Трубчатая печь 1200C с внутренним магнитным скольжением образца для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки

Обзор продукта

Эта высокоточная система термической обработки разработана для передовых исследований в области материаловедения, специально ориентированных на сложные требования прямого осаждения путем испарения (DVD) и быстрой термической обработки (RTP). Интегрируя ручной магнитный механизм скольжения образца, оборудование позволяет точно позиционировать образцы в зоне нагрева, не нарушая вакуум или целостность атмосферы процесса. Эта возможность имеет решающее значение для исследователей, работающих с 2D-материалами, осаждением тонких пленок и термическим отжигом, где переходные температурные фазы должны контролироваться с чрезвычайной точностью.

Оборудование предназначено для работы при температурах до 1200°C, предоставляя надежную платформу для высокотемпературного синтеза и промышленных исследований и разработок. Его компактная 2-дюймовая трубчатая конструкция делает его идеальным для лабораторных условий, требующих высокой производительности при ограниченном пространстве. Целевые отрасли включают производство полупроводников, нанотехнологии и передовую керамику, где возможность манипулирования положением образца относительно стабильного температурного градиента является критическим фактором для достижения повторяемых экспериментальных результатов.

Изготовленный из компонентов промышленного класса и с акцентом на долговечность, этот блок обеспечивает стабильную производительность в сложных условиях. Комбинация высокопроводящего керамического держателя образца, сертифицированного NIST температурного монитора и сложной системы управления ПИД-регулятором обеспечивает операторам уверенность, необходимую для чувствительного роста материалов. Независимо от того, используется ли система для синтеза в контролируемой атмосфере или в среде высокого вакуума, она обеспечивает термическую стабильность и механическую точность, необходимые для современных рабочих процессов характеризации и производства материалов.

Ключевые особенности

• Инновационное магнитное перемещение образца: Система использует внутренний механизм перемещения, приводимый в действие внешними магнитами, что позволяет держателю образца плавно перемещаться по зоне нагрева. Это обеспечивает точный контроль скорости осаждения и термического воздействия без нарушения вакуумного уплотнения.
• Высокопроводящий керамический держатель образца: Оборудование оснащено плоским держателем образца, разработанным для оптимального теплового контакта, гарантируя, что температура, контролируемая с помощью интегрированного термопары типа K, с высокой точностью отражает фактическое состояние образца.
• Точный мониторинг, сертифицированный NIST: Каждое устройство оснащено сертифицированным NIST прецизионным температурным монитором, подключенным через специальный вакуумный ввод, обеспечивая дополнительный уровень проверки для критически важных исследований и соответствия требованиям.
• Расширенное программируемое ПИД-управление с 30 сегментами: Температурный контроллер позволяет создавать сложные температурные профили, включая циклы нагрева, выдержки и охлаждения, со встроенной защитой от перегрева и отказа термопары для защиты оборудования.
• Двухзонная атмосферная гибкость: Система, разработанная для работы в вакууме или при низком давлении, совместима с различными газами, что делает ее универсальной для процессов CVD, DVD и других химических паровых процессов.
• Прочная конструкция нагревательного элемента: Используя высококачественный сплав Fe-Cr-Al, легированный молибденом, нагревательные элементы рассчитаны на длительный срок службы при высоких температурах и быстрое время отклика, поддерживая максимальную температуру 1200°C.
• Оптимизированная теплоизоляция: Блоки из высокочистого волокнистого керамического волокна используются для минимизации теплового излучения в сторону вакуумных фланцев, защищая уплотнения и обеспечивая стабильный температурный профиль в рабочей зоне.
• Модульная вакуумная интеграция: Стандартный вакуумный порт KF25 и фитинги с боковым штуцером 1/4 дюйма позволяют быстро интегрировать систему с механическими или турбонасосами, облегчая быструю эвакуацию и чистые условия обработки.

Применения

Технические характеристики

Почему выбирают нас

Инвестирование в эту систему термической обработки гарантирует, что ваше предприятие будет оснащено инструментом, разработанным для суровых условий современного нанотехнологического и материального синтеза. Основным преимуществом внутреннего механизма перемещения является устранение необходимости нарушения вакуума во время перемещения образца, что значительно увеличивает производительность экспериментов и предотвращает загрязнение образца. Наша команда инженеров уделила первостепенное внимание точности термической обработки, используя компоненты, сертифицированные NIST, чтобы гарантировать, что собираемые вами данные являются точными и пригодными для публикации.

Помимо технических характеристик, эта печь рассчитана на долгий срок службы. Комбинация высококачественного кварца, легированных молибденом сплавных элементов и прочных фланцев из нержавеющей стали гарантирует, что система сохранит свою производительность в течение многих лет непрерывной эксплуатации. Кроме того, модульность вакуумных портов и портов подачи газа позволяет масштабировать систему в будущем, будь то добавление многоканальных газовых смесителей или усовершенствованных модулей управления на базе ПК. Выбирая это оборудование, вы выбираете партнера в своих исследованиях, подкрепленного стремлением к техническому совершенству и оперативной поддержке клиентов.

Свяжитесь с нашей командой технических продаж сегодня, чтобы получить полное коммерческое предложение или обсудить индивидуальное решение, адаптированное к вашим конкретным требованиям процесса.