасность: Двухслойный стальной корпус с активным охлаждением вентилятором гарантирует, что внешняя оболочка остается при температуре ниже 60°C, а встроенные системы защиты от перегрева и обрыва термопары защищают оборудование и оператора.
- Прецизионные нагревательные элементы: Резистивные нагревательные элементы стратегически расположены так, чтобы обеспечить зону нагрева 300 мм с зоной постоянной температуры 100 мм, обеспечивая равномерное распределение тепла по всей заготовке.
- Цифровая связь и удаленный мониторинг: Входящий в комплект модуль управления MTS-02 и порт RS485 позволяют полностью управлять устройством с ПК, что дает исследователям возможность регистрировать данные, отслеживать циклы в режиме реального времени и автоматизировать сложные температурные профили.
- Промышленные сдвижные направляющие: Устройство перемещается по сверхпрочным хромированным стальным направляющим, обеспечивая плавное движение без вибраций, что защищает хрупкие образцы во время фаз быстрого перехода.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Отжиг полупроводников | Быстрая термическая обработка кремниевых или сложных полупроводниковых пластин до 4 дюймов. | Минимизирует диффузию примесей при эффективной активации ионной имплантации. |
| Рост графена и УНТ | Высокотемпературный синтез углеродных нанотрубок и графена с помощью CVD-процессов. | Точный контроль охлаждения позволяет лучше управлять слоями осаждения углерода. |
| Реактивная металлургия | Термообработка титана, циркония или тантала в условиях высокого вакуума или инертного газа. | Предотвращает окисление и загрязнение при достижении специфических фазовых превращений. |
| Осаждение тонких пленок | Отжиг тонких пленок для улучшения кристалличности и электропроводности. | Высокие тепловые градиенты позволяют создавать уникальные метастабильные фазы. |
| Спекание керамики | Спекание передовых керамических порошков при температурах до 1200°C. | Равномерный 360-градусный нагрев обеспечивает высокую плотность с минимальным короблением. |
| Исследования закалки | Быстрое охлаждение металлических сплавов для наблюдения структурных изменений при комнатной температуре. | Автоматизированный сдвижной механизм обеспечивает стабильные, повторяемые скорости закалки. |
| Фазовые превращения | Исследование поведения материалов при прохождении через критические температурные точки. | Высокоскоростная регистрация данных и точное изменение температуры облегчают детальный анализ. |
Технические характеристики
| Группа параметров | Детали спецификации | Значение для TU-KT09 |
|---|---|---|
| Номер модели | Идентификатор продукта | TU-KT09 |
| Габариты | Размер кварцевой трубки | 130 мм (внешний) x 120 мм (внутренний) x 1100 мм (длина) (5") |
| Зона нагрева | 300 мм всего / 100 мм зона постоянной температуры | |
| Макс. размер пластины | 4 дюйма (100 мм) в диаметре | |
| Производительность | Макс. температура | 1200°C (< 0.5 часов) |
| Рабочая температура (пост.) | 1100°C | |
| Точность температуры | +/- 1ºC | |
| Макс. скорость нагрева | 2ºC / секунду (через сдвиг) | |
| Макс. скорость охлаждения | 4ºC / секунду (через сдвиг) | |
| Управление движением | Длина сдвижной направляющей | 1200 мм (хромированная сталь) |
| Диапазон сдвига | 450 мм | |
| Привод сдвига | Двигатель постоянного тока, управляемый температурным программатором (опционально) | |
| Электроника | Требования к питанию | AC 208-240В, одна фаза, 50/60 Гц |
| Номинальная мощность | 3 кВт | |
| Тип контроллера | Двойной ПИД с 30 программируемыми сегментами | |
| Связь | Порт RS485 / Модуль управления MTS-02 для ПК | |
| Вакуумная система | Материал фланца | Нержавеющая сталь с двойными уплотнительными кольцами |
| Уровень вакуума (мех. насос) | 10^-2 торр | |
| Уровень вакуума (молекулярный) | 10^-5 торр | |
| Газовые порты | Φ6.35 вход, KF25 выход, двойные запорные клапаны | |
| Безопасность и соответствие | Температура корпуса | ≤ 60°C (двухслойный корпус с воздушным охлаждением) |
| Защита | Автоматическое отключение при перегреве и выходе из строя термопары | |
| Сертификация | Сертификат CE (NRTL/UL доступны по запросу) |
Почему стоит выбрать эту сдвижную трубчатую печь
- Непревзойденная тепловая гибкость: В отличие от стандартных печей, это устройство предлагает лучшие в отрасли скорости нагрева и охлаждения благодаря прецизионному сдвижному механизму, что значительно сокращает время циклов и позволяет получать уникальные свойства материалов.
- Точность исследовательского уровня: Благодаря двойным ПИД-контроллерам и сбору данных на базе ПК исследователи могут полностью контролировать каждую тепловую переменную, гарантируя, что экспериментальные условия будут точно воспроизводимы на протяжении сотен запусков.
- Промышленное качество сборки: От хромированных сдвижных направляющих до двухслойного стального корпуса — каждый компонент выбран за его способность работать в условиях высокой интенсивности без износа.
- Комплексная интеграция вакуума: Включение высококачественных фланцев из нержавеющей стали и цифровых вакуумметров гарантирует, что система готова к чувствительным процессам в контролируемой атмосфере сразу после распаковки.
- Адаптивность к будущему: Благодаря опциональным автоматическим сдвижным приводам и пользовательским конфигурациям программного обеспечения это оборудование разработано для развития вместе с вашими исследовательскими требованиями, представляя собой надежную долгосрочную инвестицию.
Свяжитесь с нашей командой технических инженеров сегодня, чтобы обсудить ваши конкретные требования к процессу или запросить индивидуальное коммерческое предложение для оснащения вашей лаборатории.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная трубчатая печь 1500°C с раздвижными фланцами и внешним диаметром 50 мм для быстрого термического отжига, быстрого нагрева и охлаждения
Обеспечьте быстрый термический отжиг с помощью этой трубчатой печи с максимальной температурой 1500°C, оснащенной ручными раздвижными фланцами для ускоренного нагрева и охлаждения. Разработанная для исследований в области материаловедения, эта высокоточная система предлагает исключительные вакуумные характеристики и мониторинг с помощью двойного контроллера для требовательных лабораторных применений.
Сдвижная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, кварцевой трубкой 80 мм (внешний диаметр) и вакуумными фланцами для быстрой термической обработки, ускоренного нагрева и охлаждения
Выполняйте быструю термическую обработку с помощью этой сдвижной трубчатой печи с максимальной температурой 1200°C. Благодаря кварцевой трубке с внешним диаметром 80 мм и ручному механизму сдвига, печь обеспечивает исключительную скорость нагрева и охлаждения до 100°C в минуту, что идеально подходит для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Высокотемпературная автоматизированная трубчатая печь 5 дюймов для автономных исследований материалов и передовых лабораторных НИОКР
Ускорьте синтез материалов с помощью этой автоматизированной трубчатой печи на 1200 °C, оснащённой прецизионным вакуумным контролем, высокочистым кварцевым процессным трактом и интеграцией, готовой к удалённой работе, для исследований с высокой пропускной способностью на базе ИИ и автономных лабораторных приложений в требовательных промышленных секторах материаловедения и передовых рабочих процессах НИОКР.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Трубчатая печь 1200C с внутренним магнитным скольжением образца для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки
Эта профессиональная трубчатая печь 1200C оснащена ручным магнитным механизмом скольжения образца, специально разработанным для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки. Она обеспечивает точный контроль температуры и стабильный рост материалов для требовательных научно-исследовательских и промышленных применений в области материаловедения.
Вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C, 5 дюймов, с вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Высокопроизводительная вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C с рабочей камерой диаметром 5 дюймов и вакуумными фланцами из нержавеющей стали. Прецизионное 30-сегментное ПИД-управление обеспечивает точность термической обработки для НИОКР в области материаловедения, CVD-процессов и специализированных задач закалки в контролируемой атмосфере.
Автоматизированная сдвижная трубчатая печь для быстрого нагрева и охлаждения, внешний диаметр 2 дюйма, макс. 1100°C
Оптимизируйте исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной автоматизированной сдвижной трубчатой печи. Эта система с максимальной температурой 1100°C обеспечивает сверхбыстрый нагрев и охлаждение со скоростью до 100°C в минуту, гарантируя прецизионную термическую обработку для полупроводников, нанотехнологий и промышленных НИОКР, требующих быстрого термического цикла.
Печь трубчатая с быстрым ИК-нагревом и скользящим механизмом RTP, максимальная температура 900 ºC, с кварцевой трубкой Ø 4 дюйма
Максимизируйте эффективность НИОКР с этой скользящей RTP трубчатой печью на 900°C, оснащенной быстрым ИК-нагревом, скоростью нагрева до 50°C/с и автоматическим охлаждением для выращивания графена, синтеза УНТ и отжига полупроводниковых пластин в вакууме или атмосферных условиях.
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с системой турбомолекулярного насоса высокого вакуума и многоканальным газовым смесителем с контроллерами массового расхода
Эта современная высокотемпературная трубчатая печь (1700°C) объединяет прецизионную систему турбомолекулярного высоковакуумного насоса и многоканальный газовый смеситель с контроллерами массового расхода, обеспечивая исключительную производительность для сложных процессов CVD, диффузии и материаловедческих исследований в требовательных промышленных R&D средах.
Скоростная трубчатая печь для термической обработки с кварцевой трубкой 4 дюйма и ИК-нагревом до 900°C
Оптимизируйте синтез материалов с помощью этой скоростной трубчатой печи RTP с максимальной температурой 900°C. Разработанная для быстрого ИК-нагрева со скоростью 50°C/с и автоматизированного охлаждения, она обеспечивает точный контроль для исследований графена, углеродных нанотрубок и перовскитных солнечных элементов.
5-дюймовая вращающаяся трубчатая печь с системой автоматической подачи и выгрузки, 1200°C, трехзонная обработка порошков методом CVD
Профессиональная 5-дюймовая вращающаяся трубчатая печь с системой автоматической подачи и выгрузки. Трехзонный нагрев до 1200°C с высокой производительностью для синтеза материалов литий-ионных аккумуляторов в контролируемой атмосфере или вакууме. Идеально подходит для масштабируемых промышленных исследований и разработок, а также пилотного производства, оптимизированного для эффективной термической обработки.
Высокотемпературная разъемная трубчатая печь 1500°C для исследований материалов, вакуумной и атмосферной термической обработки
Эта высокотемпературная разъемная трубчатая печь на 1500°C обеспечивает прецизионную термическую обработку для передовых исследований материалов и промышленного спекания. Она оснащена двухкорпусной конструкцией, встроенным ПИД-регулятором и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для надежной работы в требовательных лабораторных условиях.
Высокотемпературная вертикальная разъемная трубчатая печь 1700°C для закалки материалов и выращивания монокристаллов
Эта передовая вертикальная разъемная трубчатая печь с температурой 1700°C обеспечивает прецизионную термическую обработку для закалки материалов и выращивания монокристаллов. Система, разработанная для высокоэффективных НИОКР, поддерживает работу в вакууме и оснащена ПИД-регулированием для получения надежных и воспроизводимых результатов в требовательных условиях промышленных исследовательских лабораторий.
Трубчатая печь 1100°C с вакуумным фланцем и программируемым контроллером температуры для материаловедения и промышленной термообработки
Оптимизируйте лабораторную термообработку с помощью этой универсальной трубчатой печи на 1100°C, оснащенной программируемым ПИД-контроллером и высоковакуумными фланцами. Разработанная для прецизионного синтеза материалов и промышленных НИОКР, она предлагает гибкость ориентации (горизонтальная/вертикальная) и стабильную равномерность температуры для самых требовательных задач.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Высокотемпературная качающаяся трубчатая печь 1700°C с трубой из оксида алюминия и прецизионным качанием для синтеза материалов
Эта передовая качающаяся трубчатая печь на 1700°C оснащена трубой из оксида алюминия с внешним диаметром 60 мм и качанием +/- 45 градусов. Повысьте однородность материала с помощью программируемого ПИД-регулирования, высокочистой изоляции и надежных нагревательных элементов из MoSi2 для требовательных промышленных и лабораторных применений термообработки.
Однозонная трубчатая печь, кварцевая трубка 5 дюймов, зона нагрева 36 дюймов, вакуумные фланцы
Профессиональная однозонная трубчатая печь на 1200°C с пятидюймовой кварцевой трубкой и зоной нагрева 36 дюймов. Идеально подходит для высокочистого вакуумного отжига, диффузии и спекания в передовых исследованиях в области материаловедения и промышленных НИОКР.