Трехзонная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, внешний диаметр до 6 дюймов, с трубкой и фланцами

Обзор продукта

Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для удовлетворения строгих требований материаловедческих исследований и промышленного производства. Благодаря трехзонной конфигурации нагрева и возможности работы с внешним диаметром до 150 мм (6 дюймов), оборудование представляет собой универсальную платформу для обработки крупногабаритных образцов, включая отжиг 4-дюймовых пластин. Используя три независимо управляемые зоны нагрева, пользователи могут достичь исключительной равномерности температуры или создать точные температурные градиенты, что делает данное устройство незаменимым инструментом для сложных циклов термообработки, требующих строгого контроля атмосферы и термической стабильности.

Система спроектирована для широкого спектра применений в полупроводниковой, аэрокосмической отраслях и производстве передовой керамики. Будь то химическое осаждение из газовой фазы (CVD), спекание материалов высокой чистоты или контролируемое окисление металлических компонентов, оборудование обеспечивает воспроизводимые и надежные результаты. Прочная конструкция и сложный интерфейс управления позволяют легко интегрировать систему в научно-исследовательские лаборатории и пилотные производственные линии, где точность и масштабируемость имеют решающее значение для разработки высокотемпературных материалов нового поколения.

Созданная с учетом долгосрочной эксплуатационной надежности, эта печь использует изоляцию премиум-класса и передовое управление питанием для поддержания стабильной работы в сложных условиях. Интеграция волокнистой изоляции из оксида алюминия высокой чистоты обеспечивает тепловую эффективность при минимизации потерь тепла, что делает систему энергоэффективной и быстро реагирующей на изменения температуры. Руководители лабораторий и отделы закупок могут положиться на это оборудование, обеспечивающее стабильную термическую среду, гарантируя защиту критически важных экспериментов и производственных партий от температурных колебаний и загрязнений.

Ключевые особенности

• Независимое управление тремя зонами: Система оснащена тремя отдельными зонами нагрева, которые позволяют создать расширенную зону равномерной температуры или заданный температурный градиент. Эта конфигурация необходима для процессов, требующих специфических температурных профилей по всей длине рабочей трубки, таких как выращивание кристаллов или отжиг больших партий.
• Усовершенствованный сенсорный интерфейс: 7-дюймовая сенсорная панель высокого разрешения служит интуитивно понятным центром управления всей системой. Пользователи могут воспользоваться функцией запуска/остановки в один клик, мониторингом данных в реальном времени и возможностью предварительного сохранения нескольких сложных температурных программ, что значительно снижает вероятность ошибок при ручной настройке.
• Прецизионное ПИД-регулирование температуры: Оснащенное сложным ПИД-контроллером с функциями автонастройки, устройство поддерживает точность температуры +/- 0,2 °C. Этот уровень точности критически важен для обработки чувствительных материалов, где даже незначительные отклонения могут повлиять на структурную целостность или электрические свойства образца.
• Волокнистая изоляция из Al2O3 высокой чистоты: Камера печи футерована энергосберегающей волокнистой изоляцией из оксида алюминия высокой чистоты, дополнительно усиленной покрытием из оксида алюминия. Это сочетание не только продлевает срок службы нагревательных элементов, но и обеспечивает высокую скорость нагрева и превосходное удержание тепла.
• Возможность обработки изделий большого диаметра: Система рассчитана на использование кварцевых трубок диаметром до 150 мм (6 дюймов) и идеально подходит для обработки 4-дюймовых пластин и крупных объемных образцов. Гибкость использования трубок различных диаметров (от 80 до 150 мм) с помощью адаптеров делает систему высокоадаптивным активом для меняющихся исследовательских задач.
• Комплексная регистрация данных: Интегрированная система управления автоматически записывает данные процесса, сохраняя историю за период до одного месяца. Эта функция облегчает тщательный анализ после процесса и ведение документации по контролю качества, что жизненно важно для промышленных сертификаций и воспроизводимости исследований.
• Надежная герметизация вакуума и атмосферы: Доступны высококачественные фланцы из нержавеющей стали для поддержки процессов в вакууме или контролируемой газовой среде. Это позволяет оборудованию работать с различными химическими процессами и предотвращать окисление во время высокотемпературных циклов.
• Инженерные решения с приоритетом безопасности: Встроенные механизмы защиты от перегрева и выхода из строя термопары являются стандартными, обеспечивая спокойствие во время длительных циклов работы. Конструкция системы делает упор на безопасную эксплуатацию со специфическими протоколами управления давлением и расходом газа.
• Эффективная изоляция цельной трубки: Конструкция с изоляцией цельной трубки обеспечивает более равномерную температурную зону по сравнению со стандартными конструкциями с разъемной трубкой, гарантируя, что лучистое тепло распределяется равномерно по всей окружности рабочей трубки.
• Гибкость программируемых сегментов: Благодаря 50 программируемым сегментам система поддерживает очень сложные циклы нагрева и охлаждения. Это позволяет точно имитировать промышленные термические циклы и выполнять медленное, контролируемое охлаждение для предотвращения термического шока у хрупких материалов.

Области применения

Технические характеристики

Почему стоит выбрать TU-37

• Непревзойденная термическая точность: Серия TU-37 использует сложную 3-зонную архитектуру, которая устраняет падение температуры, характерное для однозонных систем, обеспечивая массивную равномерную зону 420 мм для критически важных промышленных процессов.
• Качество сборки промышленного класса: От волокнистой изоляции из Al2O3 высокой чистоты до сверхпрочных фланцев из нержавеющей стали — каждый компонент системы выбран за способность выдерживать непрерывную эксплуатацию в сложных условиях НИОКР.
• Масштабируемая мощность обработки: Уникальная возможность размещения 6-дюймовых (150 мм) трубок позволяет исследователям плавно переходить от мелкосерийных испытаний к производству 4-дюймовых пластин без смены оборудования.
• Цифровое управление, ориентированное на пользователя: Сенсорный интерфейс и автоматическая регистрация данных снижают кривую обучения операторов, гарантируя при этом, что все параметры процесса тщательно документируются для соответствия требованиям и обеспечения качества.
• Универсальная гибкость атмосферы: Независимо от того, требует ли ваш процесс высокого вакуума, потока инертного газа или специфического управления давлением, адаптируемые фланцы и варианты насосов системы обеспечивают перспективное решение для разнообразных направлений исследований.

Наша инженерная команда готова помочь вам настроить идеальное решение для термической обработки в соответствии с вашими требованиями. Свяжитесь с нами сегодня для получения технической консультации или официального коммерческого предложения на систему TU-37.