Трубчатая печь
Печь для быстрой термической обработки (RTP) 1100°C с нижней загрузкой и контролем атмосферы для отжига пластин и исследований катализа
Артикул: TU-C30
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для процессов быстрой термической обработки (RTP), требующих экстремальных температурных градиентов и точного управления атмосферой. Используя технологию коротковолнового инфракрасного излучения и автоматизированную конфигурацию с нижней загрузкой, устройство представляет собой универсальную платформу для передовых исследований материалов, особенно там, где циклы быстрого нагрева и охлаждения критически важны для сохранения целостности микроструктуры и достижения уникальных фазовых превращений. Конструкция с нижней загрузкой обеспечивает удобство работы с образцами и минимальное тепловое воздействие на зону нагрева во время циклов загрузки и выгрузки.
Целевые отрасли включают производство полупроводников, исследования в области материаловедения и разработку катализаторов. Оборудование отлично подходит для сред, где важна высокая пропускная способность, предлагая бесшовную интеграцию с роботизированными системами обработки для автономной работы. Это гарантирует, что сложные температурные профили выполняются с воспроизводимой точностью, снижая вероятность человеческих ошибок и повышая продуктивность лаборатории. Будь то отжиг кремниевых пластин или синтез передовых катализаторов, система обеспечивает гибкость нагрева, необходимую для инновационных разработок.
Созданная с использованием компонентов промышленного класса и двухслойной архитектуры охлаждения, эта печь гарантирует стабильность при интенсивных рабочих циклах. Ее надежная конструкция дополнена сложным программным управлением, обеспечивающим надежность, необходимую для чувствительных промышленных процессов и ответственных проектов НИОКР. Сочетание изоляции из высокочистого волокна оксида алюминия и эффективной системы воздушного охлаждения гарантирует, что оборудование останется надежным активом в любой лаборатории или на пилотном производстве.
Основные характеристики
- Сверхбыстрый инфракрасный нагрев: Двенадцать коротковолновых инфракрасных ламп обеспечивают скорость нагрева до 50°C/с, позволяя точно контролировать кинетику нагрева в процессе быстрого отжига и минимизировать нежелательную диффузию.
- Автоматизированный механизм нижней загрузки: Моторизованная платформа для образцов облегчает плавную загрузку и выгрузку без вибраций, обеспечивая стабильность образца и возможность легкой интеграции с внешней автоматикой и роботами-манипуляторами.
- Усовершенствованный контроль атмосферы: Встроенные контроллеры массового расхода газа и высокоточные вакуумметры позволяют осуществлять стабильное управление микроизбыточным давлением (103 000–120 000 Па) и выполнять сложные последовательности продувки газом для спекания в защитной атмосфере.
- Прецизионное ПИД-регулирование температуры: Интеллектуальный 50-сегментный программируемый контроллер поддерживает точность температуры в пределах ±1°C с возможностью апгрейда до ±0,1°C для лабораторных требований сверхвысокой точности.
- Совместимость с робототехникой: Система спроектирована для взаимодействия с роботами-манипуляторами через протоколы с открытым исходным кодом и TCP/IP, поддерживая непрерывную автономную работу нескольких устройств для масштабируемого производства.
- Эффективное управление теплом: Двухслойная конструкция камеры с активной системой воздушного охлаждения позволяет внешней оболочке оставаться безопасной на ощупь, защищая внутреннюю электронику во время высокотемпературных процессов.
- Комплексный сбор данных: Специализированное программное обеспечение записывает и отображает данные о давлении, температуре и расходе газа в режиме реального времени, обеспечивая полную прослеживаемость и ведение журналов для контроля качества и исследовательской документации.
- Герметизация промышленного класса: Система фланцев из нержавеющей стали с водяным охлаждением сохраняет целостность вакуума и чистоту атмосферы, обеспечивая стабильные результаты даже при работе при максимальной температуре 1100°C.
- Универсальная платформа для образцов: Оборудование оснащено кварцевой трубкой высокой чистоты и настраиваемой платформой, что позволяет размещать образцы различных размеров, включая пластины диаметром до 6 дюймов, для разнообразных исследовательских нужд.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Отжиг полупроводниковых пластин | Быстрый нагрев кремниевых или сложных полупроводниковых пластин до 6 дюймов для активации легирующих примесей или устранения повреждений кристаллической решетки. | Минимальный тепловой бюджет и точное восстановление кристаллической решетки. |
| Одноатомный катализ | Высокотемпературная обработка материалов-прекурсоров для синтеза и стабилизации одноатомных катализаторов на различных подложках. | Исключительная однородность и контроль над превращениями на атомном уровне. |
| Высокопроизводительное спекание | Использование роботов-манипуляторов для обработки нескольких образцов в быстрой последовательности для скрининга библиотек материалов. | Значительное сокращение времени цикла и увеличение скорости исследований. |
| Кристаллизация тонких пленок | Быстрая термическая обработка функциональных тонких пленок для улучшения их электрических и оптических свойств. | Контролируемый рост зерен и превосходное качество пленки. |
| Вакуумная термообработка | Обработка чувствительных материалов при контролируемом уровне вакуума (до 10⁻⁴ Торр) для предотвращения окисления. | Среда высокой чистоты для чувствительных к кислороду материалов. |
| Изучение фазовой эволюции материалов | Исследование быстрых превращений материалов при экстремальных изменениях температуры. | Высокая воспроизводимость скоростей нагрева и охлаждения для кинетических исследований. |
| Автономное пилотное производство | Интеграция в автоматизированные линии для производства специализированных электронных компонентов. | Снижение затрат на рабочую силу и улучшение стабильности процесса. |
Технические характеристики
| Характеристика | Детали спецификации (TU-C30) |
|---|---|
| Идентификатор модели | TU-C30 |
| Электропитание | Трехфазное переменное напряжение 208В, 50/60Гц |
| Максимальная мощность | 18 кВт |
| Максимальная рабочая температура | 1100°C (≤ 30 минут) |
| Температура длительной эксплуатации | 1000°C |
| Нагревательный элемент | 12 коротковолновых ИК-ламп, 1,5 кВт на лампу |
| Размеры зоны нагрева | Φ210 мм × 100 мм |
| Скорость нагрева (от комн. до 900°C) | Рекомендуемая: 10°C/с; Максимальная: 50°C/с |
| Скорость охлаждения (герметичная камера) | 800°C до 350°C: 55°C/мин; 350°C до 200°C: 5°C/мин |
| Скорость охлаждения (открытая камера) | 800°C до 350°C: 200°C/мин; 350°C до 50°C: 35°C/мин |
| Управление температурой | ПИД-автоматическое управление, 50-сегментное программирование |
| Точность температуры | ±1°C (Опционально Eurotherm: ±0,1°C) |
| Тип термопары | K-тип |
| Вакуумная плотность | 10⁻² Торр (механический насос) до 10⁻⁴ Торр (молекулярный насос) |
| Материал камеры | Изоляция из высокочистого волокна оксида алюминия |
| Материал трубки | Кварцевая трубка высокой чистоты Φ200 мм |
| Платформа для образцов | Φ105 мм с углублением 76×58 мм (настраиваемая) |
| Контроллер массового расхода (MFC) | Диапазон: 0-5000 ссм |
| Контроль атмосферы | Микроизбыточное давление (103 000–120 000 Па) |
| Интерфейс и данные | DB9, TCP/IP, Modbus, беспроводная связь |
| Возможности ПО | Дистанционное управление вакуумом, расходом газа и циклами; поддержка нескольких установок |
| Опциональный робот | Нагрузка 5 кг, вылет 1096 мм, повторяемость ±0,02 мм |
| Чиллер (опционально) | Холодопроизводительность 51880 BTU/ч; трехфазное питание |
Почему стоит выбрать TU-C30
- Непревзойденные тепловые характеристики: Сочетание инфракрасного нагрева мощностью 18 кВт и передового ПИД-контроля позволяет оборудованию достигать скоростей нагрева, на порядок превышающих возможности традиционных печей сопротивления, что делает его идеальным для современного материаловедения.
- Создана для автоматизации: Эта система, спроектированная специально для высокопроизводительных сред, является одной из немногих в своем классе, предлагающих встроенную поддержку интеграции с роботами-манипуляторами и управление несколькими устройствами с ПК, что значительно сокращает ручное вмешательство.
- Превосходное качество сборки: От фланцев из нержавеющей стали с водяным охлаждением до внутренних компонентов из кварца высокой чистоты — каждый аспект этого устройства разработан для долговечности и сохранения чистоты рабочей среды.
- Прослеживаемость процесса: Наш комплексный программный пакет предоставляет полные цифровые записи каждого цикла нагрева, изменения давления и регулировки расхода газа, отвечая самым строгим требованиям промышленного контроля качества и верификации исследований.
- Гибкая кастомизация: Если вам требуются специфические уровни вакуума, специализированные платформы для образцов или нестандартные конфигурации газовой системы, наша инженерная команда может адаптировать систему в точном соответствии с вашими техническими требованиями.
Свяжитесь с нашим отделом технических продаж сегодня, чтобы получить подробное коммерческое предложение или обсудить, как мы можем адаптировать эту систему быстрой термической обработки под ваши конкретные исследовательские и производственные задачи.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Печь для быстрой термической обработки RTP с контролируемой атмосферой и нижней загрузкой, 1100°C, высокая производительность, скорость нагрева 50°C в секунду
Максимизируйте эффективность НИОКР с этой печью RTP с нижней загрузкой на 1100°C, оснащенной сверхбыстрым нагревом 50°C/с и контролем атмосферы. Эта высокопроизводительная система интегрируется с роботизированными манипуляторами для автоматизированного синтеза одноатомных катализаторов и точного отжига пластин диаметром до 6 дюймов.
Печь быстрой термообработки с нижней загрузкой и регулируемой атмосферой, 1100°C, скорость нагрева 50°C/с, для отжига пластин
Достигните пиковой эффективности с этой печью быстрой термообработки с нижней загрузкой на 1100°C, скоростью нагрева 50°C/с и автоматическим регулированием атмосферы. Идеально подходит для высокопроизводительного синтеза одноатомных катализаторов и точного отжига полупроводниковых пластин диаметром до шести дюймов в условиях передовых научных исследований.
Компактная печь для быстрого термического отжига (RTP) с контролируемой атмосферой и кварцевой трубкой с внутренним диаметром 4 дюйма, 1100°C
Усовершенствуйте свои исследования в области полупроводников с помощью этой компактной печи RTP с контролируемой атмосферой. Оснащенная 4-дюймовой кварцевой трубкой и рассчитанная на температуру 1100°C, она обеспечивает скорость нагрева 50°C/сек для прецизионного отжига, процессов CVD и высокопроизводительной обработки материалов.
Автоматизированная сдвижная трубчатая печь для быстрого нагрева и охлаждения, внешний диаметр 2 дюйма, макс. 1100°C
Оптимизируйте исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной автоматизированной сдвижной трубчатой печи. Эта система с максимальной температурой 1100°C обеспечивает сверхбыстрый нагрев и охлаждение со скоростью до 100°C в минуту, гарантируя прецизионную термическую обработку для полупроводников, нанотехнологий и промышленных НИОКР, требующих быстрого термического цикла.
Высокотемпературная трехзонная муфельная печь с нижней загрузкой 1600°C и камерой для быстрой термической обработки, объем 72 л
Улучшите процессы термической обработки с помощью этой высокоточной трехзонной печи с нижней загрузкой, рабочей температурой 1600°C, объемом камеры 72 л и электрическим приводом загрузки. Система разработана для НИОКР в области материаловедения и обеспечивает исключительную равномерность температуры, быстрое охлаждение и расширенное управление ПЛК для сложных промышленных задач.
Автоматическая печь с нижней загрузкой, контролируемой атмосферой, 1200°C и кварцевой трубкой 6 дюймов
Усовершенствованная автоматическая печь с нижней загрузкой, контролируемой атмосферой, рассчитанная на 1200°C, оснащенная шестидюймовой кварцевой трубкой и двухзонным нагревом. Предназначена для высокопроизводительных исследований материалов и промышленных процессов термической обработки, требующих стабильной точности и полной интеграции автоматизации в научно-исследовательских лабораториях.
Компактная высокотемпературная автоматическая печь с нижней загрузкой и быстрым охлаждением для автономных исследований материалов
Повысьте производительность НИОКР с помощью этой компактной автоматической печи с нижней загрузкой (1500°C), оснащенной функцией быстрого охлаждения и совместимостью с системами автоматизации для интеграции в перчаточные боксы или роботизированные рабочие процессы в передовых промышленных лабораториях и исследовательских центрах материаловедения, нуждающихся в высокоточных решениях для термообработки.
Компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь с вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической закалки и обработки материалов в контролируемой атмосфере
Эта компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь, разработанная для высокоточных исследований, обеспечивает быстрый нагрев до 1100°C. Оснащенная вакуумными фланцами из нержавеющей стали и 30-сегментным программируемым управлением, она является незаменимым инструментом для материаловедения и промышленных процессов закалки. Надежная производительность.
Высокотемпературная камерная печь с нижней загрузкой для быстрой термической обработки, 1700°C, объем 40 л
Профессиональная камерная печь с нижней загрузкой (1700°C) обеспечивает быстрый нагрев и охлаждение для передовых исследований материалов. Благодаря автоматизированной загрузке и высокочистой изоляции эта система гарантирует точность термической обработки в требовательных промышленных лабораториях и исследовательских центрах по всему миру. Надежное качество.
Высокотемпературная вертикальная печь с контролируемой атмосферой, автоматической нижней загрузкой и рабочей температурой до 1700°C для передовых исследований материалов
Усовершенствованная вертикальная вакуумная печь с температурой до 1700°C, оснащенная автоматизированной системой нижней загрузки. Эта высокочистая система, разработанная для прецизионного спекания и отжига, включает камеры с водяным охлаждением и ПИД-контроллер Eurotherm для решения сложных задач промышленных исследований и разработок.
Высокотемпературная вертикальная печь с контролируемой атмосферой 1700°C, автоматической нижней загрузкой и вакуумной термосистемой объемом 13 литров
Достигайте превосходных результатов термической обработки с помощью этой вертикальной печи с контролируемой атмосферой (1700°C), оснащенной автоматической нижней загрузкой, точными контроллерами Eurotherm и возможностями глубокого вакуума для передовых исследований материалов и сложных промышленных R&D задач.
Компактная высокотемпературная печь с нижней загрузкой 1700°C, система быстрого нагрева и охлаждения, оборудование для термоциклирования малых образцов
Эта компактная печь с нижней загрузкой на 1700°C оснащена моторизованным подъемником для быстрой обработки образцов, точным PID-регулятором и современными нагревательными элементами из MoSi2, что делает ее идеальным решением для высокотемпературных исследований материалов и строгих испытаний на термоциклирование для промышленных лабораторных применений.
Промышленная камерная печь с нижней загрузкой и атмосферой инертного газа, 1700°C / 1300°C, 216 л, для высокотемпературной обработки
Эта высокопроизводительная камерная печь с нижней загрузкой обеспечивает точную термообработку при температурах до 1700°C. Оснащенная камерой объемом 216 л и гидравлическим подъемником, она гарантирует равномерную термическую обработку для передовых исследований материалов и промышленных R&D проектов.
Вакуумная печь с нижней загрузкой, 1200°C, быстрое охлаждение, контроль атмосферы, кварцевая камера
Усовершенствованная вакуумная печь с нижней загрузкой (1200°C), оснащенная системой быстрой газовой закалки, встроенным двойным PID-контроллером и камерой из высокочистого кварца. Система разработана для прецизионных НИОКР и промышленной обработки материалов, обеспечивая исключительную равномерность нагрева и сокращенное время цикла.
Компактная автоматическая печь с нижней загрузкой 1200°C, прецизионным контроллером и функцией быстрого охлаждения
Эта компактная печь с нижней загрузкой до 1200°C обеспечивает точный контроль и быстрое охлаждение для автоматизированных исследований материалов. Система разработана для интеграции в перчаточные боксы и гарантирует надежную высокотемпературную обработку и бесперебойную регистрацию данных для передовых промышленных НИОКР.
Печь с контролируемой атмосферой 1200°C, автоматическая, с нижней загрузкой и двухзонной системой на 6-дюймовой кварцевой трубке
Достигайте точного синтеза материалов с этой печью с контролируемой атмосферой 1200°C и автоматической нижней загрузкой. Оснащенная 6-дюймовой кварцевой трубкой и двухзонным нагревом, эта система поддерживает автономные круглосуточные НИОКР и процессы высокочистой промышленной термообработки с исключительной термической стабильностью.
Вакуумная печь с нижней загрузкой на 1200°C, быстрым газовым охлаждением и кварцевой камерой диаметром 8,6 дюйма
Передовая вакуумная печь с нижней загрузкой на 1200°C, разработанная для точных исследований материалов, оснащена системой быстрой газовой закалки и двухзонным ПИД-регулированием. Эта промышленная система обеспечивает превосходную термическую однородность и вакуумную целостность для требовательных условий НИОКР и применений, требующих высокой чистоты.
Вертикальная печь с нижней загрузкой для высокотемпературной обработки 1700°C, двухстадийная система обработки образцов, тепловое оборудование большой емкости 18 л
Повышайте эффективность лаборатории с этой вертикальной печью с нижней загрузкой на 1700°C, оснащенной двумя подвижными стадиями для непрерывной обработки. Разработана для быстрых термоциклов и точных исследований при высокочистой теплоизоляции с усовершенствованным сенсорным управлением PID.
Скользящая трубчатая печь 1200°C для быстрой термической обработки и роста графена методом CVD с диаметром трубки до 100 мм
Ускорьте свои исследования с помощью этой скользящей трубчатой печи на 1200°C, разработанной для быстрой термической обработки и CVD-процессов. Оснащена высокоточным ПЛК-контроллером и моторизованными направляющими для сверхбыстрых циклов нагрева и охлаждения в передовых лабораториях материаловедения и промышленных R&D центрах.
Печь для быстрой термической обработки 950°C для 12-дюймовых пластин с методом CSS-напыления и вращающимся держателем подложки
Эта прецизионная печь для быстрой термической обработки (RTP) с температурой до 950°C оснащена вращающимся держателем подложек для 12-дюймовых пластин и двухзонным ИК-нагревом. Разработанная для передового CSS-напыления (сублимация в узком зазоре) и отжига полупроводников, она обеспечивает равномерное осаждение тонких пленок в условиях высокого вакуума для промышленных исследований.
Связанные статьи
Физика искупления: восстановление поверхности фиолетового фосфора в тепловом поле
Скрытая цена эффективности: устранение повреждений, вызванных плазмой, с помощью термической точности
