Печь RTP
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Артикул: TU-RT10
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная двухпечная система специально разработана для синтеза передовых 2D-материалов и сложного осаждения тонких пленок. Интегрируя два независимых печных блока на одной 80-мм технологической трубке, оборудование позволяет создавать точные температурные градиенты и различные термические среды для сублимации и осаждения. Одна печь выполнена как стационарный блок, в то время как другая оснащена высокоскоростным механизмом сдвига, что позволяет исследователям и инженерам перемещать образцы между зонами высокой температуры и условиями окружающей среды с исключительной скоростью и повторяемостью.
Система идеально подходит для процессов термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD), особенно при производстве монослоев 2D-дихалькогенидов переходных металлов (TMDC) и передовых микрокристаллов перовскитов. Разделяя зону испарения прекурсора и зону роста, данное оборудование обеспечивает непревзойденный контроль над давлением паров и стехиометрическими соотношениями. Универсальность двухзонной конфигурации делает ее незаменимым инструментом для лабораторий материаловедения и высокотехнологичных центров НИОКР, специализирующихся на графене, углеродных нанотрубках и полупроводниковых тонких пленках.
Оборудование, разработанное для интенсивного промышленного использования, отличается структурной целостностью и термической стабильностью. Сочетание плавленого кварца высокой чистоты, прецизионных нагревательных элементов и надежной линейной направляющей системы гарантирует, что каждый цикл будет последовательным и надежным. Установка обладает долговечностью, необходимой для непрерывной работы в вакууме или контролируемой атмосфере, что обеспечивает отделам закупок и руководителям исследований полную уверенность в долгосрочных капиталовложениях.
Ключевые особенности
- Независимое управление двумя зонами: Система использует два отдельных нагревательных блока, каждый из которых оснащен собственным ПИД-контроллером температуры, что позволяет задавать различные температуры сублимации и осаждения без теплового влияния друг на друга.
- Быстрая термическая обработка с помощью механизма сдвига: Правая печь установлена на системе двойных линейных направляющих, что позволяет ей перемещаться в сторону от зоны роста для достижения сверхвысокой скорости охлаждения (около 100°C/мин), что критически важно для закалки фаз и сохранения морфологии материала.
- Прецизионное линейное перемещение: Сдвижная печь приводится в движение электродвигателем мощностью 200 Вт с ручным управлением скоростью и направлением, поддерживаемым хромированными стальными направляющими для плавного движения без вибраций во время критических стадий роста.
- Усовершенствованная многозонная стационарная печь: Левый стационарный блок имеет трехзонную конфигурацию (по 152,4 мм каждая), обеспечивая расширенную зону постоянной температуры и позволяя точно настраивать температурный профиль по всей длине источника прекурсора.
- Кварцевая рабочая среда высокой чистоты: Трубка из плавленого кварца диаметром 80 мм обеспечивает чистую, химически инертную среду для чувствительных реакций, поддерживая скорость потока до 1000 ссм и давление до 0,4 бар.
- Сложное термическое регулирование: Оснащенная контроллерами FA-YD518P-AG, система предлагает 30 программируемых сегментов для нагрева, выдержки и охлаждения со встроенными функциями автонастройки для поддержания точности ±1°C.
- Долговечная технология нагрева: Высококачественные нагревательные элементы из сплава Fe-Cr-Al, легированные молибденом, обеспечивают максимальную рабочую температуру 1200°C и отличную стойкость к окислению для продления срока службы.
- Возможности вакуумной интеграции: Вакуумные фланцы из нержавеющей стали со встроенными манометрами входят в стандартную комплектацию, позволяя системе достигать уровня вакуума до 10E-5 торр при использовании молекулярного насоса.
- Комплексный мониторинг безопасности: Система включает встроенные аварийные сигналы перегрева и неисправности термопары, обеспечивая безопасность оборудования и оператора во время высокотемпературных циклов.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Рост монослоев TMDC | Синтез MoS2, WS2 и других дихалькогенидов переходных металлов. | Точный контроль температур сублимации и осаждения для получения высококачественных монослоев. |
| Синтез перовскитов | Осаждение из газовой фазы CsPbBr3 и других галогенидных перовскитов. | Независимое управление зонами поддерживает идеальные стехиометрические соотношения через управление давлением паров. |
| Производство графена | Высокотемпературное TCVD на металлических катализаторах с использованием углеродных прекурсоров. | Сдвижная печь позволяет проводить быструю закалку для контроля размера зерен и количества слоев. |
| CVD углеродных нанотрубок (УНТ) | Каталитический рост одностенных или многостенных нанотрубок. | Высокопоточная подача газа и стабильные температурные зоны обеспечивают равномерное выравнивание. |
| Парофазная эпитаксия | Контролируемый рост тонких пленок на кристаллических подложках. | Минимальное тепловое влияние между прекурсорами и подложкой роста. |
| Легирование полупроводников | Диффузия легирующих примесей в полупроводниковые пластины в контролируемой атмосфере. | Прецизионное ПИД-управление обеспечивает повторяемые профили легирования в разных партиях. |
| Синтез нанопроволок | Рост полупроводниковых и оксидных нанопроволок по механизму пар-жидкость-кристалл (VLS). | Быстрое охлаждение предотвращает нежелательный вторичный рост или фазовые превращения. |
Технические характеристики
| Категория | Характеристика | Значение параметра (TU-RT10) |
|---|---|---|
| Модель | Система TU-RT10 | Двухпечная сдвижная конфигурация |
| Сдвижная печь (правая) | Модель печи | Однозонная OTF-1200X |
| Расстояние сдвига | 300 мм | |
| Общая зона нагрева | 440 мм | |
| Зона постоянной температуры | 150 мм (±1 °C) | |
| Макс. температура | 1200 °C (<1 час); 1100 °C (непрерывно) | |
| Стационарная печь (левая) | Модель печи | Трехзонная OTF-1200X-III-C |
| Длина зон нагрева | 152,4 мм + 152,4 мм + 152,4 мм (всего 450 мм) | |
| Зона постоянной температуры | 200 мм (±1 °C) | |
| Макс. температура | 1200 °C (<1 час); 1100 °C (непрерывно) | |
| Рабочая трубка | Материал | Плавленый кварц высокой чистоты |
| Размеры | 80 мм (внешний) x 72 мм (внутренний) x 1800 мм (длина) | |
| Макс. давление | 0,4 бар (5,8 psi) | |
| Макс. скорость потока | 1000 ссм | |
| Нагревательные элементы | Тип | Сплав Fe-Cr-Al, легированный Mo |
| Контроль температуры | Точность | ±1 ºC (опционально Eurotherm ±0,1°C) |
| Программируемость | 30 сегментов (нагрев, охлаждение, выдержка) | |
| Термопара | Тип K (четыре в комплекте) | |
| Механизм сдвига | Направляющие | Двойные линейные направляющие (хромированная сталь) |
| Двигатель | 208–240 В перем. тока, однофазный, 200 Вт | |
| Требования к питанию | Сдвижная печь | 208–240 В перем. тока, однофазный, 3 кВт |
| Стационарная печь | 208–240 В перем. тока, однофазный, 4 кВт | |
| Вакуум и газ | Вакуумные фланцы | Нержавеющая сталь с вакуумметром |
| Макс. вакуум | 10E-5 торр (с молекулярным насосом) | |
| Соответствие стандартам | Стандарты | Сертификат CE (доступно NRTL/CSA) |
Почему стоит выбрать TU-RT10
- Превосходная термическая гибкость: Уникальное сочетание стационарной трехзонной печи и сдвижной однозонной печи предоставляет самую универсальную платформу для сложных CVD-процессов, доступную на рынке.
- Доказанная надежность: Оборудование, созданное с использованием нагревательных элементов из премиального сплава и прочной механической системы сдвига, спроектировано для долговечности и стабильной работы в интенсивных условиях НИОКР.
- Прецизионная инженерия: Благодаря точности поддержания температуры в пределах ±1°C и высококачественным компонентам линейного перемещения, пользователи могут достигать высокой повторяемости результатов при синтезе чувствительных материалов.
- Масштабируемость и кастомизация: Модульная конструкция позволяет проводить модернизацию до контроллеров Eurotherm для еще более высокой точности и интеграцию с многоканальными системами подачи газа для удовлетворения конкретных исследовательских нужд.
- Комплексное соответствие стандартам: Наши системы имеют сертификат CE и построены в соответствии с международными стандартами безопасности, что обеспечивает легкую интеграцию в любую профессиональную лабораторию или промышленный объект.
Свяжитесь с нашим отделом технических продаж сегодня для получения подробного коммерческого предложения или обсуждения индивидуальной конфигурации, адаптированной к вашим конкретным требованиям синтеза материалов.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
Высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C для материаловедения и промышленных исследований химического осаждения из газовой фазы
Эта высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C обеспечивает независимое управление для создания точных температурных градиентов. Она идеально подходит для процессов CVD, PVD и выращивания кристаллов в передовых исследованиях материалов, оснащена нагревательными элементами из MoSi2 и надежной вакуумно-герметичной трубкой из оксида алюминия для промышленной эксплуатации.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Двухзонная трубчатая печь на 1100°C с 11-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами для обработки 8-дюймовых пластин
Эта передовая высокотемпературная двухзонная трубчатая печь спроектирована с 11-дюймовой кварцевой трубкой и 24-дюймовой зоной нагрева для обеспечения исключительной термической однородности при отжиге 8-дюймовых пластин, спекании материалов и является специализированным оборудованием для химического осаждения из газовой фазы для промышленных и лабораторных применений.
Трубчатая печь 1200C с внутренним магнитным скольжением образца для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки
Эта профессиональная трубчатая печь 1200C оснащена ручным магнитным механизмом скольжения образца, специально разработанным для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки. Она обеспечивает точный контроль температуры и стабильный рост материалов для требовательных научно-исследовательских и промышленных применений в области материаловедения.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Двухзонная трубчатая печь 1200°C со сдвижным механизмом и фланцами для процессов PECVD
Ускорьте исследования материалов с помощью этой двухзонной сдвижной трубчатой печи 1200°C, разработанной для точных процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Оснащенная мощным ВЧ-плазменным генератором и возможностями быстрого термического отжига, она обеспечивает исключительную равномерность пленок и стабильные результаты для передовых промышленных НИОКР.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева с системой вакуумной атмосферы
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева обеспечивает максимальную температуру 1200°C, скорость нагрева до 100°C в минуту, точное ПИД-регулирование и возможности работы в вакуумной атмосфере для передовых исследований материалов, спекания и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Двухзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с трубкой из плавленого кварца и вакуумными фланцами, доступна в диаметрах 60 мм, 80 мм и 100 мм
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой двухзонной разъемной трубчатой печи на 1200°C, оснащенной независимым контролем температуры для создания точных температурных градиентов. Благодаря трубкам из плавленого кварца и вакуумным уплотнительным фланцам, это идеальное решение для передовых процессов CVD и синтеза наноматериалов.
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.
Двухзонная вращающаяся трубчатая печь с прецизионным вращением и регулируемым наклоном для передовых исследований материалов
Высокопроизводительная двухзонная вращающаяся трубчатая печь с нагревательными элементами Kanthal A1 и прецизионным вращением для равномерной обработки материалов. Идеально подходит для процессов CVD и научно-исследовательских работ, требующих надежного температурного контроля и регулируемого наклона в условиях требовательных промышленных лабораторий.
Трубчатая печь с внутренним подвижным тигелем 1200°C для осаждения тонких пленок в контролируемой атмосфере и исследования сублимации материалов
Эта раздвижная трубчатая печь 1200°C оснащена автоматическим внутренним тигельным механизмом для точного позиционирования образцов в контролируемых атмосферах. Идеально подходит для приложений PVD и DVD, обеспечивает превосходную консистентность роста пленок и эффективность термической обработки для лабораторий исследования современных материалов.
5-дюймовая двухзонная ротационная трубчатая печь 1100°C для порошкового CVD и синтеза материалов
Повысьте эффективность исследований материалов с нашей высокоточной двухзонной ротационной трубчатой печью 1100°C. Специально разработанная для равномерного порошкового CVD и синтеза ядро-оболочка, эта 5-дюймовая кварцевая система обеспечивает расширенный контроль атмосферы и оптимизацию независимой двухзонной термообработки.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Трубчатая печь 4 дюйма для высоких температур 1200°C со скользящим фланцем для систем CVD
Эта трубчатая печь 4 дюйма для температур до 1200°C оснащена скользящими фланцами для быстрой загрузки образцов и совместима с высоким вакуумом. Она разработана для прецизионных процессов химического осаждения из газовой фазы и передовых материаловедческих исследований, обеспечивая исключительно надёжную работу в сложных лабораторных условиях.