Печь RTP
Трубчатая печь с внутренним подвижным тигелем 1200°C для осаждения тонких пленок в контролируемой атмосфере и исследования сублимации материалов
Артикул: TU-RT15
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для современных задач материаловедения, требующих точного перемещения образцов в контролируемой атмосфере. Благодаря интеграции продвинутого внутреннего раздвижного механизма установка позволяет исследователям перемещать образцы или источники сублимации по определенным градиентам температуры без разрыва вакуума или нарушения герметичности атмосферы. Эта возможность является основополагающей для получения высококачественных результатов физического осаждения из паровой фазы (PVD) и двойного осаждения из паровой фазы (DVD), где зависимость морфологии и скорости роста пленки от температуры и положения является критической.
Разработанная для требовательных промышленных сред научно-исследовательских разработок, установка обеспечивает проведение сложных циклов термообработки, требующих как высокотемпературной стабильности, так и механической универсальности. Система является базовой платформой для лабораторий, специализирующихся на разработке полупроводников, нанотехнологиях и исследованиях металлургических фаз. Ее прочная конструкция позволяет проводить чувствительные эксперименты в условиях вакуума или инертного газа с повторяемой точностью, обеспечивая надежность, необходимую для длительных экспериментальных протоколов.
Изготовленная из высококачественных термических компонентов с акцентом на безопасность пользователя, установка обеспечивает стабильную производительность даже при требовательной непрерывной работе. Сочетание продвинутого ПИД-регулирования и позиционной системы с магнитным приводом позволяет неинвазивно манипулировать внутренним тигелем, гарантируя, что целостность внутренней среды никогда не будет нарушена. Эта установка представляет собой значительный шаг вперед в гибкости термической обработки, предлагая комплексное решение для испарения, осаждения и точного термического профилирования.
Ключевые особенности
- Встроенный магнитный раздвижной механизм: Данная система использует уникальную систему привода с двумя магнитами, где внешний магнит управляет внутренним магнитным блоком, что позволяет точно перемещать держатель образца по всей длине кварцевой трубы. Эта конструкция позволяет пользователю найти оптимальное температурное положение для испарения или осаждения без ручного вмешательства или потери вакуума.
- Продвинутый мониторинг с сертификацией NIST: Каждая установка оснащена прецизионным температурным монитором с сертификацией NIST, подключенным напрямую к держателю образца через высоковакуумный ввод. Это гарантирует, что регистрируемая температура — это фактическая температура в месте расположения образца, а не просто температура окружающей среды печи, обеспечивая беспрецедентную точность данных для критически важного роста тонких пленок.
- Прецизионное ПИД-регулирование температуры: Установка оснащена 30-сегментным программируемым контроллером, использующим логику пропорционально-интегрально-дифференциального регулирования для поддержания точности температуры ±1°C. Этот высокий уровень управления необходим для поддержания скоростей нагрева и времен выдержки, требуемых при синтезе чувствительных материалов.
- Высокопроизводительные нагревательные элементы: В печи используются нагревательные элементы из сплава Fe-Cr-Al, легированные молибденом (Mo). Этот специфический металлургический состав обеспечивает превосходную устойчивость к окислению и тепловой усталости, гарантируя длительный срок службы и возможность быстрого нагрева до 1200°C.
- Универсальное управление атмосферой и вакуумом: Оснащенная вакуумными портами KF25 и штуцерами 1/4", система позволяет достичь уровня вакуума до 10⁻² Торр при использовании механического насоса. Это позволяет проводить обработку в среде инертных газов или при определенных вакуумных давлениях, что крайне важно для предотвращения окисления во время высокотемпературных циклов.
- Специализированная термическая изоляция: В трубчатой печи установлены два волокнистых керамических бруса для трубы, которые эффективно блокируют тепловое излучение с концов камеры. Это инженерное решение защищает вакуумные фланцы и обеспечивает стабильную, равномерную зону постоянной температуры в центре трубы.
- Надежные кварцевые компоненты: Система включает кварцевые трубы и тигли высокой чистоты с отличной устойчивостью к тепловым ударам и химической чистотой, что исключает попадание загрязнений в образец во время обработки при температурах до 1200°C.
- Комплексные системы безопасности: Встроенные модули защиты от перегрева и отказа термопары входят в стандартную комплектацию. Эти функции предотвращают повреждение оборудования и обеспечивают безопасность в лаборатории, автоматически отключая питание при отклонении параметров от заданного безопасного диапазона.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) | Контролируемая сублимация материалов на подложку в вакуумной среде. | Точное позиционирование исходного материала относительно тепловой зоны обеспечивает равномерное давление пара. |
| Легирование полупроводников | Диффузия легирующих добавок в кремниевые пластины при высоких температурах в условиях контролируемого потока газа. | Высокоточное ПИД-регулирование поддерживает равномерное распределение легирующей добавки по поверхности пластины. |
| Исследования сублимации материалов | Анализ фазовых превращений специальных сплавов и соединений при их переходе в газообразное состояние. | Мониторинг температуры образца в реальном времени через сертифицированный NIST ввод обеспечивает получение эмпирических данных. |
| Рост тонких пленок (DVD) | Использование внутреннего раздвижного механизма для реализации протоколов двойного осаждения из паровой фазы. | Позволяет создавать многослойные или градиентные тонкие пленки путем перемещения подложки через тепловое поле. |
| Отжиг современной керамики | Снятие внутренних напряжений и измельчение зернистой структуры керамических компонентов при высокой температуре. | 30-сегментный программируемый контроллер позволяет реализовать сложные кривые охлаждения для предотвращения растрескивания. |
| Синтез катализаторов | Термическая обработка каталитических порошков в инертных или восстановительных атмосферах. | Герметичные фланцы и порты для подачи газа позволяют точно контролировать химическую среду. |
| Исследования металлургических фаз | Изучение точек фазовых переходов металлов при быстром закаливании или контролируемом охлаждении. | Возможность быстрого вывода образца из горячей зоны упрощает проведение экспериментов по закаливанию. |
Технические характеристики
| Параметр | Детали спецификации для TU-RT15 |
|---|---|
| Номер модели | TU-RT15 |
| Максимальная температура | 1200°C (< 1 часа) |
| Постоянная рабочая температура | 1100°C |
| Длина нагревательной зоны | 8" (200 мм), однозонная |
| Зона постоянной температуры | 2.3" (60 мм) [±1°C @ 1000°C] |
| Точность температуры | ±1°C |
| Скорость нагрева | ≤ 20°C / минута |
| Нагревательные элементы | Сплав Fe-Cr-Al, легированный Mo |
| Контроллер температуры | Автоматическое ПИД-регулирование, 30-шаговое программирование, монитор с сертификацией NIST |
| Размеры трубы | 50 мм внешний диаметр × 44 мм внутренний диаметр × 1000 мм длина (кварц) |
| Уровень вакуума | 10⁻² Торр (с механическим насосом) |
| Вакуумные фланцы | Фланец 2" с портом KF25 и штуцерами 1/4" |
| Держатель образца | Плоский держатель образца из оксида алюминия (2" длина × 1" ширина) с термопарой типа K |
| Входное напряжение | 110 В переменного тока или 208-240 В переменного тока, 50/60 Гц |
| Общая мощность | 1,5 кВт |
| Сертификация | Сертификат CE (NRTL/CSA опционально) |
Почему выбирают нас
- Разработка под точное осаждение: Магнитный раздвижной механизм — это специализированный инструмент, который исключает неопределенность в исследованиях тонких пленок, позволяя точно воспроизводить термические условия при нескольких последовательных экспериментальных запусках.
- Безкомпромиссное качество изготовления: Каждый компонент, от легированных молибденом нагревательных элементов до держателей образцов из оксида алюминия высокой чистоты, выбран за способность выдерживать интенсивные нагрузки промышленных исследований без деградации.
- Проверенная целостность данных: Благодаря мониторингу с сертификацией NIST, включенному в стандартную комплектацию, эта система обеспечивает прослеживаемую точность данных, необходимую для рецензируемых исследований и промышленного контроля качества.
- Модульность и возможность кастомизации: Система разработана с учетом перспективы развития ваших исследовательских задач, поддерживает модули ПК-управления, многоканальные системы подачи газа и различные конфигурации вакуума.
- Превосходная тепловая эффективность: Высокотеплопроводный оксид алюминия и волокнистая керамическая изоляция минимизируют потери энергии и гарантируют, что тепло сфокусировано именно там, где оно необходимо, защищая чувствительные внешние компоненты.
Наша инженерная команда готова помочь вам настроить идеальное термическое решение для ваших конкретных требований к осаждению или сублимации. Свяжитесь с нами сегодня для технической консультации или получения официального коммерческого предложения на эту продвинутую систему раздвижной трубчатой печи.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Трубчатая печь 1200C с внутренним магнитным скольжением образца для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки
Эта профессиональная трубчатая печь 1200C оснащена ручным магнитным механизмом скольжения образца, специально разработанным для прямого осаждения путем испарения и быстрой термической обработки. Она обеспечивает точный контроль температуры и стабильный рост материалов для требовательных научно-исследовательских и промышленных применений в области материаловедения.
Сдвижная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, кварцевой трубкой 80 мм (внешний диаметр) и вакуумными фланцами для быстрой термической обработки, ускоренного нагрева и охлаждения
Выполняйте быструю термическую обработку с помощью этой сдвижной трубчатой печи с максимальной температурой 1200°C. Благодаря кварцевой трубке с внешним диаметром 80 мм и ручному механизму сдвига, печь обеспечивает исключительную скорость нагрева и охлаждения до 100°C в минуту, что идеально подходит для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая сдвижная трубчатая печь для быстрого термического отжига (RTP) и отжига пластин
Ускорьте свои исследования материалов с помощью этой сдвижной трубчатой печи на 1200°C, предназначенной для быстрого термического отжига. Оснащенная 5-дюймовой кварцевой трубкой и двойными ПИД-контроллерами, она обеспечивает точные скорости нагрева и охлаждения для передовых полупроводниковых приложений.
Трубчатая печь 4 дюйма для высоких температур 1200°C со скользящим фланцем для систем CVD
Эта трубчатая печь 4 дюйма для температур до 1200°C оснащена скользящими фланцами для быстрой загрузки образцов и совместима с высоким вакуумом. Она разработана для прецизионных процессов химического осаждения из газовой фазы и передовых материаловедческих исследований, обеспечивая исключительно надёжную работу в сложных лабораторных условиях.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Оптимизируйте передовой синтез 2D-материалов с помощью этой двухпечной системы 1200°C, оснащенной сдвижной зоной нагрева для сверхбыстрого охлаждения, независимым ПИД-регулированием температуры и кварцевой рабочей камерой высокой чистоты, разработанной для прецизионного термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD) и НИОКР.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Высокотемпературная 1200°C разъемная трубчатая печь с внутренним механизмом перемещения для исследований HPCVD и роста кристаллов
Эта разъемная трубчатая печь 1200°C оснащена встроенным внутренним механизмом перемещения для точного позиционирования образца во время HPCVD и роста кристаллов. Созданная для быстрого термического процесса, она обеспечивает исключительную равномерность температуры и вакуумную стабильность для передовых исследований в области материаловедения.
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
Муфельная печь с пятисторонним нагревом 1200°C, раздвижной дверью, объемом 125 л, высокотемпературная система термообработки для крупномасштабного спекания и отжига
Оптимизируйте обработку больших объемов материалов с помощью этой муфельной печи на 1200°C объемом 125 л, оснащенной пятисторонним нагревом и раздвижной дверью для быстрого охлаждения. Разработанная для обеспечения превосходной равномерности температуры и промышленной надежности, эта передовая система гарантирует точное спекание и отжиг для требовательных научно-исследовательских лабораторий.
Двухзонная трубчатая печь 1200°C со сдвижным механизмом и фланцами для процессов PECVD
Ускорьте исследования материалов с помощью этой двухзонной сдвижной трубчатой печи 1200°C, разработанной для точных процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Оснащенная мощным ВЧ-плазменным генератором и возможностями быстрого термического отжига, она обеспечивает исключительную равномерность пленок и стабильные результаты для передовых промышленных НИОКР.
Высокотемпературная вертикальная тигельная печь с нагревательной камерой 22 л и максимальной температурой 1200°C
Профессиональная вертикальная тигельная печь с температурой 1200°C, камерой объемом 22 л, 30-сегментным ПИД-контроллером и передовыми протоколами безопасности. Идеально подходит для высокочистого спекания, отжига металлов и исследований в области материаловедения в требовательных промышленных и лабораторных условиях НИОКР.
Муфельная печь с вертикальной загрузкой 1200°C, высокотемпературная тигельная печь с камерой 9 литров и программируемым ПИД-контроллером
Прецизионная муфельная печь с вертикальной загрузкой на 1200°C, камерой объемом 9 литров и программируемым ПИД-контроллером для передовых исследований в области материаловедения и спекания керамики. Эта тигельная печь профессионального уровня обеспечивает стабильные тепловые характеристики и исключительную надежность для работы в требовательных условиях промышленных лабораторий.
Гибридная муфельная и трубчатая печь 1200°C для исследований материалов с кварцевыми трубками и контролем двойной атмосферы
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной гибридной печи 1200°C, оснащенной муфельной камерой объемом 7,2 л и двумя 2-дюймовыми кварцевыми трубками для универсальной обработки в вакууме или инертной среде. Оцените точность контроля температуры и исключительную тепловую эффективность для промышленных НИОКР.
Трехзонная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, внешний диаметр до 6 дюймов, с трубкой и фланцами
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой трехзонной трубчатой печи на 1200°C с поддержкой внешнего диаметра 6 дюймов и усовершенствованным сенсорным управлением. Эта высокоточная система обеспечивает равномерное распределение температуры для передовых исследований материалов, отжига полупроводников и промышленной термообработки.
Автоматическая печь с нижней загрузкой, контролируемой атмосферой, 1200°C и кварцевой трубкой 6 дюймов
Усовершенствованная автоматическая печь с нижней загрузкой, контролируемой атмосферой, рассчитанная на 1200°C, оснащенная шестидюймовой кварцевой трубкой и двухзонным нагревом. Предназначена для высокопроизводительных исследований материалов и промышленных процессов термической обработки, требующих стабильной точности и полной интеграции автоматизации в научно-исследовательских лабораториях.
Автоматизированная сдвижная трубчатая печь для быстрого нагрева и охлаждения, внешний диаметр 2 дюйма, макс. 1100°C
Оптимизируйте исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной автоматизированной сдвижной трубчатой печи. Эта система с максимальной температурой 1100°C обеспечивает сверхбыстрый нагрев и охлаждение со скоростью до 100°C в минуту, гарантируя прецизионную термическую обработку для полупроводников, нанотехнологий и промышленных НИОКР, требующих быстрого термического цикла.
Печь трубчатая с быстрым ИК-нагревом и скользящим механизмом RTP, максимальная температура 900 ºC, с кварцевой трубкой Ø 4 дюйма
Максимизируйте эффективность НИОКР с этой скользящей RTP трубчатой печью на 900°C, оснащенной быстрым ИК-нагревом, скоростью нагрева до 50°C/с и автоматическим охлаждением для выращивания графена, синтеза УНТ и отжига полупроводниковых пластин в вакууме или атмосферных условиях.
Высокотемпературная автоматизированная трубчатая печь 5 дюймов для автономных исследований материалов и передовых лабораторных НИОКР
Ускорьте синтез материалов с помощью этой автоматизированной трубчатой печи на 1200 °C, оснащённой прецизионным вакуумным контролем, высокочистым кварцевым процессным трактом и интеграцией, готовой к удалённой работе, для исследований с высокой пропускной способностью на базе ИИ и автономных лабораторных приложений в требовательных промышленных секторах материаловедения и передовых рабочих процессах НИОКР.
