Трубчатая печь
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Артикул: TU-42
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная двухзональная разъемная трубчатая печь является универсальным решением для современных исследований в области материаловедения и промышленных научно-исследовательских разработок. Благодаря интеграции многоканальной системы подачи газа с возможностью высокого вакуума, эта система обеспечивает контролируемую среду, необходимую для химического осаждения из газовой фазы (CVD), химического газофазного транспорта (CVT) и различных процессов высокотемпературного отжига. Оборудование разработано для исследователей, нуждающихся в абсолютном контроле тепловых градиентов и состава атмосферы, что гарантирует повторяемость результатов при разработке материалов нового поколения, таких как дихалькогениды переходных металлов и тонкопленочные полупроводники.
Основное преимущество этой установки заключается в двухзональной архитектуре, которая позволяет создавать точные температурные градиенты по всей длине высокочистой кварцевой трубы. Эта функциональность крайне важна для процессов, в которых сублимация прекурсора и осаждение на подложку должны происходить при разных, независимо регулируемых температурах. Основные области применения включают производство полупроводников, исследования в области нанотехнологий и современную металлургию. Разъемная конструкция печи обеспечивает быстрое охлаждение и удобный доступ к технологической камере, что значительно сокращает перерывы между экспериментами и повышает пропускную способность загруженных лабораторных условий.
Надежность заложена в каждый компонент этой системы термообработки. От двухслойного стального корпуса с встроенным вентиляторным охлаждением до точных ПИД-контроллеров — оборудование разработано для выдерживания непрерывной работы в сложных условиях. Использование антикоррозионного вакуумметра гарантирует, что даже при работе с агрессивными газами система поддерживает точный контроль давления без деградации сенсора. Эта установка обеспечивает надежную производительность и соответствие требованиям безопасности, необходимым для современных лабораторных условий, позволяя пользователям с уверенностью выполнять сложные термические профили при минимальном контроле.
Ключевые особенности
- Независимое двухзональное нагревание: Печь имеет две отдельные зоны нагрева длиной по 200 мм каждая, что обеспечивает общую площадь нагрева 400 мм. Это позволяет создавать точные температурные градиенты или большую зону постоянной температуры до 250 мм при синхронизации обеих зон, обеспечивая непревзойденную гибкость для процессов химического газофазного транспорта (CVT).
- Точное ПИД-регулирование температуры: Оснащена двумя современными ПИД-контроллерами, система предлагает 30 программируемых сегментов для тщательного управления скоростями нагрева, скоростями охлаждения и временем выдержки. Точность поддерживается в пределах ±1°C, что обеспечивает высокую стабильность процесса для чувствительного роста материалов.
- Встроенная трехканальная станция смешивания газов: В комплект входит профессиональная система подачи газа с тремя независимыми расходомерами и смесительной камерой. Это позволяет точно смешивать различные технологические газы, обеспечивая проведение сложных реакций CVD и контроль атмосферы внутри кварцевой реакционной камеры.
- Высокопроизводительная интегрированная вакуумная система: Система включает производительный двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос производительностью 156 л/мин, способный достигать уровня вакуума до 10^-2 торр. Вакуумная система закреплена высококачественными фланцами и клапанами из нержавеющей стали KF25, что обеспечивает долговременную герметичность вакуума и скорость утечки ниже 5 мторр/мин.
- Антикоррозионный вакуумметр Пирани с емкостным датчиком: В отличие от стандартных вакуумметров, эта установка использует емкостной диафрагменный вакуумметр с керамическим покрытием. Этот специализированный сенсор разработан для устойчивости к коррозии от агрессивных химических прекурсоров, обеспечивая надежные измерения вакуума в диапазоне от 10^-5 до 1000 торр в сложных технологических средах.
- Современная система безопасности и охлаждения: Двухслойный стальной корпус включает автоматическую систему воздушного охлаждения. Встроенные термостаты активируют внутренние вентиляторы, если температура корпуса превышает 55°C, гарантируя, что внешняя поверхность остается безопасной для прикосновения, при этом защищая внутренние электронные компоненты от тепловых нагрузок.
- Высокочистая кварцевая технологическая камера: Система использует кварцевую трубу из плавленого кварца высокой чистоты с внешним диаметром 80 мм. Этот материал обладает исключительной устойчивостью к тепловым ударам и химической инертностью, обеспечивая прозрачную среду, которая позволяет визуально контролировать образцы и прекурсоры во время термообработки.
- Автоматизация и подключение: Встроенный порт связи RS485 позволяет вести внешнюю регистрацию данных. Система также совместима с программным обеспечением на базе LabView, обеспечивая удаленное управление и управление рецептами через ПК для высокоавтоматизированных исследовательских рабочих процессов.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Выращивание графена методом CVD | Осаждение углеродных атомов из газовой фазы на металлические фольги в контролируемых газовых атмосферах. | Высокочистое смешивание газов обеспечивает высококачественный рост однослойного материала. |
| Синтез нанолент TMD | Точное контроль давления паров халькогена для роста дихалькогенидов переходных металлов. | Независимые зоны позволяют устанавливать отдельные температуры для сублимации и осаждения. |
| Химический газофазный транспорт (CVT) | Создание температурных градиентов для стимуляции миграции пара и кристаллизации высокочистых кристаллов. | Двухзональное управление позволяет получить точный градиент, необходимый для роста кристаллов. |
| Отжиг полупроводников | Термообработка кремниевых или соединенных полупроводниковых пластин в вакууме или инертном газе. | Антикоррозионный вакуумметр позволяет использовать агрессивные газы для травления или легирования. |
| Спекание порошков | Высокотемпературное уплотнение керамических или металлических порошков в контролируемой атмосфере. | Равномерные температурные зоны предотвращают тепловые напряжения и обеспечивают постоянную плотность. |
| Исследования двумерных материалов | Изучение MoS2, WS2 и других слоистых материалов методами газовой фазы. | Разъемная конструкция печи позволяет быстро охлаждать для закалки реакционных фаз. |
| Разработка люминофоров | Синтез люминесцентных материалов, требующих определенной атмосферы и температурных профилей. | Точное 30-сегментное программирование позволяет воспроизводить сложные промышленные рецепты. |
Технические характеристики
| Группа параметров | Детальная спецификация | Значение для TU-42 |
|---|---|---|
| Общая конструкция | Материал корпуса | Двухслойная сталь с вентиляторами воздушного охлаждения |
| Предохранительный термостат | Охлаждающие вентиляторы активируются при температуре корпуса > 55°C | |
| Соответствие стандартам | Сертификация CE; компоненты готовы к UL/CSA | |
| Питание и электрика | Потребляемая мощность | 2,5 кВт |
| Входное напряжение | Переменный ток 208-240В, одна фаза, 50/60 Гц | |
| Тепловые характеристики | Максимальная температура | 1200 °C |
| Постоянная рабочая температура | 1100 °C | |
| Максимальная скорость нагрева | ≤ 20 °C/мин (≤ 5 °C/мин выше 1000°C) | |
| Точность температуры | +/- 1°C | |
| Нагревательные элементы | Сплав Fe-Cr-Al с легированием молибденом | |
| Нагревательные зоны | Длина зон нагрева | Две зоны: по 200 мм каждая; общая длина 400 мм |
| Зона постоянной температуры (двухзональный режим) | 250 мм с точностью +/- 1°C (при синхронизации обеих зон) | |
| Зона постоянной температуры (однозональный режим) | 110 мм с точностью +/- 1°C (только центральная зона) | |
| Технологическая труба | Материал трубы | Высокочистый плавленый кварц |
| Размеры трубы | Внешний диаметр 80 мм × внутренний диаметр 72 мм × длина 1000 мм | |
| Система управления | Тип контроллера | Два автоматических ПИД-контроллера |
| Программирование | 30 сегментов (нагрев, охлаждение, выдержка) | |
| Защита | Защита от перегрева и обрыва термопары | |
| Связь | Порт RS485 (совместим с ПК/LabView) | |
| Вакуумная система | Тип вакуумного насоса | Двухступенчатый пластинчато-роторный, 156 л/мин |
| Максимальный вакуум (механический) | 10^-2 торр | |
| Вакуумметр | Антикоррозионный емкостной диафрагменный вакуумметр | |
| Диапазон измерения вакуумметра | 10^-5 до 1000 торр | |
| Уплотнительные фланцы | Нержавеющая сталь KF25 с двумя клапанами | |
| Скорость утечки | < 5 мторр/мин; < 2 торр за 24 часа | |
| Смешивание газов | Расходомеры газа | Три расходомера с прямым считыванием (10-100, 16-160, 25-250 куб.см/мин) |
| Оборудование для смешивания | Внутренняя смесительная камера и четыре регулирующих клапана из нержавеющей стали | |
| Контроль давления | Встроенный манометр для смесительной камеры |
Почему стоит выбрать нас
- Высокая тепловая универсальность: Двухзональная конфигурация этой системы предоставляет исследователям важную возможность создавать точные тепловые градиенты — требование для химического газофазного транспорта и высококачественного роста кристаллов, которое не могут удовлетворить однозональные печи.
- Промышленная надежность вакуумной системы: Благодаря стандартному включению антикоррозионного емкостного диафрагменного вакуумметра, эта печь обеспечивает долгий срок службы и точность при работе с агрессивными газами, защищая ваши инвестиции от отказов сенсора, распространенных в системах низкого класса.
- Точное управление атмосферой: Встроенный трехканальный газосмеситель и вакуумный насос представляют собой готовое комплексное решение для исследований CVD, что исключает необходимость в компонентах сторонних производителей и гарантирует идеальную совместимость между подачей газа и термообработкой.
- Проверенная безопасность и сертификация: Благодаря сертификации CE и использованию электрических компонентов, сертифицированных UL/MET/CSA, это оборудование соответствует строгим стандартам безопасности, которые требуют ведущие академические и промышленные лаборатории по всему миру.
- Надежная инженерия и поддержка: Установка с двухслойным корпусом с воздушным охлаждением и высокоэффективными легированными молибденом сплавными элементами разработана для многолетней стабильной работы. Мы предоставляем комплексную техническую поддержку и варианты кастомизации для удовлетворения ваших конкретных исследовательских задач.
Свяжитесь с нашей командой технических продаж сегодня, чтобы получить детальную ценовую оценку или обсудить индивидуальное решение для термообработки, адаптированное под требования вашей лаборатории.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с системой турбомолекулярного насоса высокого вакуума и многоканальным газовым смесителем с контроллерами массового расхода
Эта современная высокотемпературная трубчатая печь (1700°C) объединяет прецизионную систему турбомолекулярного высоковакуумного насоса и многоканальный газовый смеситель с контроллерами массового расхода, обеспечивая исключительную производительность для сложных процессов CVD, диффузии и материаловедческих исследований в требовательных промышленных R&D средах.
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
Высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь для исследования материалов и процессов CVD
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой высокоточной двухзонной вакуумной трубчатой печи. Разработанная для передовых исследований материалов и процессов CVD, она оснащена независимым контролем температуры, высокой скоростью нагрева и надежной вакуумной герметизацией для получения стабильных результатов термообработки промышленного уровня.
Кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C с зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением
Эта кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C оснащена зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением для точной обработки методом CVD. Идеально подходит для материаловедческих исследований и промышленных НИОКР, обеспечивая исключительную термическую стабильность и надежные тепловые характеристики.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Высокотемпературная удлиненная двухзонная трубчатая печь для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной удлиненной двухзонной трубчатой печи. Благодаря использованию шведских нагревательных элементов Kanthal A1 и передового ПИД-регулирования, печь обеспечивает исключительную равномерность нагрева до 1200°C для сложных лабораторных и промышленных научно-исследовательских задач в современной инженерии.
Шестизонная трубчатая печь разъемного типа с глиноземной трубкой и вакуумными фланцами для высокотемпературной обработки до 1500°C и CVD-процессов
Эта шестизонная трубчатая печь разъемного типа с рабочей температурой 1500°C обеспечивает исключительный тепловой контроль для профессиональных лабораторных исследований и высокотемпературных CVD-процессов. Оснащена глиноземной трубкой длиной 1800 мм и точными 30-сегментными ПИД-контроллерами для достижения стабильных результатов обработки материалов и отжига.
Двухзонная вращающаяся трубчатая печь с прецизионным вращением и регулируемым наклоном для передовых исследований материалов
Высокопроизводительная двухзонная вращающаяся трубчатая печь с нагревательными элементами Kanthal A1 и прецизионным вращением для равномерной обработки материалов. Идеально подходит для процессов CVD и научно-исследовательских работ, требующих надежного температурного контроля и регулируемого наклона в условиях требовательных промышленных лабораторий.
Двухзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с трубкой из плавленого кварца и вакуумными фланцами, доступна в диаметрах 60 мм, 80 мм и 100 мм
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой двухзонной разъемной трубчатой печи на 1200°C, оснащенной независимым контролем температуры для создания точных температурных градиентов. Благодаря трубкам из плавленого кварца и вакуумным уплотнительным фланцам, это идеальное решение для передовых процессов CVD и синтеза наноматериалов.
Двухзонная трубчатая печь на 1100°C с 11-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами для обработки 8-дюймовых пластин
Эта передовая высокотемпературная двухзонная трубчатая печь спроектирована с 11-дюймовой кварцевой трубкой и 24-дюймовой зоной нагрева для обеспечения исключительной термической однородности при отжиге 8-дюймовых пластин, спекании материалов и является специализированным оборудованием для химического осаждения из газовой фазы для промышленных и лабораторных применений.
Высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C для материаловедения и промышленных исследований химического осаждения из газовой фазы
Эта высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C обеспечивает независимое управление для создания точных температурных градиентов. Она идеально подходит для процессов CVD, PVD и выращивания кристаллов в передовых исследованиях материалов, оснащена нагревательными элементами из MoSi2 и надежной вакуумно-герметичной трубкой из оксида алюминия для промышленной эксплуатации.
Двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева с системой вакуумной атмосферы
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева обеспечивает максимальную температуру 1200°C, скорость нагрева до 100°C в минуту, точное ПИД-регулирование и возможности работы в вакуумной атмосфере для передовых исследований материалов, спекания и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Высокотемпературная кварцевая камерная печь 1100°C, внешний диаметр 8 дюймов, объем 7,6 литра, с возможностью работы в вакууме
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой кварцевой камерной печи на 1100°C с внешним диаметром 8 дюймов и объемом 7,6 литра. Эта система, разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, обеспечивает прецизионную термическую обработку для передовых исследований материалов и производства полупроводников.
Вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C, 5 дюймов, с вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Высокопроизводительная вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C с рабочей камерой диаметром 5 дюймов и вакуумными фланцами из нержавеющей стали. Прецизионное 30-сегментное ПИД-управление обеспечивает точность термической обработки для НИОКР в области материаловедения, CVD-процессов и специализированных задач закалки в контролируемой атмосфере.