Печь RTP
Высокотемпературная 1200°C разъемная трубчатая печь с внутренним механизмом перемещения для исследований HPCVD и роста кристаллов
Артикул: TU-RT07
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокотемпературная система обработки представляет собой сложную 2-дюймовую разъемную трубчатую печь, разработанную для передового синтеза материалов и термических исследований. В ее основе лежит специализированный внутренний механизм перемещения, который позволяет исследователям точно контролировать положение лодочки для образца или тигля внутри нагревательной камеры в условиях вакуума. Эта возможность имеет фундаментальное значение для процессов, требующих динамического перемещения через температурный градиент, и обеспечивает универсальную платформу для гибридного физико-химического осаждения из паровой фазы (HPCVD) и выращивания высокочистых кристаллов. Разъемная конструкция печи дополнительно повышает эффективность работы, обеспечивая быстрое охлаждение и удобный доступ к технологической трубке.
Разработанное для самых требовательных лабораторных условий, это оборудование служит критически важным инструментом для исследователей в области материаловедения, разработки полупроводников и физики твердого тела. Обеспечивая многофункциональную термическую обработку, включая быстрое термическое испарение (RTE) и горизонтальный метод Бриджмена, система позволяет пользователям исследовать кристаллические структуры нового поколения и сложные тонкопленочные слои. Использование высокочистого кварца и прецизионно изготовленных компонентов из нержавеющей стали гарантирует, что технологическая среда остается свободной от загрязнений даже при работе при температурах до 1200°C.
Надежность и стабильность являются отличительными особенностями этой установки для термической обработки. Оснащенная промышленными нагревательными элементами и прочной системой привода, управляемой PLC, она обеспечивает повторяемую производительность на протяжении сотен циклов. Сочетание продвинутой PID-регулировки температуры и механической точности гарантирует поддержание экспериментальных условий с предельной точностью. Независимо от того, используется ли система для разработки малосерийных прототипов или фундаментальной характеризации материалов, она обеспечивает стабильность и контроль, необходимые для передовых промышленных НИОКР и ответственных академических исследований.
Ключевые особенности
- Прецизионный внутренний механизм перемещения: Оборудование оснащено специализированным шаговым двигателем 24VDC, 100W, который приводит в движение лодочку для образца внутри кварцевой трубки. Это обеспечивает контролируемое линейное перемещение до 100 мм с постоянной скоростью, что особенно важно для направленной кристаллизации и ступенчатого теплового воздействия.
- Интегрированное сенсорное PLC-управление: Централизованный цифровой интерфейс управляет как температурным профилем, так и механическим ходом перемещения. Такая интеграция позволяет пользователям синхронизировать изменения температуры с позиционированием образца, что является критически важным требованием для сложных протоколов осаждения из паровой фазы.
- Возможность быстрого термического процесса (RTP): Перемещая подставку с образцом в предварительно нагретую горячую зону или из нее, система может достигать значительно более высоких скоростей нагрева и охлаждения, чем стационарные печи, эффективно имитируя условия RTP для отжига тонких пленок.
- Высокочистое кварцевое термическое поле: Система использует премиальную кварцевую технологическую трубку, обеспечивающую отличную химическую инертность и стойкость к термоударам. Это гарантирует отсутствие примесей в реакционной атмосфере даже при высокотемпературных газофазных реакциях.
- Превосходный контроль вакуума и атмосферы: Установка оснащена вакуумно-герметичными фланцами с сильфонами из нержавеющей стали, которые остаются герметичными даже при движении внутреннего механизма. Это позволяет проводить стабильную обработку при высоком вакууме или в среде контролируемых инертных газов.
- Продвинутая PID-регулировка температуры: Используя программируемый 30-шаговый контроллер с твердотельной релейной технологией, система поддерживает точность ±1°C. Это обеспечивает стабильную зону постоянной температуры 60 мм, что критически важно для поддержания равномерных скоростей роста кристаллов.
- Разъемная конструкция печи: Разъемная шарнирная конструкция корпуса печи позволяет быстро охлаждать трубку и облегчает быструю замену образцов или технологических трубок, максимально повышая производительность лаборатории.
- Расширяемые многозонные опции: Для процессов, требующих более сложных температурных градиентов, установка может быть модернизирована до двухзонной конфигурации, обеспечивая увеличенные зоны постоянной температуры или более крутые градиенты в зависимости от требований применения.
Применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| HPCVD | Гибридное физико-химическое осаждение из паровой фазы с участием реакционных газов и испаряемого пара. | Точный контроль смешивания газов и места осаждения. |
| RTE | Быстрое термическое испарение, при котором материалы перемещаются в горячую зону для мгновенного перехода в паровую фазу. | Минимизирует термическое напряжение на подложках и повышает чистоту пленки. |
| Рост по Бриджмену | Выращивание монокристаллов путем перемещения тигля через контролируемый температурный градиент. | Улучшает структурную целостность кристаллов за счет равномерной кристаллизации. |
| Синтез CNT | Синтез вертикально ориентированных углеродных нанотрубок с использованием несущих и реакционных газов. | Равномерная подача источника углерода и стабильная температурная среда. |
| Отжиг тонких пленок | Быстрый нагрев и охлаждение осажденных слоев для изменения зеренной структуры. | Точный контроль фазовых переходов и свойств материала. |
| Направленная кристаллизация | Контроль направления охлаждения расплавленных материалов для влияния на микроструктуру. | Улучшенные механические свойства и выравнивание зерен в сплавах. |
| Легирование полупроводников | Введение примесей в полупроводниковые пластины при определенных температурах. | Высокая равномерность по поверхности образца благодаря контролю перемещения. |
| Газофазный транспорт | Использование химических транспортных агентов для выращивания высокочистых кристаллов из пара. | Отличный пространственный контроль над зонами источника и роста. |
Технические характеристики
Конфигурация системы: TU-RT07
| Характеристика | Детали спецификации |
|---|---|
| Источник питания | 208 - 240 VAC, 50/60Hz, макс. 1.2 KW |
| Макс. рабочая температура | 1200°C (кратковременно); 1100°C (непрерывно) |
| Размеры кварцевой трубки | 50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L |
| Длина нагревательной зоны | 200 mm (8") |
| Зона постоянной температуры | 60 mm (±1°C @ 1000°C) |
| Контроль температуры | Автоматический PID-контроль, 30 программируемых шагов |
| Точность контроля | ±1°C с помощью термопары типа K |
| Механизм перемещения | Шаговый двигатель 24VDC (100W) |
| Макс. ход перемещения | 100 mm (внутри вакуумно-герметичной трубки) |
| Скорость перемещения | 180 mm/min (постоянная) |
| Вакуумные фланцы | 2" быстрозажимной с фитингами 1/4" и игольчатым клапаном |
| Уровень вакуума | 10^-2 torr (механический насос); 10^-5 torr (турбомолекулярный насос) |
| Соответствие требованиям безопасности | CE Certified (NRTL/CSA доступны по запросу) |
| Лодочка для образца | 50 x 20 x 20mm мини-тигель лодочка (~20ml) |
Типичные скорости нагрева и охлаждения (за счет перемещения образца)
| Диапазон температур | Скорость нагрева (макс.) | Скорость охлаждения (макс.) |
|---|---|---|
| 950°C - 850°C | 0.5°C/sec | 7°C - 10°C/sec |
| 650°C - 550°C | 1.0°C - 2.0°C/sec | 1.5°C - 2.0°C/sec |
| 250°C - 150°C | 10°C/sec | N/A |
Почему стоит выбрать эту систему
- Создано для точности: Эта система — не просто печь, а прецизионный прибор, сочетающий высокоточный термоконтроль с надежным механическим перемещением для воспроизводимых научных результатов.
- Универсальная исследовательская платформа: Возможность выполнять HPCVD, RTE и рост по Бриджмену в одном устройстве делает его исключительно экономичным решением для междисциплинарных материаловедческих лабораторий.
- Прочная конструкция: Благодаря использованию высокочистого кварца и промышленной электроники оборудование рассчитано на долгосрочную стабильную работу в условиях высокого вакуума и высоких температур.
- Индивидуальные решения: Мы предлагаем широкие возможности настройки, включая модификации держателя образца (AIN или графит), управление перемещением с переменной скоростью и многоканальные системы подачи газа для удовлетворения конкретных исследовательских задач.
- Полное соответствие стандартам: Сертификация CE гарантирует, что система соответствует строгим требованиям безопасности, а сертификаты NRTL или CSA доступны дополнительно для конкретных лабораторных требований.
Эта прецизионно спроектированная печь представляет собой премиальные инвестиции в исследовательские возможности вашего предприятия. Свяжитесь с нашей технической командой продаж сегодня, чтобы обсудить ваши конкретные технологические требования или запросить официальное коммерческое предложение на индивидуальное термическое решение.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная трубчатая печь разъемного типа (1200°C) для исследований CVD и термообработки в вакуумной/газовой среде
Высокопроизводительная трубчатая печь разъемного типа (1200°C), разработанная для прецизионного CVD-осаждения, спекания в атмосфере и вакуумного отжига. Оснащена передовым PID-контроллером, энергоэффективной японской изоляцией из глиноземистого волокна и разъемной конструкцией для быстрого охлаждения, идеально подходит для промышленных НИОКР и лабораторий передовых материалов.
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
Разрывная вертикальная трубчатая печь с кварцевой трубкой 1200°C и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической обработки
Максимизируйте эффективность исследований с этой разрывной вертикальной трубчатой печью 1200°C, оснащенной 5-дюймовой кварцевой трубкой и точным ПИД-регулированием для быстрого закаливания, вакуумной обработки и современного синтеза материалов в требовательных лабораторных условиях промышленности.
Высокотемпературная трубчатая печь 1200°C с разъемным корпусом, опциональными размерами кварцевых трубок и вакуумными фланцами для материаловедческих исследований
Оптимизируйте передовые лабораторные исследования с помощью этой трубчатой печи 1200°C с разъемным корпусом, опциональными размерами кварцевых трубок и точным ПИД-регулированием для работы в атмосфере или вакууме. Разработана для долговечности и синтеза материалов высокой чистоты в требовательных промышленных и научно-исследовательских средах.
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая разъемная вакуумная трубчатая печь с зоной нагрева 12 дюймов и отдельным ПИД-контроллером
Достигайте точности термической обработки с помощью этой высокопроизводительной разъемной вакуумной трубчатой печи на 1200°C. Благодаря большой 5-дюймовой кварцевой трубке, 12-дюймовой зоне нагрева и отдельному ПИД-контроллеру, эта система с сертификацией NRTL обеспечивает надежные результаты для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР.
Высокотемпературная трубчатая печь 1200°C с разъемным корпусом, откидными вакуумными фланцами и кварцевой трубкой 4 дюйма для лабораторных исследований
Эта трубчатая печь с разъемным корпусом (1200°C) оснащена откидными вакуумными фланцами и четырехдюймовой кварцевой трубкой для удобной загрузки образцов. Разработанная для прецизионной термической обработки, она обеспечивает исключительную равномерность температуры и вакуумные характеристики для передовых исследований в области материаловедения и промышленных НИОКР.
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.
Двухзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с трубкой из плавленого кварца и вакуумными фланцами, доступна в диаметрах 60 мм, 80 мм и 100 мм
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой двухзонной разъемной трубчатой печи на 1200°C, оснащенной независимым контролем температуры для создания точных температурных градиентов. Благодаря трубкам из плавленого кварца и вакуумным уплотнительным фланцам, это идеальное решение для передовых процессов CVD и синтеза наноматериалов.
1200C Максимальная четырехзонная разъемная трубчатая печь с опциональными кварцевыми трубами большого диаметра
Ускорьте исследования материалов с помощью этой четырехзонной разъемной трубчатой печи 1200°C, предлагающей опциональные камеры диаметром 14 дюймов и высокочистую изоляцию. Она обеспечивает точную температурную равномерность на широких зонах нагрева, что делает ее идеальной для крупномасштабного спекания, отжига и передовых промышленных процессов осаждения из паровой фазы.
Двухзонная трубчатая печь 1200°C со сдвижным механизмом и фланцами для процессов PECVD
Ускорьте исследования материалов с помощью этой двухзонной сдвижной трубчатой печи 1200°C, разработанной для точных процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Оснащенная мощным ВЧ-плазменным генератором и возможностями быстрого термического отжига, она обеспечивает исключительную равномерность пленок и стабильные результаты для передовых промышленных НИОКР.
Высокотемпературная вертикальная разъемная трубчатая печь 1700°C для закалки материалов и выращивания монокристаллов
Эта передовая вертикальная разъемная трубчатая печь с температурой 1700°C обеспечивает прецизионную термическую обработку для закалки материалов и выращивания монокристаллов. Система, разработанная для высокоэффективных НИОКР, поддерживает работу в вакууме и оснащена ПИД-регулированием для получения надежных и воспроизводимых результатов в требовательных условиях промышленных исследовательских лабораторий.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Трубчатая печь CVD со раздельной камерой и вакуумной станцией, система химического парофазного осаждения
Продвинутая трубчатая печь CVD со раздельной камерой, оснащенная интегрированной вакуумной станцией и 4-канальным газовым контроллером MFC. Разработанная для точного нанесения тонких пленок, синтеза наноматериалов и полупроводниковых НИОКР, эта установка обеспечивает высокотемпературную точность и исключительную равномерность осаждения.
Раздельная трубчатая печь 1250C с муллитовой трубой диаметром 3 дюйма и фланцами для вакуумной герметизации для прецизионной термической обработки
Эта раздельная трубчатая печь 1250C оснащена муллитовой трубой диаметром 3 дюйма и фланцами для вакуумной герметизации для передовых НИОКР. Разработанная для материаловедения, она обеспечивает прецизионное ПИД-регулирование, высокочистую изоляцию и надежную работу в вакууме или контролируемой газовой среде. Профессиональный класс.
Шестизонная трубчатая печь разъемного типа с глиноземной трубкой и вакуумными фланцами для высокотемпературной обработки до 1500°C и CVD-процессов
Эта шестизонная трубчатая печь разъемного типа с рабочей температурой 1500°C обеспечивает исключительный тепловой контроль для профессиональных лабораторных исследований и высокотемпературных CVD-процессов. Оснащена глиноземной трубкой длиной 1800 мм и точными 30-сегментными ПИД-контроллерами для достижения стабильных результатов обработки материалов и отжига.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Разделочная трубчатая печь высокой температуры 1100°C с восемью зонами, кварцевой трубой внешним диаметром 4 дюйма и сенсорной панелью управления
Оптимизируйте исследование материалов с помощью этой восьмизонной разделочной трубчатой печи 1100°C с сенсорной панелью управления, точными тепловыми градиентами и большой кварцевой трубой внешним диаметром 4 дюйма для передовых промышленных НИОКР и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь с вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической закалки и обработки материалов в контролируемой атмосфере
Эта компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь, разработанная для высокоточных исследований, обеспечивает быстрый нагрев до 1100°C. Оснащенная вакуумными фланцами из нержавеющей стали и 30-сегментным программируемым управлением, она является незаменимым инструментом для материаловедения и промышленных процессов закалки. Надежная производительность.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Высокотемпературная вертикальная разъемная трубчатая печь с ПИД-регулятором температуры для обработочных труб диаметром 1 и 2 дюйма
Точная вертикальная разъемная трубчатая печь на 1100°C, разработанная для материаловедческих исследований и разработки катализаторов. Оснащена современной ПИД-регулировкой, конструкцией с разъемной крышкой для удобной замены труб и качественной термоизоляцией, обеспечивающей высокопроизводительный нагрев для лабораторных и промышленных научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ.