Печь RTP
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Артикул: TU-RT06
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная двухпечная система представляет собой специализированное термообрабатывающее решение, разработанное специально для выращивания двумерных дихалькогенидов переходных металлов (TMD) и других передовых задач синтеза материалов. Интегрируя два отдельных нагревательных блока — один стационарный, а другой с автоматическим раздвижным механизмом — оборудование предоставляет исследователям беспрецедентный контроль над фазами сублимации и осаждения в процессе химического осаждения из газовой фазы (CVD). Система обеспечивает точное испарение твердых прекурсоров в основной зоне, одновременно способствуя быстрым температурным переходам и контролируемому росту пленки во вторичной зоне, решая критические проблемы тепловых градиентов, присущие исследованиям в области передовой науки о материалах.
Разработанная для требовательных лабораторных и промышленных сред НИОКР, система оптимизирована для синтеза монослойных и многослойных материалов, таких как MoS2, WS2 и MoSe2. Основное ценностное предложение заключается в ее способности разделять тепловые профили сублимации прекурсора и осаждения на подложке. Этот блок гарантирует, что летучие прекурсоры поддерживаются при постоянной, более низкой температуре, в то время как подложка для осаждения подвергается быстрому нагреву или охлаждению, что обеспечивается программируемым раздвижным узлом. Такой двухархитектурный подход минимизирует тепловое влияние между зонами, значительно повышая воспроизводимость и качество роста кристаллов.
Построенная на промышленных компонентах и высокочистых кварцевых рабочих трубках, система обеспечивает надежную работу в непрерывном режиме. Инженерный акцент сделан на точность, включая продвинутые ПИД-регуляторы и вакуумно-плотные уплотнения для поддержания чистой рабочей среды. Независимо от того, используется ли она для фундаментальных физических исследований или разработки полупроводниковых устройств следующего поколения, это оборудование обеспечивает согласованность и гибкость, необходимые для расширения границ синтеза низкоразмерных материалов. Его модульная природа и совместимость с различными системами подачи газа делают его универсальным краеугольным камнем для любой лаборатории, специализирующейся на передовой термической обработке и тонкопленочных технологиях.
Ключевые особенности
- Независимая двухпечная архитектура: Система состоит из двух отдельных нагревательных камер — стационарной печи для сублимации твердых прекурсоров и раздвижной печи для осаждения. Такая конфигурация позволяет создавать независимые температурные профили в каждой зоне, предотвращая нежелательное тепловое влияние и обеспечивая точный контроль над процессом переноса химического пара.
- Автоматический раздвижной механизм: Вторичный нагревательный блок установлен на прецизионных линейных направляющих из хромированной стали и приводится в движение программируемым двигателем на 24 В постоянного тока. Эта функция позволяет печи автоматически отъезжать от рабочей зоны, достигая скорости охлаждения примерно 100°C/мин, что критически важно для закалки образцов и сохранения определенных фаз материала.
- Высокопроизводительные нагревательные элементы: Обе печи используют нагревательные элементы из легированного молибденом сплава Fe-Cr-Al. Эти специализированные сплавы выбраны за их превосходную окислительную стойкость и термическую стабильность при температурах до 1200°C, обеспечивая длительный срок службы даже в условиях интенсивных исследовательских циклов.
- Точное ПИД-регулирование температуры: Каждая печь оснащена цифровым контроллером с 30 программируемыми сегментами для подъема, выдержки и охлаждения температуры. Система поддерживает точность температуры ±1°C, обеспечивая детальный контроль, необходимый для сложных превращений материалов и воспроизводимых результатов.
- Оптимизированные зоны постоянной температуры: Стационарный блок обеспечивает равномерную зону нагрева длиной 60 мм, в то время как раздвижной блок имеет двухзонную конфигурацию с равномерной зоной 70 мм. Такая конструкция гарантирует, что прекурсоры и подложки находятся в стабильных тепловых условиях, снижая дефекты в выращиваемых кристаллах.
- Готовность к работе в вакууме: Система включает высокочистую кварцевую трубку из плавленого кварца, оснащенную нержавеющими вакуумными фланцами и манометрами. Она способна достигать уровня вакуума до 10E-5 торр при использовании с молекулярным насосом, что делает ее пригодной для синтеза, чувствительного к кислороду.
- Интегрированная безопасность и мониторинг: Встроенные сигнализации перегрева и отказа термопары обеспечивают необходимую защиту как для оборудования, так и для обрабатываемых материалов. Наличие порта связи DB9 для ПК позволяет осуществлять удаленный мониторинг и регистрацию данных тепловых циклов.
- Прочная механическая конструкция: Двойные линейные направляющие и промышленный моторный узел рассчитаны на тысячи циклов, обеспечивая надежность автоматических функций охлаждения и нагрева на протяжении всего срока службы оборудования.
Применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Выращивание TMD (MoS2, WS2) | Синтез монослойных дихалькогенидов переходных металлов методом CVD. | Точное разделение температур сублимации прекурсора и осаждения. |
| 2D гетероструктуры | Последовательное выращивание различных 2D-материалов на одной подложке. | Быстрое охлаждение предотвращает взаимную диффузию между слоями во время циклов роста. |
| Сублимация в газовой фазе | Очистка материалов или создание высокочистых паров прекурсоров для осаждения. | Стабильный тепловой профиль в стационарной печи обеспечивает постоянное давление пара. |
| Легирование полупроводников | Введение легирующих примесей в кристаллические структуры при высоких температурах. | Высокая вакуумная целостность обеспечивает сверхчистую среду для чувствительного легирования. |
| Синтез углеродных нанотрубок | Выращивание ориентированных или случайных УНТ с использованием каталитического химического осаждения из газовой фазы. | Быстрый нагрев и охлаждение позволяют контролировать активацию катализатора и рост. |
| Отжиг и фазовые исследования | Исследование фазовых превращений материалов в определенных атмосферных условиях. | Программируемое раздвижение позволяет быстро закаливать образцы для фиксации высокотемпературных фаз. |
| Исследования CVD | Общее химическое осаждение из газовой фазы для разработки тонких пленок и покрытий. | Гибкая конфигурация зон подходит для широкого спектра прекурсоров. |
Технические характеристики
| Категория спецификации | Параметр | Детальные характеристики TU-RT06 |
|---|---|---|
| Питание | Раздвижная печь (справа) | AC 110-120В, однофазное, 50/60 Гц, 1.5 кВт |
| Стационарная печь (слева) | AC 110-120В, однофазное, 50/60 Гц, 1.2 кВт | |
| Двигатель раздвижения | AC 110-120В, однофазное, 50/60 Гц, 0.2 кВт | |
| Стандартный разъем | NEMA 5-15P (208-240 В переменного тока доступны по запросу) | |
| Раздвижная печь (справа) | Модель печи | Двухзонная конфигурация |
| Макс. температура | 1200°C (<1 ч); 1100°C (непрерывно); 1000°C (вакуум) | |
| Зоны нагрева | 200 мм + 200 мм | |
| Зона постоянной температуры | 70 мм (±2°C) | |
| Скорость нагрева | Макс. 20°C/мин | |
| Расстояние раздвижения | 300 мм | |
| Стационарная печь (слева) | Модель печи | Однозонная конфигурация |
| Макс. температура | 1200°C (<1 ч); 1100°C (непрерывно); 1000°C (вакуум) | |
| Зона нагрева | 200 мм | |
| Зона постоянной температуры | 60 мм (±1°C) | |
| Скорость нагрева | Макс. 20°C/мин | |
| Рабочая трубка | Материал | Высокочистый плавленый кварц |
| Габариты | 50 мм наружный диам. x 44 мм внутр. диам. x 1200 мм длина | |
| Макс. давление | 0.2 бар (3 psig) | |
| Макс. расход газа | 1000 sccm | |
| Управление температурой | Модель контроллера | FA-YD518P-AG (ПИД с автонастройкой) |
| Программирование | 30 сегментов (подъем, охлаждение, выдержка) | |
| Точность | ±1°C (опционально: обновление до Eurotherm с точностью ±0.1°C) | |
| Термопара | Тип K | |
| Механические и вакуумные | Направляющие раздвижения | Двойные линейные направляющие (хромированная сталь) |
| Вакуумные фланцы | Нержавеющая сталь с портом KF25 и манометром | |
| Вакуумные характеристики | 10E-2 торр (механический насос); 10E-5 торр (молекулярный насос) | |
| Соответствие | Сертификаты | Сертификат CE (NRTL или CSA доступны за дополнительную плату) |
Почему выбирают нас
- Создано для инноваций в материалах: В отличие от стандартных трубчатых печей, эта система специально разработана для сложностей синтеза 2D-материалов, предлагая специфическую тепловую динамику, необходимую для роста TMD, которую не могут обеспечить однопечные установки.
- Прецизионная промышленная сборка: Использование нагревательных элементов из легированного молибденом сплава Fe-Cr-Al и хромированных стальных направляющих обеспечивает долговечность и стабильную работу в условиях высокопроизводительных исследований.
- Превосходная тепловая гибкость: Комбинация двухзонной раздвижной печи и однозонной стационарной печи предоставляет три независимо управляемых нагревательных области, позволяя исследователям создавать сложные тепловые градиенты с высокой точностью.
- Передовая автоматизация и безопасность: Интегрированная программируемая функция раздвижения не только ускоряет исследовательский процесс, но и повышает безопасность, позволяя нагревательной камере автоматически отъезжать от рабочей зоны, снижая риск случайного контакта с горячими поверхностями.
- Масштабируемость и настраиваемость: От опциональных прецизионных контроллеров Eurotherm до многоканальных модулей смешивания газов и холодных ловушек — эта система может быть адаптирована под конкретные цели исследований вашей лаборатории.
Наша приверженность точному инжинирингу и оперативной технической поддержке гарантирует, что ваши инвестиции в эту систему термической обработки будут приносить надежные, высококачественные результаты на протяжении многих лет. Свяжитесь с THERMUNITS сегодня для получения подробного коммерческого предложения или обсуждения индивидуальной конфигурации для вашего конкретного применения в материаловедении.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Оптимизируйте передовой синтез 2D-материалов с помощью этой двухпечной системы 1200°C, оснащенной сдвижной зоной нагрева для сверхбыстрого охлаждения, независимым ПИД-регулированием температуры и кварцевой рабочей камерой высокой чистоты, разработанной для прецизионного термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD) и НИОКР.
Автоматическая трубчатая печь 1200 C для исследований материалов с помощью ИИ с наружным диаметром 6 дюймов и скользящим фланцем
Ускорьте открытие материалов с помощью этой премиальной автоматической трубчатой печи, разработанной для исследований на основе ИИ. Эта система с диаметром 6 дюймов и двухзонным нагревом обеспечивает роботизированную интеграцию и непрерывный синтез 24/7 для высокопроизводительных промышленных и лабораторных исследований и разработок.
Двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева с системой вакуумной атмосферы
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева обеспечивает максимальную температуру 1200°C, скорость нагрева до 100°C в минуту, точное ПИД-регулирование и возможности работы в вакуумной атмосфере для передовых исследований материалов, спекания и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Двухзонная высокотемпературная трубчатая печь для материаловедческих исследований и профессиональной термической обработки
Усовершенствованная двухзонная трубчатая печь, разработанная для прецизионной термической обработки материалов, оснащенная шведскими нагревательными элементами Kanthal и сложной ПИД-системой управления для получения стабильных результатов в требовательных промышленных НИОКР и лабораторных условиях.
Сдвижная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, кварцевой трубкой 80 мм (внешний диаметр) и вакуумными фланцами для быстрой термической обработки, ускоренного нагрева и охлаждения
Выполняйте быструю термическую обработку с помощью этой сдвижной трубчатой печи с максимальной температурой 1200°C. Благодаря кварцевой трубке с внешним диаметром 80 мм и ручному механизму сдвига, печь обеспечивает исключительную скорость нагрева и охлаждения до 100°C в минуту, что идеально подходит для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР.
Высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C для материаловедения и промышленных исследований химического осаждения из газовой фазы
Эта высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C обеспечивает независимое управление для создания точных температурных градиентов. Она идеально подходит для процессов CVD, PVD и выращивания кристаллов в передовых исследованиях материалов, оснащена нагревательными элементами из MoSi2 и надежной вакуумно-герметичной трубкой из оксида алюминия для промышленной эксплуатации.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1700°C с трубкой из оксида алюминия 60 мм и точным управлением вращением
Эта высокопроизводительная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1700°C обеспечивает исключительную температурную равномерность для синтеза материалов. Благодаря независимому PID-управлению и высокочистой трубке из оксида алюминия она оптимизирована для стабильной обработки порошков и передовых исследований литий-ионных аккумуляторов, обеспечивая промышленный уровень качества.
Двухзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с трубкой из плавленого кварца и вакуумными фланцами, доступна в диаметрах 60 мм, 80 мм и 100 мм
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой двухзонной разъемной трубчатой печи на 1200°C, оснащенной независимым контролем температуры для создания точных температурных градиентов. Благодаря трубкам из плавленого кварца и вакуумным уплотнительным фланцам, это идеальное решение для передовых процессов CVD и синтеза наноматериалов.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Двухзонная трубчатая печь на 1100°C с 11-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами для обработки 8-дюймовых пластин
Эта передовая высокотемпературная двухзонная трубчатая печь спроектирована с 11-дюймовой кварцевой трубкой и 24-дюймовой зоной нагрева для обеспечения исключительной термической однородности при отжиге 8-дюймовых пластин, спекании материалов и является специализированным оборудованием для химического осаждения из газовой фазы для промышленных и лабораторных применений.
Автоматизированная сдвижная трубчатая печь для быстрого нагрева и охлаждения, внешний диаметр 2 дюйма, макс. 1100°C
Оптимизируйте исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной автоматизированной сдвижной трубчатой печи. Эта система с максимальной температурой 1100°C обеспечивает сверхбыстрый нагрев и охлаждение со скоростью до 100°C в минуту, гарантируя прецизионную термическую обработку для полупроводников, нанотехнологий и промышленных НИОКР, требующих быстрого термического цикла.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Компактная трубчатая печь со щелевым корпусом и двумя зонами нагрева до 1200°C с опциональными трубками 1"–2" и вакуумными фланцами
Эта компактная трубчатая печь со щелевым корпусом и двумя зонами нагрева до 1200°C обеспечивает точный контроль температурного градиента и возможность работы в вакууме. Разработанная для НИОКР в области материаловедения, она оснащена независимыми ПИД-регуляторами, фланцами из нержавеющей стали и энергоэффективной волокнистой теплоизоляцией для стабильной лабораторной работы.
Автоматическая печь с нижней загрузкой, контролируемой атмосферой, 1200°C и кварцевой трубкой 6 дюймов
Усовершенствованная автоматическая печь с нижней загрузкой, контролируемой атмосферой, рассчитанная на 1200°C, оснащенная шестидюймовой кварцевой трубкой и двухзонным нагревом. Предназначена для высокопроизводительных исследований материалов и промышленных процессов термической обработки, требующих стабильной точности и полной интеграции автоматизации в научно-исследовательских лабораториях.
Высокотемпературная удлиненная двухзонная трубчатая печь для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной удлиненной двухзонной трубчатой печи. Благодаря использованию шведских нагревательных элементов Kanthal A1 и передового ПИД-регулирования, печь обеспечивает исключительную равномерность нагрева до 1200°C для сложных лабораторных и промышленных научно-исследовательских задач в современной инженерии.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.