Печь RTP
Трубчатая печь с внутренним подвижным тигелем 1200°C для осаждения тонких пленок в контролируемой атмосфере и исследования сублимации материалов
Артикул: TU-RT15
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для современных задач материаловедения, требующих точного перемещения образцов в контролируемой атмосфере. Благодаря интеграции продвинутого внутреннего раздвижного механизма установка позволяет исследователям перемещать образцы или источники сублимации по определенным градиентам температуры без разрыва вакуума или нарушения герметичности атмосферы. Эта возможность является основополагающей для получения высококачественных результатов физического осаждения из паровой фазы (PVD) и двойного осаждения из паровой фазы (DVD), где зависимость морфологии и скорости роста пленки от температуры и положения является критической.
Разработанная для требовательных промышленных сред научно-исследовательских разработок, установка обеспечивает проведение сложных циклов термообработки, требующих как высокотемпературной стабильности, так и механической универсальности. Система является базовой платформой для лабораторий, специализирующихся на разработке полупроводников, нанотехнологиях и исследованиях металлургических фаз. Ее прочная конструкция позволяет проводить чувствительные эксперименты в условиях вакуума или инертного газа с повторяемой точностью, обеспечивая надежность, необходимую для длительных экспериментальных протоколов.
Изготовленная из высококачественных термических компонентов с акцентом на безопасность пользователя, установка обеспечивает стабильную производительность даже при требовательной непрерывной работе. Сочетание продвинутого ПИД-регулирования и позиционной системы с магнитным приводом позволяет неинвазивно манипулировать внутренним тигелем, гарантируя, что целостность внутренней среды никогда не будет нарушена. Эта установка представляет собой значительный шаг вперед в гибкости термической обработки, предлагая комплексное решение для испарения, осаждения и точного термического профилирования.
Ключевые особенности
- Встроенный магнитный раздвижной механизм: Данная система использует уникальную систему привода с двумя магнитами, где внешний магнит управляет внутренним магнитным блоком, что позволяет точно перемещать держатель образца по всей длине кварцевой трубы. Эта конструкция позволяет пользователю найти оптимальное температурное положение для испарения или осаждения без ручного вмешательства или потери вакуума.
- Продвинутый мониторинг с сертификацией NIST: Каждая установка оснащена прецизионным температурным монитором с сертификацией NIST, подключенным напрямую к держателю образца через высоковакуумный ввод. Это гарантирует, что регистрируемая температура — это фактическая температура в месте расположения образца, а не просто температура окружающей среды печи, обеспечивая беспрецедентную точность данных для критически важного роста тонких пленок.
- Прецизионное ПИД-регулирование температуры: Установка оснащена 30-сегментным программируемым контроллером, использующим логику пропорционально-интегрально-дифференциального регулирования для поддержания точности температуры ±1°C. Этот высокий уровень управления необходим для поддержания скоростей нагрева и времен выдержки, требуемых при синтезе чувствительных материалов.
- Высокопроизводительные нагревательные элементы: В печи используются нагревательные элементы из сплава Fe-Cr-Al, легированные молибденом (Mo). Этот специфический металлургический состав обеспечивает превосходную устойчивость к окислению и тепловой усталости, гарантируя длительный срок службы и возможность быстрого нагрева до 1200°C.
- Универсальное управление атмосферой и вакуумом: Оснащенная вакуумными портами KF25 и штуцерами 1/4", система позволяет достичь уровня вакуума до 10⁻² Торр при использовании механического насоса. Это позволяет проводить обработку в среде инертных газов или при определенных вакуумных давлениях, что крайне важно для предотвращения окисления во время высокотемпературных циклов.
- Специализированная термическая изоляция: В трубчатой печи установлены два волокнистых керамических бруса для трубы, которые эффективно блокируют тепловое излучение с концов камеры. Это инженерное решение защищает вакуумные фланцы и обеспечивает стабильную, равномерную зону постоянной температуры в центре трубы.
- Надежные кварцевые компоненты: Система включает кварцевые трубы и тигли высокой чистоты с отличной устойчивостью к тепловым ударам и химической чистотой, что исключает попадание загрязнений в образец во время обработки при температурах до 1200°C.
- Комплексные системы безопасности: Встроенные модули защиты от перегрева и отказа термопары входят в стандартную комплектацию. Эти функции предотвращают повреждение оборудования и обеспечивают безопасность в лаборатории, автоматически отключая питание при отклонении параметров от заданного безопасного диапазона.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) | Контролируемая сублимация материалов на подложку в вакуумной среде. | Точное позиционирование исходного материала относительно тепловой зоны обеспечивает равномерное давление пара. |
| Легирование полупроводников | Диффузия легирующих добавок в кремниевые пластины при высоких температурах в условиях контролируемого потока газа. | Высокоточное ПИД-регулирование поддерживает равномерное распределение легирующей добавки по поверхности пластины. |
| Исследования сублимации материалов | Анализ фазовых превращений специальных сплавов и соединений при их переходе в газообразное состояние. | Мониторинг температуры образца в реальном времени через сертифицированный NIST ввод обеспечивает получение эмпирических данных. |
| Рост тонких пленок (DVD) | Использование внутреннего раздвижного механизма для реализации протоколов двойного осаждения из паровой фазы. | Позволяет создавать многослойные или градиентные тонкие пленки путем перемещения подложки через тепловое поле. |
| Отжиг современной керамики | Снятие внутренних напряжений и измельчение зернистой структуры керамических компонентов при высокой температуре. | 30-сегментный программируемый контроллер позволяет реализовать сложные кривые охлаждения для предотвращения растрескивания. |
| Синтез катализаторов | Термическая обработка каталитических порошков в инертных или восстановительных атмосферах. | Герметичные фланцы и порты для подачи газа позволяют точно контролировать химическую среду. |
| Исследования металлургических фаз | Изучение точек фазовых переходов металлов при быстром закаливании или контролируемом охлаждении. | Возможность быстрого вывода образца из горячей зоны упрощает проведение экспериментов по закаливанию. |
Технические характеристики
| Параметр | Детали спецификации для TU-RT15 |
|---|---|
| Номер модели | TU-RT15 |
| Максимальная температура | 1200°C (< 1 часа) |
| Постоянная рабочая температура | 1100°C |
| Длина нагревательной зоны | 8" (200 мм), однозонная |
| Зона постоянной температуры | 2.3" (60 мм) [±1°C @ 1000°C] |
| Точность температуры | ±1°C |
| Скорость нагрева | ≤ 20°C / минута |
| Нагревательные элементы | Сплав Fe-Cr-Al, легированный Mo |
| Контроллер температуры | Автоматическое ПИД-регулирование, 30-шаговое программирование, монитор с сертификацией NIST |
| Размеры трубы | 50 мм внешний диаметр × 44 мм внутренний диаметр × 1000 мм длина (кварц) |
| Уровень вакуума | 10⁻² Торр (с механическим насосом) |
| Вакуумные фланцы | Фланец 2" с портом KF25 и штуцерами 1/4" |
| Держатель образца | Плоский держатель образца из оксида алюминия (2" длина × 1" ширина) с термопарой типа K |
| Входное напряжение | 110 В переменного тока или 208-240 В переменного тока, 50/60 Гц |
| Общая мощность | 1,5 кВт |
| Сертификация | Сертификат CE (NRTL/CSA опционально) |
Почему выбирают нас
- Разработка под точное осаждение: Магнитный раздвижной механизм — это специализированный инструмент, который исключает неопределенность в исследованиях тонких пленок, позволяя точно воспроизводить термические условия при нескольких последовательных экспериментальных запусках.
- Безкомпромиссное качество изготовления: Каждый компонент, от легированных молибденом нагревательных элементов до держателей образцов из оксида алюминия высокой чистоты, выбран за способность выдерживать интенсивные нагрузки промышленных исследований без деградации.
- Проверенная целостность данных: Благодаря мониторингу с сертификацией NIST, включенному в стандартную комплектацию, эта система обеспечивает прослеживаемую точность данных, необходимую для рецензируемых исследований и промышленного контроля качества.
- Модульность и возможность кастомизации: Система разработана с учетом перспективы развития ваших исследовательских задач, поддерживает модули ПК-управления, многоканальные системы подачи газа и различные конфигурации вакуума.
- Превосходная тепловая эффективность: Высокотеплопроводный оксид алюминия и волокнистая керамическая изоляция минимизируют потери энергии и гарантируют, что тепло сфокусировано именно там, где оно необходимо, защищая чувствительные внешние компоненты.
Наша инженерная команда готова помочь вам настроить идеальное термическое решение для ваших конкретных требований к осаждению или сублимации. Свяжитесь с нами сегодня для технической консультации или получения официального коммерческого предложения на эту продвинутую систему раздвижной трубчатой печи.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Сдвижная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, кварцевой трубкой 80 мм (внешний диаметр) и вакуумными фланцами для быстрой термической обработки, ускоренного нагрева и охлаждения
Выполняйте быструю термическую обработку с помощью этой сдвижной трубчатой печи с максимальной температурой 1200°C. Благодаря кварцевой трубке с внешним диаметром 80 мм и ручному механизму сдвига, печь обеспечивает исключительную скорость нагрева и охлаждения до 100°C в минуту, что идеально подходит для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР.
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая сдвижная трубчатая печь для быстрого термического отжига (RTP) и отжига пластин
Ускорьте свои исследования материалов с помощью этой сдвижной трубчатой печи на 1200°C, предназначенной для быстрого термического отжига. Оснащенная 5-дюймовой кварцевой трубкой и двойными ПИД-контроллерами, она обеспечивает точные скорости нагрева и охлаждения для передовых полупроводниковых приложений.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
Трубчатая печь 4 дюйма для высоких температур 1200°C со скользящим фланцем для систем CVD
Эта трубчатая печь 4 дюйма для температур до 1200°C оснащена скользящими фланцами для быстрой загрузки образцов и совместима с высоким вакуумом. Она разработана для прецизионных процессов химического осаждения из газовой фазы и передовых материаловедческих исследований, обеспечивая исключительно надёжную работу в сложных лабораторных условиях.
Высокотемпературная трубчатая печь из оксида алюминия 1700°C с зоной нагрева 18 дюймов и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта профессиональная трубчатая печь на 1700°C оснащена восемнадцатидюймовой зоной нагрева и трубками из высокочистого оксида алюминия для передовых исследований материалов. Разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, она обеспечивает исключительную термическую стабильность и надежность для сложных лабораторных процессов.
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с системой турбомолекулярного насоса высокого вакуума и многоканальным газовым смесителем с контроллерами массового расхода
Эта современная высокотемпературная трубчатая печь (1700°C) объединяет прецизионную систему турбомолекулярного высоковакуумного насоса и многоканальный газовый смеситель с контроллерами массового расхода, обеспечивая исключительную производительность для сложных процессов CVD, диффузии и материаловедческих исследований в требовательных промышленных R&D средах.
Трубчатая печь для работы в сильных магнитных полях до 1100°C для исследования материалов с контролируемой атмосферой и немагнитным корпусом с водяным охлаждением
Обеспечьте прецизионную термическую обработку в сверхсильных магнитных полях с помощью этой трубчатой печи на 1100°C, оснащенной двойными спиральными нагревательными элементами и немагнитным корпусом из нержавеющей стали SS316 с водяным охлаждением, разработанной для передовых исследований свойств материалов и высокопроизводительных лабораторных приложений в инертной атмосфере.
Компактная высокотемпературная трубчатая печь (1600°C) с алюмооксидной трубкой 50 мм и вакуумными фланцами для спекания материалов
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой компактной высокотемпературной трубчатой печи (1600°C), оснащенной алюмооксидной трубкой 50 мм и вакуумными фланцами. Идеально подходит для спекания материалов и химических исследований, обеспечивая прецизионную термообработку и исключительную надежность для промышленных научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИОКР).
Трубчатая печь 1100°C с вакуумным фланцем и программируемым контроллером температуры для материаловедения и промышленной термообработки
Оптимизируйте лабораторную термообработку с помощью этой универсальной трубчатой печи на 1100°C, оснащенной программируемым ПИД-контроллером и высоковакуумными фланцами. Разработанная для прецизионного синтеза материалов и промышленных НИОКР, она предлагает гибкость ориентации (горизонтальная/вертикальная) и стабильную равномерность температуры для самых требовательных задач.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Оптимизируйте передовой синтез 2D-материалов с помощью этой двухпечной системы 1200°C, оснащенной сдвижной зоной нагрева для сверхбыстрого охлаждения, независимым ПИД-регулированием температуры и кварцевой рабочей камерой высокой чистоты, разработанной для прецизионного термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD) и НИОКР.
Печь с разрезной трубой 1500°C с трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами для материаловедческих исследований
Оптимизируйте НИОКР с помощью этой премиальной печи с разрезной трубой 1500°C, оснащенной нагревательными элементами SiC и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для обработки в вакууме или в контролируемой атмосфере, обеспечивая превосходную температурную однородность и быстрый доступ к образцу для требовательных исследовательских задач в области материаловедения.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Высокотемпературная автоматизированная трубчатая печь 5 дюймов для автономных исследований материалов и передовых лабораторных НИОКР
Ускорьте синтез материалов с помощью этой автоматизированной трубчатой печи на 1200 °C, оснащённой прецизионным вакуумным контролем, высокочистым кварцевым процессным трактом и интеграцией, готовой к удалённой работе, для исследований с высокой пропускной способностью на базе ИИ и автономных лабораторных приложений в требовательных промышленных секторах материаловедения и передовых рабочих процессах НИОКР.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Вертикальная трубчатая печь для сферификации порошков и спекания материалов, 1700°C
Эта система вертикальной трубчатой печи на 1700°C оптимизирует процесс сферификации порошков для электродов аккумуляторов и 3D-печати. Оснащенная автоматическим питателем и двухзонным управлением, установка обеспечивает высокочистую обработку в вакууме или контролируемых атмосферах для превосходных применений в промышленных исследованиях материалов.
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с корундовой трубкой 4 дюйма (внешний диаметр) и вакуумными уплотнительными фланцами
Высокопроизводительная трубчатая печь 1700°C с корундовой трубкой внешним диаметром 4 дюйма и прецизионными нагревательными элементами из дисилицида молибдена (MoSi2). Идеально подходит для материаловедения, химического спекания и вакуумной термообработки. Оснащена усовершенствованным ПИД-регулятором и надежной системой герметизации для промышленных исследований и разработок.
Компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь 1800°C с трубкой из оксида алюминия (внешний диаметр 60 мм) и нагревательными элементами Kanthal MoSi2
Эта компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь (1800°C) оснащена первоклассными нагревательными элементами Kanthal и трубкой из оксида алюминия с внешним диаметром 60 мм. Разработанная для исследований материалов и процессов спекания, она обеспечивает прецизионную термическую обработку в вакууме или контролируемой атмосфере для лабораторных НИОКР.
Высокотемпературная 1700C шестизонная разъёмная трубчатая печь с трубкой из оксида алюминия и фланцами с водяным охлаждением
Точная шестизонная разъёмная трубчатая печь 1700C, разработанная для исследований материалов и промышленных процессов осаждения из паровой фазы. Эта универсальная система обеспечивает независимое управление температурой в каждой зоне и фланцы, готовые к вакуумной работе, для стабильной термообработки и выполнения передовых задач по разработке материалов, обеспечивая максимальную производительность.
Автоматизированная сдвижная трубчатая печь для быстрого нагрева и охлаждения, внешний диаметр 2 дюйма, макс. 1100°C
Оптимизируйте исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной автоматизированной сдвижной трубчатой печи. Эта система с максимальной температурой 1100°C обеспечивает сверхбыстрый нагрев и охлаждение со скоростью до 100°C в минуту, гарантируя прецизионную термическую обработку для полупроводников, нанотехнологий и промышленных НИОКР, требующих быстрого термического цикла.
