Атмосферная печь
Печь с контролируемой атмосферой 1200°C, автоматическая, с нижней загрузкой и двухзонной системой на 6-дюймовой кварцевой трубке
Артикул: TU-DZ14
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта




Эта высокопроизводительная система термической обработки представляет собой вершину автоматизированного лабораторного оборудования, специально разработанного для передовых исследований в области материаловедения и промышленных НИОКР. Сочетая максимальную рабочую температуру 1200°C с усовершенствованным механизмом нижней загрузки, оборудование обеспечивает стабильную и воспроизводимую среду для сложных термообработок. Интеграция кварцевой трубки большого диаметра (6 дюймов) позволяет обрабатывать крупные образцы или партии с высокой пропускной способностью, сохраняя при этом высочайшие стандарты чистоты и контроля атмосферы. Этот блок предназначен для исследователей, которым требуется точность без ущерба для производительности, предлагая универсальную платформу как для вакуумных, так и для контролируемых газовых сред.
Ориентированная на такие сектора, как производство полупроводников, испытания аэрокосмических материалов и передовая керамика, эта система облегчает критически важные процессы, включая спекание, отжиг и химическое осаждение из газовой фазы. Ее вертикальная ориентация и автоматизированная платформа минимизируют риск загрязнения образцов и термического удара, обеспечивая крайне бережное обращение с деликатными подложками. Прочная конструкция создана для работы в условиях непрерывной эксплуатации, обеспечивая промышленную надежность в формате, подходящем для высококлассных лабораторных условий. Независимо от того, используется ли она для отдельных экспериментов или интегрирована в более крупную автоматизированную производственную линию, система обеспечивает стабильные, высокоточные результаты, соответствующие строгим требованиям современной инженерии.
Уверенность в этом оборудовании подкреплена его прецизионно изготовленными компонентами и автономными возможностями. Система предназначена для круглосуточной работы, используя высококачественные нагревательные элементы из FeCrAlMo и продвинутое ПИД-регулирование для поддержания термической однородности. Снижая необходимость ручного вмешательства, оборудование повышает безопасность и эффективность, позволяя лабораторному персоналу сосредоточиться на анализе данных, а не на управлении аппаратным обеспечением. Этот блок — не просто печь; это комплексное решение для термической обработки, предназначенное для ускорения темпов инноваций в разработке материалов и оптимизации промышленных процессов.
Ключевые особенности
- Автоматизированный механизм нижней загрузки: Прецизионная моторизованная платформа обеспечивает плавное, без вибрации перемещение образцов в зону нагрева. Такая вертикальная конфигурация загрузки идеальна для поддержания термической симметрии и упрощения работы с большими или тяжелыми тиглями без нарушения внутренней атмосферы.
- Двухзонное регулирование температуры: Оснащенная двумя независимыми нагревательными зонами общей длиной 350 мм, система предлагает непревзойденную гибкость в создании специфических термических градиентов или поддержании широкой, сверходнородной зоны постоянной температуры длиной 120 мм в пределах ±2°C.
- Интегрированное управление атмосферой: Укомплектованная массовым расходомером (MFC) на 1-1000 см³/мин и нержавеющими водяными фланцами с водяным охлаждением, установка позволяет точно дозировать газ и регулировать давление, легко поддерживая инертные, окислительные или восстановительные атмосферы.
- Камера из высокочистого кварцевого стекла: Кварцевая трубка с внешним диаметром 150 мм обеспечивает химически инертную среду, устойчивую к термическому удару, и позволяет визуально контролировать процесс. Ее высокая прозрачность необходима исследователям для отслеживания физических изменений материалов во время термических циклов.
- Готовность к автономной работе: Система полностью совместима с интеграцией с ПК и управлением роботизированной рукой, что обеспечивает круглосуточную автономную работу. Это позволяет проводить высокопроизводительный скрининг и долгосрочные испытания на стабильность без постоянного контроля со стороны человека.
- Продвинутый сенсорный интерфейс: Удобная панель управления объединяет все параметры процесса, включая скорости нагрева/охлаждения и время выдержки. Операторы могут программировать 50-сегментные профили и выполнять сложные термические рецепты одним касанием.
- Превосходные вакуумные характеристики: Наличие высококачественных уплотнительных фланцев и возможность модернизации до молекулярного насоса позволяют системе достигать уровня вакуума до 10⁻⁵ Торр, что делает ее пригодной для процессов, чувствительных к влаге или кислороду.
- Комплексная система охлаждения: В стандартную комплектацию входит рециркуляционный водяной охладитель производительностью 16 л/мин для защиты силиконовых уплотнительных колец и поддержания целостности уплотнительных фланцев, обеспечивая долговечность вакуумных уплотнений даже при длительной работе при высоких температурах.
- Модернизации для безопасности при работе с водородом: Для специализированной металлургии установка может быть модернизирована с помощью автоматической горелки для водорода, детектора утечек и блока подачи, превращая ее в высокобезопасную печь, способную работать с водородом.
Применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Отжиг полупроводников | Точная термическая обработка кремниевых пластин или пластин из сложных полупроводников в условиях контролируемого газового потока. | Минимизирует дефекты и улучшает подвижность носителей заряда благодаря сверхстабильным температурным зонам. |
| Спекание технической керамики | Высокотемпературное уплотнение передовых керамических порошков в плотные, высокопрочные компоненты. | Автоматическая загрузка предотвращает механический удар по хрупким деталям в "сыром" состоянии. |
| Нанесение тонких пленок | Использование двухзонной конфигурации для процессов переноса пара или CVD на различные подложки. | Отличная однородность по всему большому диаметру 6 дюймов обеспечивает постоянную толщину пленки. |
| Высокопроизводительный скрининг | Проведение непрерывных, автоматизированных циклов обработки партий для открытия материалов с использованием роботизированной интеграции. | Снижает затраты на труд и ускоряет сроки НИОКР благодаря круглосуточной автономной работе. |
| Синтез материалов для аккумуляторов | Кальцинация и синтез катодных/анодных материалов в специфических инертных или реактивных атмосферах. | Предотвращает окисление и обеспечивает химическую чистоту благодаря высокому вакууму и контролю MFC. |
| Пайка в водороде | Соединение специализированных металлических компонентов в восстановительной водородной среде для предотвращения окисления. | Интегрированные предохранительные горелки и детекторы утечек обеспечивают безопасную среду для работы с опасными газами. |
| Выращивание кристаллов | Контролируемое охлаждение и температурные градиенты для выращивания высокочистых монокристаллов. | Двухзонное ПИД-регулирование позволяет создавать точный термический профиль, необходимый для высококачественной кристаллизации. |
Технические характеристики
| Категория параметра | Детали спецификации для TU-DZ14 |
|---|---|
| Модель | TU-DZ14 |
| Питание | 220В перем. тока +/- 10%, 50/60Гц, однофазное |
| Максимальная мощность | Макс. 6.0 кВт |
| Макс. рабочая темп. | 1200℃ (продолжительность ≤ 30 минут) |
| Длительная рабочая темп. | 1100℃ (длительная работа) |
| Нагревательные элементы | Высококачественная проволока сопротивления из FeCrAlMo |
| Конфигурация нагревательных зон | Две зоны: 175мм (Зона 1) + 175мм (Зона 2) |
| Общая длина нагрева | 350 мм |
| Зона равномерной темп. | 120 мм (поддерживается в пределах ±2°C) |
| Скорость нагрева | Рекомендуемая 10°C / минуту |
| Интерфейс управления | Интегрированная сенсорная панель с логикой ПЛК |
| Контроллеры температуры | Два программируемых контроллера на 50 сегментов |
| Точность | Стандартная ±1°C (Опционально: модернизация Eurotherm до ±0.1°C) |
| Термопары | Два высокоточных датчика типа K |
| Удаленное подключение | Стандартный порт DB9 для ПК с включенным ПО для удаленного мониторинга |
| Размеры рабочей трубки | Кварцевое стекло: 150 мм ВД x 144 мм ВД x 600 мм Длина |
| Фланцевая сборка | Водяное охлаждение, SS304; Верхний: порты для вакуума/газа; Нижний: Платформа для образцов |
| Управление газом | 1x Массовый расходомер (MFC), Диапазон: 1 - 1000 см³/мин |
| Платформа для образцов | Кварцевая пластина диаметром 130 мм (Настраиваемая для высокой пропускной способности) |
| Система охлаждения | Включен рециркуляционный водяной охладитель 16 л/мин |
| Возможности вакуума | Механический: 10⁻² Торр; Молекулярный (Опционально): 10⁻⁵ Торр |
| Сертификации | Опционально доступен мощный вакуумный насос 240 л/мин с сертификацией NRTL |
Почему выбирают нас
- Непревзойденная точность и стабильность: Двухзонная нагревательная архитектура системы гарантирует, что ваши образцы испытывают точный термический профиль, необходимый для воспроизводимых характеристик материала, что подтверждается высокоточными датчиками типа K и ПИД-логикой.
- Масштабируемая автоматизация: Разработанное для будущего лабораторной работы, это оборудование плавно переходит от ручных исследований к полностью автономной, роботизированной работе, значительно увеличивая производительность вашей лаборатории и возврат на инвестиции (ROI).
- Прочная конструкция для промышленного использования: От водяных фланцев из нержавеющей стали SS304 до прочной кварцевой камеры — каждый компонент выбран за его способность выдерживать непрерывные термические циклы и требовательные химические среды.
- Гибкое управление атмосферой: Требует ли ваш процесс высокого вакуума, продувки инертным газом или реактивных водородных атмосфер — эта установка обеспечивает модульность и функции безопасности для удовлетворения разнообразных экспериментальных потребностей в рамках единой платформы.
- Всесторонняя поддержка и кастомизация: THERMUNITS предоставляет глубокие технические знания для настройки платформ для образцов, тиглей и систем подачи газа, гарантируя, что оборудование поступит готовым к интеграции в ваш конкретный рабочий процесс.
Инвестируйте в решение для термической обработки, которое сочетает промышленную мощность с лабораторной точностью. Свяжитесь с нашей технической командой продаж сегодня для получения подробного коммерческого предложения или обсуждения индивидуальной конфигурации, адаптированной под ваши конкретные исследовательские требования.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.
Автоматическая печь с нижней загрузкой, контролируемой атмосферой, 1200°C и кварцевой трубкой 6 дюймов
Усовершенствованная автоматическая печь с нижней загрузкой, контролируемой атмосферой, рассчитанная на 1200°C, оснащенная шестидюймовой кварцевой трубкой и двухзонным нагревом. Предназначена для высокопроизводительных исследований материалов и промышленных процессов термической обработки, требующих стабильной точности и полной интеграции автоматизации в научно-исследовательских лабораториях.
Двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева с системой вакуумной атмосферы
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева обеспечивает максимальную температуру 1200°C, скорость нагрева до 100°C в минуту, точное ПИД-регулирование и возможности работы в вакуумной атмосфере для передовых исследований материалов, спекания и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь с вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической закалки и обработки материалов в контролируемой атмосфере
Эта компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь, разработанная для высокоточных исследований, обеспечивает быстрый нагрев до 1100°C. Оснащенная вакуумными фланцами из нержавеющей стали и 30-сегментным программируемым управлением, она является незаменимым инструментом для материаловедения и промышленных процессов закалки. Надежная производительность.
Двухзонная трубчатая печь для работы с водородом 1100°C с кварцевой трубкой и встроенной системой обнаружения утечек H2
Эта высокопроизводительная двухзонная водородная трубчатая печь оснащена встроенным газоанализатором Honeywell для безопасной термической обработки при температуре до 1100°C. Разработанная для НИОКР в области материаловедения, она обеспечивает точный контроль атмосферы с использованием кварцевых трубок диаметром 60 мм или 80 мм.
Двухзонная разъемная трубчатая печь для закалки с контролем вакуумной атмосферы и быстрым охлаждением
Эта двухзонная разъемная трубчатая печь, созданная для достижения превосходных результатов, обеспечивает точную закалку и контроль вакуумной атмосферы. Благодаря использованию передовых японских систем управления и высококачественных нагревательных элементов, она гарантирует равномерные температурные профили для критически важных исследований материалов и высокопроизводительных промышленных НИОКР.
Двухзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с трубкой из плавленого кварца и вакуумными фланцами, доступна в диаметрах 60 мм, 80 мм и 100 мм
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой двухзонной разъемной трубчатой печи на 1200°C, оснащенной независимым контролем температуры для создания точных температурных градиентов. Благодаря трубкам из плавленого кварца и вакуумным уплотнительным фланцам, это идеальное решение для передовых процессов CVD и синтеза наноматериалов.
Двухзонная трубчатая печь на 1100°C с 11-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами для обработки 8-дюймовых пластин
Эта передовая высокотемпературная двухзонная трубчатая печь спроектирована с 11-дюймовой кварцевой трубкой и 24-дюймовой зоной нагрева для обеспечения исключительной термической однородности при отжиге 8-дюймовых пластин, спекании материалов и является специализированным оборудованием для химического осаждения из газовой фазы для промышленных и лабораторных применений.
Трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 11 или 15 дюймов и шарнирными фланцами для термообработки в вакуумной атмосфере
Достигните превосходной тепловой однородности с этой трехзонной трубчатой печью, оснащенной кварцевыми трубами диаметром 11 или 15 дюймов для крупномасштабного отжига пластин и синтеза материалов при точном вакуумном контроле, с электроприводом крышки для обеспечения безопасности в промышленных лабораторных условиях.
Высокотемпературная кварцевая камерная печь 1100°C, внешний диаметр 8 дюймов, объем 7,6 литра, с возможностью работы в вакууме
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой кварцевой камерной печи на 1100°C с внешним диаметром 8 дюймов и объемом 7,6 литра. Эта система, разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, обеспечивает прецизионную термическую обработку для передовых исследований материалов и производства полупроводников.
Кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C с зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением
Эта кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C оснащена зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением для точной обработки методом CVD. Идеально подходит для материаловедческих исследований и промышленных НИОКР, обеспечивая исключительную термическую стабильность и надежные тепловые характеристики.
Высокопроизводительная четырехканальная трубчатая печь 1200°C с кварцевыми трубками диаметром 3 дюйма для много-зонного отжига и исследований материалов
Ускорьте исследования материалов с нашей передовой четырехканальной трубчатой печью 1200°C, оснащенной независимым управлением для каждой кварцевой трубки диаметром 3 дюйма. Эта высокопроизводительная система обеспечивает непревзойденную эффективность для отжига и исследований фазовых диаграмм в промышленных и академических лабораториях НИОКР.
Трехзонная вращающаяся трубчатая печь для спекания материалов и термообработки в контролируемой атмосфере
Улучшите процессы термической обработки с помощью этой трехзонной вращающейся трубчатой печи. Оснащенная шведскими нагревательными элементами Kanthal A1 и механизмом наклона 0-40 градусов, она обеспечивает превосходную равномерность нагрева для спекания порошков и исследований высокочистых материалов в условиях вакуума или контролируемой атмосферы для промышленных научно-исследовательских отделов.
Автоматическая трубчатая печь 1200 C для исследований материалов с помощью ИИ с наружным диаметром 6 дюймов и скользящим фланцем
Ускорьте открытие материалов с помощью этой премиальной автоматической трубчатой печи, разработанной для исследований на основе ИИ. Эта система с диаметром 6 дюймов и двухзонным нагревом обеспечивает роботизированную интеграцию и непрерывный синтез 24/7 для высокопроизводительных промышленных и лабораторных исследований и разработок.
Вертикальная вакуумная трубчатая печь 1700°C с атмосферой и глиноземной трубкой 80 мм
Эта высокоточная вертикальная трубчатая печь обеспечивает исключительную температурную равномерность до 1700°C для синтеза материалов. Благодаря 80-миллиметровой глиноземной трубке и усовершенствованным вакуумным уплотнительным фланцам, она создает стабильную атмосферу для требовательных промышленных НИОКР и специализированных процессов термообработки.
Двухзонная вращающаяся трубчатая печь с прецизионным вращением и регулируемым наклоном для передовых исследований материалов
Высокопроизводительная двухзонная вращающаяся трубчатая печь с нагревательными элементами Kanthal A1 и прецизионным вращением для равномерной обработки материалов. Идеально подходит для процессов CVD и научно-исследовательских работ, требующих надежного температурного контроля и регулируемого наклона в условиях требовательных промышленных лабораторий.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C, 5 дюймов, с вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Высокопроизводительная вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C с рабочей камерой диаметром 5 дюймов и вакуумными фланцами из нержавеющей стали. Прецизионное 30-сегментное ПИД-управление обеспечивает точность термической обработки для НИОКР в области материаловедения, CVD-процессов и специализированных задач закалки в контролируемой атмосфере.
Пятизонная высокотемпературная разъемная трубчатая печь 1200 °C с сенсорным контроллером и несколькими вариантами кварцевых труб
Высокопроизводительная пятизонная трубчатая печь 1200 °C, разработанная для точных температурных градиентов и контроля атмосферы. Эта система обеспечивает интуитивно понятное программирование через сенсорный экран и возможности вакуумного уплотнения, способствуя стабильным результатам в сложных процессах спекания, отжига и синтеза материалов.