Трубчатая печь
Высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь для исследования материалов и процессов CVD
Артикул: TU-GS03
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь представляет собой вершину теплотехники, разработанную для содействия сложным исследованиям в области материаловедения и промышленным НИОКР. Благодаря интеграции двух отдельных зон нагрева внутри одной горизонтальной трубки, система позволяет создавать сложные температурные градиенты или одновременно поддерживать две разные тепловые среды. Эта двойная функциональность необходима для химического осаждения из газовой фазы (CVD), спекания в контролируемой атмосфере и сложных циклов отжига, где точность и гибкость имеют первостепенное значение. Оборудование создано с упором на обеспечение высокой тепловой эффективности и равновесного температурного поля, гарантируя, что каждый образец проходит последовательную и воспроизводимую обработку.
Разработанная для требовательных лабораторных условий, установка использует комбинацию передовых нагревательных элементов, в частности стержней из дисилицида молибдена (MoSi2) и карбида кремния (SiC), для достижения высоких температур с исключительной стабильностью. Двухкорпусная структура минимизирует потерю тепла во внешнюю среду, поддерживая низкую температуру поверхности для безопасности оператора и повышая энергоэффективность. Целевые отрасли включают производство полупроводников, современную керамику, аэрокосмическую металлургию и университетские исследовательские институты. Эта система спроектирована для обеспечения надежной работы при непрерывной высокотемпературной эксплуатации, давая исследователям уверенность в проведении длительных экспериментов без риска выхода оборудования из строя.
Это оборудование — не просто печь, а комплексное решение для термической обработки. Благодаря встроенному программному управлению, сложному управлению вакуумом и многоуровневым функциям безопасности, она представляет собой надежную платформу для современного синтеза материалов. Будь то вакуумный отжиг или процессы высокотемпературного восстановления, установка строго придерживается заданных температурных профилей. Интеграция высокочистой поликристаллической глиноземной волокнистой изоляции обеспечивает быстрый тепловой отклик и устойчивость к термоударам, что делает эту печь критически важным активом для лабораторий, требующих высокой производительности и бескомпромиссной точности в протоколах термообработки.
Ключевые особенности
- Независимое управление двумя зонами: Система оснащена двумя отдельными зонами нагрева, которыми можно управлять независимо. Это позволяет пользователям устанавливать различные температуры в каждой зоне, способствуя проведению сложных экспериментов с температурным градиентом или обеспечивая большую и более стабильную зону постоянной температуры при синхронизации.
- Передовые гибридные нагревательные элементы: Первая зона использует высококачественные стержни из дисилицида молибдена (MoSi2) класса 1800, в то время как вторая зона включает прочные стержни из карбида кремния (SiC). Этот гибридный подход оптимизирует профиль нагрева и долговечность печи в широком температурном спектре.
- Точное управление температурой ПИД: Оснащенная современными цифровыми приборами, печь предлагает 30-сегментное программное управление. Она имеет интеллектуальную ПИД-регулировку с точностью ±1°C, гарантируя, что даже самые чувствительные промышленные процессы остаются в строгих допусках.
- Высокоэффективная вакуумная герметизация: Трубка печи закреплена фланцами из нержавеющей стали с двухслойными силиконовыми уплотнительными кольцами. Эта выдвижная и легко снимаемая конструкция обеспечивает исключительную герметичность, способную поддерживать уровень вакуума в течение 12 часов без измеримой потери давления.
- Превосходная технология изоляции: Камера изготовлена из высококачественного поликристаллического глиноземного волокна. Этот материал выбран из-за его высокой отражательной способности, низкой теплопроводности и устойчивости к пылению, что приводит к сбалансированному температурному полю и значительному снижению энергопотребления.
- Комплексная программная интеграция: Встроенный интерфейс связи 485 позволяет осуществлять дистанционное управление через компьютер. Входящее в комплект программное обеспечение обеспечивает мониторинг PV (текущее значение) и SV (заданное значение) в реальном времени, регистрацию данных и создание температурных кривых для тщательного документирования экспериментальных параметров.
- Многоуровневая защита безопасности: Установка включает систему защиты при открытии крышки, которая автоматически отключает питание при открытии печи, а также защиту от утечек и сигнализацию о перегреве, которая отключает главную цепь, если температура превышает 1200°C или обнаружен отказ термопары.
- Настраиваемый интерфейс подачи газа: Фланцы из нержавеющей стали оснащены прецизионными игольчатыми клапанами и манометрами. Пользователи могут легко интегрировать поплавковые расходомеры или цифровые контроллеры массового расхода для точного контроля атмосферы во время испытаний на спекание или восстановление.
- Надежная система поддержки фланцев: Специальный фланцевый кронштейн поддерживает сборку, эффективно устраняя механическое напряжение на корундовой трубке. Эта инженерная деталь значительно продлевает срок службы трубки, предотвращая трещины, вызванные тяжелым весом фланцев.
- Быстрый термический цикл: Благодаря скорости нагрева до 20°C в минуту (рекомендуется 10°C/мин), оборудование позволяет быстро запускаться и охлаждаться, повышая производительность лаборатории и обеспечивая быстрое изучение тепловых свойств материалов.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) | Используется для выращивания высококачественных тонких пленок и нанотрубок при контролируемом потоке газа и вакууме. | Среда высокой чистоты и двухзонный контроль температуры обеспечивают равномерное осаждение пленки. |
| Вакуумный отжиг | Снятие напряжений в металлах и сплавах в вакууме для предотвращения окисления и улучшения механических свойств. | Превосходная герметизация сохраняет целостность материала и предотвращает загрязнение поверхности. |
| Спекание в атмосфере | Высокотемпературная консолидация керамических или металлических порошков в инертных или восстановительных газах. | Равновесные температурные поля приводят к более высокой плотности и более равномерной микроструктуре. |
| Синтез материалов | Открытие новых соединений с помощью точного термического циклирования и управления реакциями. | 30-сегментное программирование позволяет выполнять сложные многостадийные протоколы реакций. |
| Процессы дегазации | Удаление летучих компонентов или захваченных газов из материалов под воздействием высокой температуры и вакуума. | Возможность высокого вакуума (10-3 Па) обеспечивает тщательное удаление примесей. |
| Испытания на восстановление | Тестирование материалов в среде водорода или монооксида углерода для наблюдения за химическими изменениями. | Встроенные предохранительные клапаны и интерфейсы массового расхода позволяют безопасно и точно управлять газом. |
| Аэрокосмические НИОКР | Тестирование жаропрочных покрытий и компонентов для аэрокосмического оборудования. | Надежная работа при температурах до 1700°C имитирует экстремальные полетные условия. |
Технические характеристики
| Параметр | TU-GS03-60 | TU-GS03-80 |
|---|---|---|
| Размер камеры (Внешний диаметр x Длина) | Диаметр 60 мм x 1200 мм | Диаметр 80 мм x 1200 мм |
| Номинальная мощность | 7 кВт | 7 кВт |
| Входное напряжение | 220В, одна фаза | 220В, одна фаза |
| Макс. рабочая температура | Зона 1: 1700°C / Зона 2: 1400°C | Зона 1: 1700°C / Зона 2: 1400°C |
| Номинальная постоянная температура | Зона 1: 1650°C / Зона 2: 1350°C | Зона 1: 1650°C / Зона 2: 1350°C |
| Длина нагрева (З1/З2) | 210 мм / 210 мм | 210 мм / 210 мм |
| Зона постоянной температуры | 80 мм / 80 мм | 80 мм / 80 мм |
| Нагревательные элементы | З1: стержень MoSi2 1800 / З2: стержень SiC | З1: стержень MoSi2 1800 / З2: стержень SiC |
| Точность температуры | ± 1 ℃ | ± 1 ℃ |
| Скорость нагрева | ≤20 ℃/мин (рекомендуется 10 ℃) | ≤20 ℃/мин (рекомендуется 10 ℃) |
| Тип термопары | Зона 1: Тип B / Зона 2: Тип S | Зона 1: Тип B / Зона 2: Тип S |
| Материал камеры | Поликристаллическое глиноземное волокно | Поликристаллическое глиноземное волокно |
| Прибор управления | Yu Electric 30-сегментный ПИД | Yu Electric 30-сегментный ПИД |
| Варианты вакуума | Стандарт: TW-1.5A / Высокий: 2XZ-2 | Стандарт: TW-1.5A / Высокий: 2XZ-2 |
| Предельный уровень вакуума | 10-1 Па до 10-3 Па (в зависимости от системы) | 10-1 Па до 10-3 Па (в зависимости от системы) |
| Тип триггера | Фазово-сдвинутый триггер | Фазово-сдвинутый триггер |
| Тиристорное управление | 106/16E SEMIKRON | 106/16E SEMIKRON |
| Температура поверхности | ≤ 45°C | ≤ 45°C |
| Возможность подключения | Интерфейс RS-485 (стандарт) | Интерфейс RS-485 (стандарт) |
Почему стоит выбрать эту двухзонную систему
- Непревзойденная тепловая универсальность: Комбинируя зоны с высокой температурой 1700°C и 1400°C, эта печь позволяет проводить двухстадийные реакции и градиентное спекание, чего не могут достичь однозонные печи, обеспечивая значительное преимущество в передовых исследованиях материалов.
- Надежность промышленного уровня: От тиристоров SEMIKRON до высокочистой поликристаллической изоляции — каждый компонент выбран за его способность выдерживать непрерывные рабочие циклы в профессиональных лабораторных условиях.
- Точно спроектированная целостность вакуума: Наша запатентованная технология двухкольцевого уплотнения и кронштейны фланцев из нержавеющей стали обеспечивают вакуумно-плотную среду, которая защищает ваши образцы и гарантирует чистоту ваших процессов, чувствительных к атмосфере.
- Передовая безопасность и мониторинг: Благодаря встроенному программному обеспечению для отслеживания в реальном времени и множественным протоколам автоматического отключения, ваша лаборатория может работать со спокойствием, зная, что как пользователи, так и эксперименты защищены.
- Доказанное превосходство в производительности: Нашим системам доверяют ведущие мировые университеты и промышленные исследовательские центры за их стабильность, энергоэффективность и долговечность.
Свяжитесь с нами сегодня для получения технической консультации или индивидуального коммерческого предложения, адаптированного к вашим конкретным исследовательским требованиям.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева с системой вакуумной атмосферы
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева обеспечивает максимальную температуру 1200°C, скорость нагрева до 100°C в минуту, точное ПИД-регулирование и возможности работы в вакуумной атмосфере для передовых исследований материалов, спекания и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C для материаловедения и промышленных исследований химического осаждения из газовой фазы
Эта высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C обеспечивает независимое управление для создания точных температурных градиентов. Она идеально подходит для процессов CVD, PVD и выращивания кристаллов в передовых исследованиях материалов, оснащена нагревательными элементами из MoSi2 и надежной вакуумно-герметичной трубкой из оксида алюминия для промышленной эксплуатации.
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с системой турбомолекулярного насоса высокого вакуума и многоканальным газовым смесителем с контроллерами массового расхода
Эта современная высокотемпературная трубчатая печь (1700°C) объединяет прецизионную систему турбомолекулярного высоковакуумного насоса и многоканальный газовый смеситель с контроллерами массового расхода, обеспечивая исключительную производительность для сложных процессов CVD, диффузии и материаловедческих исследований в требовательных промышленных R&D средах.
Двухзонная трубчатая печь на 1100°C с 11-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами для обработки 8-дюймовых пластин
Эта передовая высокотемпературная двухзонная трубчатая печь спроектирована с 11-дюймовой кварцевой трубкой и 24-дюймовой зоной нагрева для обеспечения исключительной термической однородности при отжиге 8-дюймовых пластин, спекании материалов и является специализированным оборудованием для химического осаждения из газовой фазы для промышленных и лабораторных применений.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Шестизонная трубчатая печь разъемного типа с глиноземной трубкой и вакуумными фланцами для высокотемпературной обработки до 1500°C и CVD-процессов
Эта шестизонная трубчатая печь разъемного типа с рабочей температурой 1500°C обеспечивает исключительный тепловой контроль для профессиональных лабораторных исследований и высокотемпературных CVD-процессов. Оснащена глиноземной трубкой длиной 1800 мм и точными 30-сегментными ПИД-контроллерами для достижения стабильных результатов обработки материалов и отжига.
Компактная высоковакуумная трубчатая печь 1200°C со встроенной турбомолекулярной насосной системой и зоной нагрева 8 дюймов
Эта компактная высоковакуумная трубчатая печь 1200°C оснащена встроенной турбомолекулярной насосной системой, обеспечивающей вакуум 10^-5 торр. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения; она предлагает точное ПИД-управление, зону нагрева 8 дюймов и прочную кварцевую трубку для обработки.
Компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь 1800°C с трубкой из оксида алюминия (внешний диаметр 60 мм) и нагревательными элементами Kanthal MoSi2
Эта компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь (1800°C) оснащена первоклассными нагревательными элементами Kanthal и трубкой из оксида алюминия с внешним диаметром 60 мм. Разработанная для исследований материалов и процессов спекания, она обеспечивает прецизионную термическую обработку в вакууме или контролируемой атмосфере для лабораторных НИОКР.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Двухзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с трубкой из плавленого кварца и вакуумными фланцами, доступна в диаметрах 60 мм, 80 мм и 100 мм
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой двухзонной разъемной трубчатой печи на 1200°C, оснащенной независимым контролем температуры для создания точных температурных градиентов. Благодаря трубкам из плавленого кварца и вакуумным уплотнительным фланцам, это идеальное решение для передовых процессов CVD и синтеза наноматериалов.
Ротационная трубчатая печь с двумя зонами нагрева до 1500°C с трубкой из оксида алюминия с наружным диаметром 60 мм для синтеза высокотемпературных материалов
Эта профессиональная ротационная трубчатая печь с двумя зонами нагрева до 1500°C оснащена трубкой из оксида алюминия диаметром 60 мм и прецизионными системами управления для современного синтеза материалов. Разработана для получения неорганических соединений, обеспечивает превосходную тепловую однородность, регулируемые углы наклона и возможность обработки в условиях высокого вакуума.
Компактная трубчатая печь со щелевым корпусом и двумя зонами нагрева до 1200°C с опциональными трубками 1"–2" и вакуумными фланцами
Эта компактная трубчатая печь со щелевым корпусом и двумя зонами нагрева до 1200°C обеспечивает точный контроль температурного градиента и возможность работы в вакууме. Разработанная для НИОКР в области материаловедения, она оснащена независимыми ПИД-регуляторами, фланцами из нержавеющей стали и энергоэффективной волокнистой теплоизоляцией для стабильной лабораторной работы.
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.
Трехзонная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь для CVD и спекания материалов
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь обеспечивает независимое управление зонами для создания точных температурных градиентов. Разработанная для CVD-процессов и вакуумного отжига, она предлагает исключительную равномерность температуры, передовое PID-программирование и надежную вакуумную герметизацию для промышленных исследований и разработок.
