Печь RTP
Двухтрубная сдвижная печь CVD 100 мм / 80 мм с 4-канальной системой смешивания газов и вакуумной системой
Артикул: TU-RT12
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для передовых приложений химического осаждения из газовой фазы (CVD) и специально спроектирована для облегчения роста тонких пленок и графена на металлических фольгах. Благодаря уникальной двухтрубной архитектуре оборудование обеспечивает точный контроль над реакционной средой. Основное преимущество системы заключается в возможности подготовки гибких электродов на металлических подложках, что является критическим требованием для следующего поколения исследований в области хранения энергии и электроники. Данный модуль объединяет нагрев, подачу газа и вакуумный контроль в единую целостную платформу, обеспечивая оптимизированные рабочие процессы для материаловедов.
Оборудование особенно подходит для промышленных научно-исследовательских сред и академических лабораторий, специализирующихся на двумерных материалах и нанотехнологиях. Основные сценарии использования включают крупномасштабное производство графеновых пленок и синтез сложных наноструктур, требующих строгого контроля атмосферы. Эта система обеспечивает универсальную среду, в которой реакционные газы точно дозируются в узкое 10-миллиметровое реакционное пространство между концентрическими кварцевыми трубками, максимизируя эффективность прекурсоров и однородность пленки. Механизм сдвига дополнительно повышает полезность устройства, позволяя осуществлять быстрые термические циклы, что необходимо для специфических фазовых превращений и высокопроизводительных экспериментов.
Печь, изготовленная из компонентов промышленного класса, обеспечивает непревзойденную надежность в сложных условиях. Высокочистая глиноземная изоляция и прочные вакуумные фланцы из нержавеющей стали рассчитаны на непрерывную работу при повышенных температурах. Каждый аспект этой системы, от цифровых контроллеров массового расхода до мощной вакуумной станции, отражает приверженность точному проектированию. Исследователи могут полагаться на этот модуль для получения стабильных, воспроизводимых результатов, будь то выполнение рутинной термообработки или сложных многостадийных процессов CVD-синтеза в контролируемой атмосфере.
Основные характеристики
- Концентрическая двухтрубная архитектура: Система использует внешнюю трубку диаметром 100 мм и подвешенную внутреннюю трубку диаметром 80 мм, создавая 10-миллиметровый реакционный зазор, где подложки из металлической фольги могут быть обернуты для оптимальной площади поверхности CVD и взаимодействия с газом.
- Динамическая система сдвижных направляющих: В нижней части печи встроена усиленная сдвижная направляющая, позволяющая быстро перемещать нагревательную камеру в сторону от зоны образца. Это позволяет осуществлять быстрое закаливание или высокие скорости нагрева, которые невозможны со стационарными печами.
- Прецизионная 4-канальная подача газа: Интегрированная станция смешивания газов оснащена четырьмя цифровыми контроллерами массового расхода (MFC) с различными диапазонами (от 100 до 500 SCCM), что позволяет осуществлять сложное смешивание прекурсоров и газов-носителей с точностью ±1% от полной шкалы.
- Усовершенствованное ПИД-регулирование температуры: Оборудование использует сложный ПИД-контроллер с 30 программируемыми сегментами, обеспечивающий тщательный контроль скорости нагрева, времени выдержки и кривых охлаждения для поддержания стабильности температуры ±1°C.
- Интегрированный мониторинг вакуума и давления: В комплект входит комплексная вакуумная станция с двухступенчатым пластинчато-роторным насосом и цифровым вакуумметром, способным измерять давление от 10^-4 до 1000 Торр, что обеспечивает чистую и контролируемую реакционную среду.
- Прочные фланцы с водяным охлаждением: Фланцы из нержавеющей стали 304 оснащены встроенными рубашками водяного охлаждения, защищающими высоковакуумные уплотнения и обеспечивающими структурную целостность во время длительных высокотемпературных операций.
- Оптимизированная теплоизоляция: Нагревательная камера изготовлена из волокнистой изоляции Al2O3 высокой чистоты, которая минимизирует потери тепла и обеспечивает превосходную равномерность температуры по всей зоне постоянного нагрева.
- Масштабируемые конфигурации нагрева: Система доступна в конфигурациях с одной или двумя зонами нагрева и позволяет независимо управлять температурными градиентами, что необходимо для транспортировки прекурсоров или управления многостадийными реакциями.
- Безопасность и автоматизация: Встроенные аварийные сигналы о перегреве и функции автоматической защиты позволяют системе работать безопасно без постоянного контроля, повышая эффективность лаборатории и снижая эксплуатационные риски.
- Промышленное соединение Swagelok: Все входы и выходы газа используют 1/4-дюймовые трубные соединители Swagelok, обеспечивающие герметичность и совместимость со стандартной промышленной инфраструктурой обработки газов.
Приложения
| Приложение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Рост графена | CVD-синтез крупноплощадного графена на медной или никелевой фольге, обернутой вокруг внутренней трубки. | Высокая однородность и масштабируемое производство для прозрачных электродов. |
| НИОКР гибких электродов | Нанесение тонких пленок на металлическую фольгу для использования в исследованиях гибких аккумуляторов и суперконденсаторов. | Точный контроль толщины пленки и адгезии на металлических подложках. |
| Дихалькогениды переходных металлов | Синтез MoS2, WS2 и других 2D-полупроводников с использованием контролируемого паропереноса. | Двухзонная конфигурация позволяет независимо контролировать температуру прекурсора и подложки. |
| Синтез углеродных нанотрубок | Рост ориентированных или случайных массивов углеродных нанотрубок на различных каталитических поверхностях. | Быстрая термическая обработка с помощью механизма сдвига обеспечивает точный контроль морфологии трубок. |
| Осаждение фосфора | Независимый нагрев источников фосфора выше по потоку при поддержании целевых образцов ниже по потоку. | Равномерное осаждение и глубокая химическая реакция в сложных 3D-структурах. |
| Изготовление полых наностенок | Подготовка структур на основе фосфида кобальта для высокоактивных каталитических приложений. | Поддерживает высокую каталитическую активность за счет равномерного контроля состава. |
| Исследования термической закалки | Быстрое охлаждение образцов от высоких температур до комнатной путем сдвига печи. | Позволяет изучать высокотемпературные фазы и кинетику быстрой кристаллизации. |
| CVD защитных покрытий | Нанесение керамических или металлических защитных слоев на промышленные компоненты. | Высоковакуумная среда обеспечивает высокую чистоту и превосходную адгезию покрытия. |
Технические характеристики
| Категория характеристик | Параметр | TU-RT12-S (Одна зона) | TU-RT12-D (Две зоны) |
|---|---|---|---|
| Структура печи | Изоляционный материал | Волокно Al2O3 высокой чистоты | Волокно Al2O3 высокой чистоты |
| Материал трубки | Плавленый кварц высокой чистоты | Плавленый кварц высокой чистоты | |
| Размеры внешней трубки | OD 100 x ID 96 x 1400 мм | OD 100 x ID 96 x 1400 мм | |
| Размеры внутренней трубки | OD 80 x ID 75 x 1800 мм | OD 80 x ID 75 x 1800 мм | |
| Механизм сдвига | Ручная направляющая со стопорным зажимом | Двунаправленные сдвижные направляющие | |
| Температурные характеристики | Макс. рабочая температура | 1200°C | 1200°C |
| Непрерывная температура | 1100°C | 1100°C | |
| Точность температуры | ±1°C | ±1°C | |
| Длина зоны нагрева | 440 мм | 200 мм + 200 мм (всего 400 мм) | |
| Зона постоянной температуры | 120 мм (±1°C) | 250 мм (если зоны синхронизированы) | |
| Газовая и вакуумная система | MFC Канал 1 | 0 ~ 100 SCCM | 0 ~ 100 SCCM |
| MFC Канал 2 | 0 ~ 200 SCCM | 0 ~ 200 SCCM | |
| MFC Канал 3 | 0 ~ 200 SCCM | 0 ~ 200 SCCM | |
| MFC Канал 4 | 0 ~ 500 SCCM | 0 ~ 500 SCCM | |
| Резервуар для смешивания газов | 80 мл | 80 мл | |
| Уровень вакуума | 10^-2 Торр (механический) | 10^-2 Торр (механический) | |
| Вакуумные фитинги | Выход KF25 | Выход KF25 | |
| Управление и электрика | Тип контроллера | 30-сегментный ПИД с RS485 | Двойные 30-сегментные ПИД-контроллеры |
| Порт связи | RS485 | RS485 | |
| Напряжение | 208-240 В перем. тока, 50/60 Гц | 208-240 В перем. тока, 50/60 Гц | |
| Потребляемая мощность | 2,5 кВт (автомат 20А) | 4,0 кВт (автомат 50А) | |
| Подключение питания | Кабель 10 футов (без вилки) | Кабель 10 футов (без вилки) | |
| Система охлаждения | Охлаждение фланцев | Рубашки водяного охлаждения | Рубашки водяного охлаждения |
| Внутреннее охлаждение | Вентиляторы, установленные снизу | Вентиляторы, установленные снизу |
Почему стоит выбрать TU-RT12
- Превосходная инженерия для исследований графена: Двухтрубная конструкция специально оптимизирована для намотки фольги в стиле "рулон-к-рулону", обеспечивая самую эффективную конфигурацию для синтеза крупноплощадного графена и 2D-материалов, доступную в лабораторном масштабе.
- Непревзойденная термическая гибкость: Конструкция сдвижной печи предоставляет исследователям критически важную возможность достижения сверхбыстрых скоростей охлаждения или мгновенного перемещения образцов между температурными зонами, что жизненно важно для контроля роста зерен и чистоты фаз.
- Интегрированная система газа и вакуума "под ключ": В отличие от модульных установок, требующих сложной сборки, эта система поставляется с полностью интегрированной 4-канальной станцией MFC и соответствующей станцией вакуумного насоса, обеспечивая контроль атмосферы высокой чистоты с первого дня.
- Создана для длительного промышленного использования: От усиленной мобильной тележки до высококачественных фланцев из нержавеющей стали и изоляции Al2O3 — каждый компонент выбран за долговечность и стабильную работу в условиях интенсивных НИОКР.
- Точность и возможность настройки: Благодаря опциям управления одной или двумя зонами и возможности интеграции контроллеров Eurotherm или пользовательских конфигураций газа, эта система может быть адаптирована к точным требованиям вашего конкретного процесса CVD.
Свяжитесь с THERMUNITS сегодня для получения технической консультации или официального коммерческого предложения по индивидуальным требованиям вашего лабораторного оборудования для термической обработки.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева с системой вакуумной атмосферы
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева обеспечивает максимальную температуру 1200°C, скорость нагрева до 100°C в минуту, точное ПИД-регулирование и возможности работы в вакуумной атмосфере для передовых исследований материалов, спекания и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь до 1200°C с фланцами 50 мм для CVD
Эта двухзонная сдвижная трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена кварцевыми фланцами диаметром 50 мм, специально разработанными для высокоточных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD). Ускорьте промышленные исследования и разработки благодаря быстрому нагреву и охлаждению за счет сдвига печи, что обеспечивает превосходный синтез материалов, стабильные результаты и высочайшую эффективность осаждения тонких пленок.
Максимально компактная печь PECVD с авто-скольжением, 1200°C, трубкой 2 дюйма и вакуумным насосом
Эта компактная печь PECVD с авто-скольжением на 1200°C оснащена трубкой 2 дюйма и встроенным вакуумным насосом. Идеально подходит для низкотемпературного осаждения тонких плёнок; использует RF-плазму мощностью 300 Вт для превосходного контроля стехиометрии и быстрого термического процесса в передовых исследованиях промышленных материалов.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Оптимизируйте передовой синтез 2D-материалов с помощью этой двухпечной системы 1200°C, оснащенной сдвижной зоной нагрева для сверхбыстрого охлаждения, независимым ПИД-регулированием температуры и кварцевой рабочей камерой высокой чистоты, разработанной для прецизионного термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD) и НИОКР.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Трубчатая печь CVD со раздельной камерой и вакуумной станцией, система химического парофазного осаждения
Продвинутая трубчатая печь CVD со раздельной камерой, оснащенная интегрированной вакуумной станцией и 4-канальным газовым контроллером MFC. Разработанная для точного нанесения тонких пленок, синтеза наноматериалов и полупроводниковых НИОКР, эта установка обеспечивает высокотемпературную точность и исключительную равномерность осаждения.
Двухзонная трубчатая печь 1200°C со сдвижным механизмом и фланцами для процессов PECVD
Ускорьте исследования материалов с помощью этой двухзонной сдвижной трубчатой печи 1200°C, разработанной для точных процессов плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD). Оснащенная мощным ВЧ-плазменным генератором и возможностями быстрого термического отжига, она обеспечивает исключительную равномерность пленок и стабильные результаты для передовых промышленных НИОКР.
Двухзонная вращающаяся трубчатая печь с прецизионным вращением и регулируемым наклоном для передовых исследований материалов
Высокопроизводительная двухзонная вращающаяся трубчатая печь с нагревательными элементами Kanthal A1 и прецизионным вращением для равномерной обработки материалов. Идеально подходит для процессов CVD и научно-исследовательских работ, требующих надежного температурного контроля и регулируемого наклона в условиях требовательных промышленных лабораторий.
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
Печь вертикального скольжения на 1200°C с возможностями быстрой термической обработки и гибридной вакуумной трубки
Максимизируйте эффективность исследований с этой печью вертикального скольжения на 1200°C, оснащенной возможностями быстрой термической обработки. Эта гибридная система предлагает двойную функциональность: камерную и вакуумно-трубчатую, обеспечивая точный контроль температуры и сверхбыстрый нагрев или охлаждение для передовых применений в материаловедении.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь для исследования материалов и процессов CVD
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой высокоточной двухзонной вакуумной трубчатой печи. Разработанная для передовых исследований материалов и процессов CVD, она оснащена независимым контролем температуры, высокой скоростью нагрева и надежной вакуумной герметизацией для получения стабильных результатов термообработки промышленного уровня.
Трехзонная кварцевая трубчатая печь с 3-канальным газовым смесителем, вакуумным насосом и антикоррозийным вакуумметром
Эта высокоточная трехзонная кварцевая трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена встроенной системой смешивания газов по трем каналам и антикоррозийным мониторингом вакуума, что делает её идеальным решением для профессионального CVD-синтеза и материаловедческих исследований в требовательных лабораторных и промышленных условиях.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
5-дюймовая двухзонная ротационная трубчатая печь 1100°C для порошкового CVD и синтеза материалов
Повысьте эффективность исследований материалов с нашей высокоточной двухзонной ротационной трубчатой печью 1100°C. Специально разработанная для равномерного порошкового CVD и синтеза ядро-оболочка, эта 5-дюймовая кварцевая система обеспечивает расширенный контроль атмосферы и оптимизацию независимой двухзонной термообработки.
Связанные статьи
Архитектура инертности: почему азот — безмолвный страж синтеза CVD
Невидимый страж: почему точная гидрогенизация алмаза требует количественного контроля примесей
Алхимия выживания: почему точность газовой фазы определяет жизнь промышленных инструментов
Архитектура невидимой химии: проектирование CCP-реактора с параллельными пластинами
