Установка CVD
Трубчатая печь CVD со раздельной камерой и вакуумной станцией, система химического парофазного осаждения
Артикул: TU-CVD02
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система химического парофазного осаждения со раздельной камерой разработана для сложного синтеза материалов и исследований тонких пленок в современных лабораторных условиях. Объединяя высокотемпературную трубчатую печь с прецизионным газораспределительным коллектором и мощной вакуумной станцией, оборудование предлагает комплексное решение для лабораторий, требующих точного контроля тепловых и атмосферных условий. Его архитектура с раздельной рамой специально разработана для облегчения доступа к реакционным трубам и подложкам, что значительно сокращает время простоя между экспериментальными запусками, а также позволяет использовать протоколы быстрого охлаждения, необходимые для определенных кристаллических структур материалов.
В основном используемая в производстве полупроводников, нанотехнологиях и передовой керамике, эта система поддерживает широкий спектр процессов, включая рост графена, синтез углеродных нанотрубок и различные покрытия тонкими пленками. Универсальный дизайн позволяет использовать различные прекурсоры и газы-носители, что делает этот инструмент незаменимым для исследовательских институтов и промышленных центров НИОКР, занимающихся разработкой электронных и оптоэлектронных материалов нового поколения. Выполняет ли она рутинный отжиг или сложные многостадийные последовательности химического парофазного осаждения, установка поддерживает стабильную среду для обеспечения воспроизводимости результатов в каждой партии, соответствуя самым строгим промышленным стандартам.
Построенная на промышленных компонентах с упором на долгосрочную надежность, эта система печи превосходно работает в условиях demanding непрерывных рабочих циклов. Комбинация изоляции из высокочистого волокна оксида алюминия и прецизионно намотанных нагревательных элементов обеспечивает превосходную тепловую эффективность и равномерность температуры. Пользователи могут полагаться на интегрированные протоколы безопасности, такие как автоматическая защита от перегрева и обнаружение отказа термопары, для защиты чувствительных образцов и поддержания целостности работы в лабораторных условиях с высокими ставками. Это оборудование представляет собой премиальную инвестицию для объектов, приоритетом которых являются точность, долговечность и стабильность работы.
Ключевые особенности
- Радиочастотное усиление свечения: Эта система использует дополнительную технологию радиочастотного свечения для значительного увеличения скорости осаждения пленки до 10Å/S. Эта возможность критически важна для высокопроизводительного производства и быстрого прототипирования в конкурентных областях исследований.
- Превосходная равномерность на большой площади: Используя передовую технологию многоточечного радиочастотного ввода и специализированное распределение газового потока, печь обеспечивает равномерность пленки лучше 8%. Этот уровень согласованности жизненно важен для создания высококачественных покрытий на больших подложках.
- Механизм раздвижной камеры: Корпус печи оснащен специализированной раздвижной системой, позволяющей перемещать камеру вдоль рельса. Это обеспечивает быстрое охлаждение процессной трубы и облегчает интуитивное наблюдение за реакционными образцами без нарушения вакуумного уплотнения.
- Прецизионный массовый расход: Оборудование оснащено 4-канальным блоком газового контроля MFC, обеспечивающим цифровое регулирование исходных газов, таких как CH4, H2, O2 и N2. С линейностью ±0,5% F.S. и повторяемостью ±0,2% F.S. он обеспечивает точную стехиометрию, необходимую для высокочистого синтеза.
- Интеллектуальный интерфейс ПИД-регулирования: Высокопроизводительный 7-дюймовый TFT сенсорный контроллер использует механизм замкнутой обратной связи. Эта система обеспечивает точность температуры ±1°C и позволяет программировать сложные сегменты нагрева, выдержки и охлаждения.
- Совместимость с высоким вакуумом: Интегрированная вакуумная станция оснащена стандартным ротационным вакуумным насосом 4 л/с, способным достигать 10 Па, с возможностью модернизации до турбомолекулярного насоса, достигающего давления высокого вакуума 6x10^-5 Па для ультрачистых сред осаждения.
- Нагревательные элементы промышленного класса: Используя спиральные проволочные нагреватели из Cr2Al2Mo2, встроенные в высокочистое волокно оксида алюминия японского производства, система обеспечивает максимальную рабочую температуру 1200℃ с исключительным тепловым восстановлением и энергоэффективностью.
- Мощная архитектура безопасности: Установка включает встроенные сигнализации перегрузки по току и перегрева, которые автоматически отключают питание для предотвращения повреждений. Она также имеет функцию перезапуска после сбоя питания, позволяющую системе возобновить программу нагрева после восстановления электропитания.
- Универсальный дизайн фланцев: Вакуумные фланцы из нержавеющей стали с двухкольцевыми силиконовыми уплотнениями создают герметичную среду. Эти фланцы спроектированы с адаптивными портами для размещения различных вакуумметров, датчиков или дополнительных впусков прекурсоров.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Синтез графена | Точное регулирование газов источника углерода (CH4) и газов-носителей (H2, Ar) при высоких температурах. | Позволяет получать высококачественные однослойные или многослойные пленки графена большой площади. |
| Рост нанопроволок | Контролируемый рост пар-жидкость-кристалл (VLS) полупроводниковых нанопроволок в условиях высокого вакуума. | Исключительный контроль над диаметром нанопроволоки и кристаллографической ориентацией. |
| Покрытие тонкими пленками | Осаждение металлических, керамических и композитных пленок на различные подложки посредством химической реакции. | Улучшенные поверхностные свойства, включая твердость, коррозионную стойкость и проводимость. |
| Переработка материалов для батарей | Спекание и сушка катодных/анодных материалов в защитных атмосферах. | Предотвращает окисление и улучшает электрохимическую стабильность компонентов батарей. |
| Производство углеродных нанотрубок (CNT) | Термический разложение углеводородных прекурсоров на металлических катализаторах. | Способствует росту вертикально ориентированных лесов CNT с высокой плотностью. |
| Легирование полупроводников | Введение примесей в полупроводниковые пластины путем высокотемпературной диффузии. | Точный контроль электрических свойств и глубин p-n-переходов в кремниевых устройствах. |
| Термическая обработка в атмосфере | Отжиг и закалка специальных стальных деталей или керамики в восстановительных средах. | Устраняет обезуглероживание поверхности и обеспечивает равномерную твердость материала. |
| Исследования 2D материалов | Синтез дихалькогенидов переходных металлов (TMDC) с использованием парофазного транспорта. | Позволяет создавать высокоподвижные электронные и оптоэлектронные датчики. |
Технические характеристики
| Параметр | Детали спецификации TU-CVD02 |
|---|---|
| Макс. температура | 1200℃ |
| Постоянная рабочая температура | 1100℃ |
| Материал трубы | Высокочистый кварц |
| Диаметр трубы | 60 мм |
| Длина зоны нагрева | 1 x 450 мм |
| Материал камеры | Волокно оксида алюминия японского производства |
| Нагревательный элемент | Спираль из проволоки Cr2Al2Mo2 |
| Скорость нагрева | 0-20℃/мин |
| Термопара | Встроенная K-типа |
| Контроль температуры | Цифровой ПИД / 7-дюймовый сенсорный экран |
| Точность контроля | ±1°C |
| Расстояние сдвига | 600 мм |
| Газовые каналы MFC | 4 канала (CH4, H2, O2, N2) |
| Расходы MFC | MFC1: 0-5SCCM; MFC2: 0-20SCCM; MFC3: 0-100SCCM; MFC4: 0-500SCCM |
| Точность MFC | Линейность ±0,5% F.S.; Повторяемость ±0,2% F.S. |
| Макс. рабочее давление | 0,45 МПа |
| Стандартный вакуумный блок | Ротационный насос, производительность 4 л/с, предел 10 Па |
| Блок высокого вакуума (Опция) | Ротационный + Молекулярный насос, предел 6x10^-5 Па |
| Вакуумный порт | KF25 |
| Функции безопасности | Сигнализации перегрева/перегрузки, обнаружение отказа ТП, возобновление после сбоя питания |
Стандартная комплектация включает:
- Печь со раздельной камерой (Базовый блок TU-CVD02)
- Труба из высокочистого кварца
- Вакуумные фланцы из нержавеющей стали (пара)
- Тепловые блоки из оксида алюминия для трубы
- Прецизионный газораспределительный коллектор (4-канальный MFC)
- Вакуумная насосная станция
- Жаропрочные защитные перчатки
- Подробное руководство по эксплуатации
Почему выбрать этот продукт
- Инженерная согласованность: Разработанная с использованием передовых компонентов полупроводникового класса, эта система ограничивает отклонение от подложки к подложке менее чем 2%, обеспечивая повторяемость и масштабируемость ваших результатов исследований для промышленного применения.
- Повышение эффективности лаборатории: Дизайн с раздельной камерой и системой раздвижных рельсов позволяет быстро менять температурный цикл. Быстро охлаждая образцы после осаждения, исследователи могут выполнить больше экспериментальных циклов за одну смену по сравнению с традиционными печами с фиксированной камерой.
- Мощная безопасность и соответствие: Каждая установка оснащена многоуровневыми протоколами безопасности, включая автоматическое отключение питания при перегреве и расширенный мониторинг термопар, что обеспечивает спокойствие во время ночных или длительных запусков.
- Настраиваемые газовые и вакуумные конфигурации: Мы понимаем, что каждый проект НИОКР уникален. Модульный газовый коллектор и вакуумные порты системы позволяют легко выполнять модернизацию, например, добавлять датчики токсичных газов, дополнительные каналы MFC или турбостанции сверхвысокого вакуума.
- Превосходное тепловое управление: Использование премиальной изоляции из волокна оксида алюминия японского производства создает камеру с низкой тепловой массой, которая быстро реагирует на изменения температуры, сохраняя при этом внешний корпус прохладным и энергоэффективным.
Наше стремление к инженерному совершенству гарантирует, что это оборудование будет служить надежным долгосрочным активом для вашего объекта. Свяжитесь с нашей командой технических продаж сегодня, чтобы обсудить ваши конкретные требования к процессу или запросить индивидуальное коммерческое предложение для вашего исследования.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Шестизонная трубчатая печь разъемного типа с глиноземной трубкой и вакуумными фланцами для высокотемпературной обработки до 1500°C и CVD-процессов
Эта шестизонная трубчатая печь разъемного типа с рабочей температурой 1500°C обеспечивает исключительный тепловой контроль для профессиональных лабораторных исследований и высокотемпературных CVD-процессов. Оснащена глиноземной трубкой длиной 1800 мм и точными 30-сегментными ПИД-контроллерами для достижения стабильных результатов обработки материалов и отжига.
Высокотемпературная трубчатая печь разъемного типа (1200°C) для исследований CVD и термообработки в вакуумной/газовой среде
Высокопроизводительная трубчатая печь разъемного типа (1200°C), разработанная для прецизионного CVD-осаждения, спекания в атмосфере и вакуумного отжига. Оснащена передовым PID-контроллером, энергоэффективной японской изоляцией из глиноземистого волокна и разъемной конструкцией для быстрого охлаждения, идеально подходит для промышленных НИОКР и лабораторий передовых материалов.
Компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь с вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической закалки и обработки материалов в контролируемой атмосфере
Эта компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь, разработанная для высокоточных исследований, обеспечивает быстрый нагрев до 1100°C. Оснащенная вакуумными фланцами из нержавеющей стали и 30-сегментным программируемым управлением, она является незаменимым инструментом для материаловедения и промышленных процессов закалки. Надежная производительность.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Компактная трубчатая печь разъемного типа со встроенной вакуумной системой и прецизионным калибратором температуры
Расширьте возможности своих исследований материалов с помощью этой высокопроизводительной компактной трубчатой печи разъемного типа, оснащенной встроенной вакуумной системой и прецизионным калибратором температуры. Получите превосходную тепловую однородность при температурах до 1200°C для сложных лабораторных задач и передовых промышленных процессов термообработки с высокой точностью.
Компактная разъемная трубчатая печь со вставным калибратором температуры и встроенной вакуумной системой
Эта высокопроизводительная компактная разъемная трубчатая печь оснащена встроенной вакуумной системой и прецизионным калибратором температуры. Разработанная для исследований материалов при температуре до 1200°C, она обеспечивает исключительную равномерность нагрева, расширенное ПИД-управление и надежную работу для сложных промышленных и лабораторных задач.
Разрывная вертикальная трубчатая печь с кварцевой трубкой 1200°C и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической обработки
Максимизируйте эффективность исследований с этой разрывной вертикальной трубчатой печью 1200°C, оснащенной 5-дюймовой кварцевой трубкой и точным ПИД-регулированием для быстрого закаливания, вакуумной обработки и современного синтеза материалов в требовательных лабораторных условиях промышленности.
Трёхзонная нагревательная разъёмная вертикальная трубчатая печь 1700°C — высокотемпературная вакуумная атмосферная термообрабатывающая система
Передовая трёхзонная разъёмная вертикальная трубчатая печь на 1700°C для промышленного НИОКР и материаловедческих применений. Эта прецизионная система отличается независимым терморегулированием, возможностью создания высокого вакуума и энергоэффективной теплоизоляцией, обеспечивая стабильную высокотемпературную обработку и быстрые результаты закалки образцов.
Пятизонная разъемная вертикальная трубчатая печь, макс. 1200°C, с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Эта высокопроизводительная пятизонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1200°C оснащена пятью независимыми зонами нагрева и кварцевой трубкой диаметром 4 дюйма, обеспечивая исключительную равномерность температуры и возможность быстрого закаливания для передовых исследований материалов и промышленной термообработки.
Трехзонная кварцевая трубчатая печь с 3-канальным газовым смесителем, вакуумным насосом и антикоррозийным вакуумметром
Эта высокоточная трехзонная кварцевая трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена встроенной системой смешивания газов по трем каналам и антикоррозийным мониторингом вакуума, что делает её идеальным решением для профессионального CVD-синтеза и материаловедческих исследований в требовательных лабораторных и промышленных условиях.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Высокотемпературная трубчатая печь 1200°C с разъемным корпусом, откидными вакуумными фланцами и кварцевой трубкой 4 дюйма для лабораторных исследований
Эта трубчатая печь с разъемным корпусом (1200°C) оснащена откидными вакуумными фланцами и четырехдюймовой кварцевой трубкой для удобной загрузки образцов. Разработанная для прецизионной термической обработки, она обеспечивает исключительную равномерность температуры и вакуумные характеристики для передовых исследований в области материаловедения и промышленных НИОКР.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
24-дюймовая трехзонная разъемная трубчатая печь с дополнительной кварцевой трубкой и системой вакуумных фланцев для высокотемпературного синтеза материалов
Ускорьте исследования материалов с помощью этой премиальной 24-дюймовой трехзонной разъемной трубчатой печи. Благодаря независимому контролю температуры, совместимости с кварцевой трубкой и вакуумным фланцам она обеспечивает точную термообработку до 1200°C для требовательных лабораторных и промышленных задач НИОКР.
Раздельная трубчатая печь 1250C с муллитовой трубой диаметром 3 дюйма и фланцами для вакуумной герметизации для прецизионной термической обработки
Эта раздельная трубчатая печь 1250C оснащена муллитовой трубой диаметром 3 дюйма и фланцами для вакуумной герметизации для передовых НИОКР. Разработанная для материаловедения, она обеспечивает прецизионное ПИД-регулирование, высокочистую изоляцию и надежную работу в вакууме или контролируемой газовой среде. Профессиональный класс.
Трехзонная разъемная трубчатая печь 1600°C с глиноземной трубой и вакуумным фланцем
Эта трехзонная разъемная трубчатая печь с рабочей температурой 1600°C обеспечивает точное температурное профилирование и возможность создания вакуума для передового синтеза материалов и НИОКР, гарантируя исключительную равномерность температуры в нескольких независимых зонах нагрева благодаря надежной конструкции.
Трехзонная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь для CVD и спекания материалов
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь обеспечивает независимое управление зонами для создания точных температурных градиентов. Разработанная для CVD-процессов и вакуумного отжига, она предлагает исключительную равномерность температуры, передовое PID-программирование и надежную вакуумную герметизацию для промышленных исследований и разработок.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь (1500°C) с глиноземной трубкой 80 мм и вакуумным фланцем
Эта высокотехнологичная трехзонная разъемная трубчатая печь на 1500°C оснащена глиноземной трубкой диаметром 80 мм и точным ПИД-регулированием. Она идеально подходит для передовых исследований материалов, процессов CVD и промышленной термообработки, требующих исключительной равномерности температуры и высокой вакуумной стабильности.
