Трубчатая печь
Шестизонная трубчатая печь разъемного типа с глиноземной трубкой и вакуумными фланцами для высокотемпературной обработки до 1500°C и CVD-процессов
Артикул: TU-67
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная шестизонная трубчатая печь разъемного типа представляет собой вершину теплотехники для современных материаловедческих исследований и промышленных разработок. Система, рассчитанная на работу при температурах до 1500°C, предоставляет исследователям непревзойденный контроль над тепловой средой, будь то создание идеально равномерной температурной зоны или специфического температурного градиента. Благодаря интеграции передовых нагревательных элементов и модульной конструкции корпуса, оборудование позволяет быстро загружать и выгружать образцы, не нарушая целостности сложных экспериментальных установок или чувствительных вакуумных соединений.
Разработанная в первую очередь для химического осаждения из газовой фазы (CVD), отжига и спекания, эта установка обслуживает отрасли от производства полупроводников до тестирования передовой керамики и аэрокосмических материалов. Универсальность шестизонной конфигурации позволяет моделировать сложные промышленные процессы в лабораторных масштабах, предоставляя данные, необходимые для масштабирования производства. Способность поддерживать жесткие допуски в условиях вакуума или контролируемой атмосферы делает эту печь фундаментальным инструментом для лабораторий, исследующих поведение материалов при экстремальных температурах.
Надежность — отличительная черта этой системы термической обработки. Печь, изготовленная из высокопрочных компонентов и огнеупорных материалов на основе глинозема высокой чистоты, рассчитана на непрерывную работу в самых требовательных условиях. Каждый аспект, от надежных стержней из карбида кремния до прецизионных вакуумных фланцев, был выбран для обеспечения повторяемости и долговечности. Операторы могут проводить длительные циклы экспериментов, будучи полностью уверенными в способности системы поддерживать чистоту атмосферы и термическую стабильность сеанс за сеансом.
Ключевые особенности
- Независимый шестизонный тепловой контроль: Нагревательная камера разделена на шесть отдельных зон (12" + 8" + 8" + 8" + 8" + 12"), каждой из которых управляет собственный контроллер. Эта конфигурация позволяет создавать индивидуальные температурные градиенты до 100°C/см или исключительно длинную зону равномерной температуры 800 мм, обеспечивая гибкость для различных исследовательских проектов.
- Глиноземная технологическая трубка высокой чистоты: Система оснащена профессиональной глиноземной трубкой с внешним диаметром 60 мм и длиной 1800 мм, обладающей превосходной химической стойкостью и структурной целостностью при экстремальных температурах, что гарантирует отсутствие загрязнения образцов во время высокотемпературных циклов.
- Прецизионные ПИД-контроллеры: Каждый из шести цифровых контроллеров температуры имеет 30 программируемых сегментов. Это позволяет тщательно управлять скоростью нагрева, временем выдержки и этапами охлаждения. Благодаря точности ±1°C система обеспечивает прецизионность, необходимую для чувствительных полупроводниковых и металлургических процессов.
- Усовершенствованные нагревательные элементы из карбида кремния: Использование 48 высококачественных стержней из SiC обеспечивает быстрый нагрев и поддержание стабильности при высоких температурах. Эти элементы выбраны за их долговечность и эффективность в окислительных и нейтральных атмосферах, превосходя стандартные металлические элементы по износостойкости.
- Интегрированные возможности вакуумирования и работы в атмосфере: Система включает вакуумно-плотные фланцы из нержавеющей стали с двойными высокотемпературными силиконовыми уплотнительными кольцами. Она способна достигать уровня вакуума 10^-2 Торр с механическими насосами и до 10^-5 Торр с молекулярными системами, что делает её идеальной для процессов, чувствительных к кислороду.
- Разъемная конструкция на петлях: Корпус печи имеет разъемную конструкцию, открывающуюся вдоль. Это обеспечивает легкий доступ к технологической трубке и внутренней нагревательной камере, упрощая очистку, размещение образцов и обслуживание нагревательных элементов без демонтажа всей системы подачи газа.
- Комплексные системы безопасности: Встроенная защита от перегрева и обрыва термопары гарантирует безопасное отключение оборудования в случае неисправности компонентов. Визуальные и звуковые сигналы оповещают операторов об отклонениях температуры, позволяя работать без постоянного присмотра во время длительных циклов.
- Расширяемый интерфейс связи: Наличие порта связи RS485 позволяет интегрировать печь с модулями управления на базе ПК. Это обеспечивает удаленный мониторинг, регистрацию данных и управление сложными рецептами термообработки через централизованные программные среды.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | Выращивание тонких пленок и наноматериалов, таких как графен или углеродные нанотрубки. | Точный контроль газодинамики и тепловых зон обеспечивает высокое качество пленок. |
| Отжиг полупроводников | Высокотемпературная обработка кремниевых пластин и сложных полупроводников для устранения дефектов кристаллической решетки. | Многозонный контроль предотвращает термический шок и обеспечивает равномерную активацию примесей. |
| Градиентное спекание | Спекание керамических или металлических порошков при заданном температурном градиенте. | Позволяет исследователям изучать влияние температуры на плотность за один цикл. |
| Тестирование катализаторов | Оценка эффективности промышленных катализаторов в различных температурных и газовых условиях. | Прочная глиноземная трубка устойчива к агрессивным технологическим газам и высокотемпературной усталости. |
| Дегазация материалов | Удаление летучих примесей из материалов высокой чистоты в вакуумной среде. | Высокая вакуумная герметичность в сочетании с температурой 1500°C удаляет глубоко залегающие загрязнения. |
| Испытания на термоциклирование | Проверка долговечности аэрокосмических или автомобильных компонентов при повторяющемся нагреве/охлаждении. | Программируемые рампы позволяют точно имитировать эксплуатационные условия. |
Технические характеристики
Для печи серии TU-67, пожалуйста, ознакомьтесь с подробными техническими данными ниже. Эти спецификации отражают стандартную конфигурацию, разработанную для высокопроизводительных лабораторных условий.
Мощность и производительность
| Параметр | Спецификация (TU-67) |
|---|---|
| Потребляемая мощность | 22 кВт |
| Рабочее напряжение | AC 220В +/- 10%, трехфазное, 50/60 Гц |
| Требования к току | Требуется автоматический выключатель на 100 А |
| Максимальная температура | 1500°C (на время < 30 минут) |
| Рабочая температура (непрерывная) | 800°C - 1400°C |
| Рекомендуемая скорость нагрева | ≤ 5°C/мин |
| Точность температуры | ± 1°C |
Зоны нагрева и размеры трубки
| Компонент | Спецификация (TU-67) |
|---|---|
| Материал трубки | Глинозем высокой чистоты |
| Размеры трубки | 60 мм (внешний) x 51 мм (внутренний) x 1800 мм (длина) |
| Количество зон | 6 независимых зон |
| Длина отдельных зон | 12" + 8" + 8" + 8" + 8" + 12" |
| Общая длина зоны нагрева | 1422 мм (~56") |
| Зона постоянной температуры | 800 мм (± 5°C) без разделителей зон |
| Максимальный температурный градиент | До 100°C/см (с внутренними разделителями) |
Контрольно-измерительные приборы и вакуум
| Характеристика | Детали |
|---|---|
| Температурные контроллеры | 6x цифровых ПИД-контроллеров с 30 программируемыми сегментами |
| Термопары | 6x S-типа (по одной на зону) |
| Нагревательные элементы | 48x стержней из карбида кремния (SiC) на 1500°C |
| Уровень вакуума (механический) | До 10^-2 Торр |
| Уровень вакуума (молекулярный) | До 10^-5 Торр |
| Связь | Порт RS485 (модуль управления с ПК опционально) |
| Функции безопасности | Защита от обрыва термопары, аварийный сигнал перегрева |
| Соответствие | Сертификация CE (NRTL/UL/CSA по запросу) |
Примечания по эксплуатации
- При работе в вакууме температура не должна превышать 1300°C.
- Скорость потока газа должна поддерживаться ниже 200 SCCM.
- Использование двухступенчатого регулятора давления является обязательным для безопасности газового баллона.
- Не используйте графитовые тигли в прямом контакте с глиноземной трубкой.
Почему стоит выбрать TU-67
- Непревзойденная термическая гибкость: Шестизонная архитектура TU-67 предоставляет лабораторным специалистам уникальную возможность настраивать тепловые профили, которые невозможно достичь в однозонных печах, что делает её самым гибким инструментом в своем классе.
- Промышленная надежность: Благодаря использованию 48 отдельных SiC-стержней и высокоплотной глиноземной изоляции, эта печь спроектирована для долговечности и минимального обслуживания, даже при многократных циклах до 1500°C.
- Точность и стабильность: Интеграция термопар S-типа и прецизионной ПИД-логики гарантирует, что ваши исследовательские данные подкреплены стабильными, повторяемыми тепловыми условиями, уменьшая количество переменных в сложных экспериментах.
- Усовершенствованный контроль атмосферы: Независимо от того, требует ли ваш процесс высокого вакуума или специфической инертной газовой среды, высококачественная фланцевая система обеспечивает герметичность для проведения чистых химических реакций.
- Глобальные стандарты безопасности: Благодаря стандартной сертификации CE и возможности модернизации до UL или CSA, это оборудование соответствует строгим требованиям безопасности ведущих академических и корпоративных исследовательских институтов по всему миру.
Инвестируйте в тепловую систему, которая развивается вместе с вашими исследовательскими потребностями. Свяжитесь с нами сегодня для получения коммерческого предложения по индивидуальной конфигурации или технической консультации, чтобы узнать, как TU-67 может расширить ваши возможности в области обработки материалов.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная трубчатая печь разъемного типа (1200°C) для исследований CVD и термообработки в вакуумной/газовой среде
Высокопроизводительная трубчатая печь разъемного типа (1200°C), разработанная для прецизионного CVD-осаждения, спекания в атмосфере и вакуумного отжига. Оснащена передовым PID-контроллером, энергоэффективной японской изоляцией из глиноземистого волокна и разъемной конструкцией для быстрого охлаждения, идеально подходит для промышленных НИОКР и лабораторий передовых материалов.
Высокотемпературная 1700C шестизонная разъёмная трубчатая печь с трубкой из оксида алюминия и фланцами с водяным охлаждением
Точная шестизонная разъёмная трубчатая печь 1700C, разработанная для исследований материалов и промышленных процессов осаждения из паровой фазы. Эта универсальная система обеспечивает независимое управление температурой в каждой зоне и фланцы, готовые к вакуумной работе, для стабильной термообработки и выполнения передовых задач по разработке материалов, обеспечивая максимальную производительность.
Шестизонная разъемная трубчатая печь, 1,8-метровая кварцевая трубка, высокотемпературная система нагрева до 1200°C
Эта высокотемпературная шестизонная разъемная трубчатая печь предлагает гибкие температурные градиенты и 1,8-метровые зоны нагрева. Система оснащена функциями вакуумной совместимости при максимальной температуре 1200°C и шестью ПИД-контроллерами для передовых исследований материалов и промышленных процессов термообработки.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Высокотемпературная разъемная трубчатая печь 1500°C для исследований материалов, вакуумной и атмосферной термической обработки
Эта высокотемпературная разъемная трубчатая печь на 1500°C обеспечивает прецизионную термическую обработку для передовых исследований материалов и промышленного спекания. Она оснащена двухкорпусной конструкцией, встроенным ПИД-регулятором и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для надежной работы в требовательных лабораторных условиях.
Раздельная трубчатая печь 1250C с муллитовой трубой диаметром 3 дюйма и фланцами для вакуумной герметизации для прецизионной термической обработки
Эта раздельная трубчатая печь 1250C оснащена муллитовой трубой диаметром 3 дюйма и фланцами для вакуумной герметизации для передовых НИОКР. Разработанная для материаловедения, она обеспечивает прецизионное ПИД-регулирование, высокочистую изоляцию и надежную работу в вакууме или контролируемой газовой среде. Профессиональный класс.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Высокотемпературная 1200°C 5-дюймовая разъемная вакуумная трубчатая печь с зоной нагрева 12 дюймов и отдельным ПИД-контроллером
Достигайте точности термической обработки с помощью этой высокопроизводительной разъемной вакуумной трубчатой печи на 1200°C. Благодаря большой 5-дюймовой кварцевой трубке, 12-дюймовой зоне нагрева и отдельному ПИД-контроллеру, эта система с сертификацией NRTL обеспечивает надежные результаты для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР.
Высокотемпературная трубчатая печь с тремя температурными зонами для спекания современных материалов и процессов химического осаждения из газовой фазы
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой прецизионной трехзонной трубчатой печи с максимальной температурой 1700°C и независимым ПИД-регулированием для превосходной равномерности нагрева. Идеально подходит для ВГД, вакуумного отжига и спекания материалов в передовых исследовательских и промышленных научно-исследовательских лабораториях или крупных производственных предприятиях
Четырехзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с несколькими зонами нагрева и независимыми цифровыми регуляторами температуры для технологических труб диаметром один или два дюйма
Прецизионная четырехзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с несколькими зонами нагрева, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает независимое управление температурой в четырех нагревательных зонах для создания точного теплового градиента или однородной среды обработки для перспективных материаловедческих исследований и промышленных разработок.
Разделочная трубчатая печь высокой температуры 1100°C с восемью зонами, кварцевой трубой внешним диаметром 4 дюйма и сенсорной панелью управления
Оптимизируйте исследование материалов с помощью этой восьмизонной разделочной трубчатой печи 1100°C с сенсорной панелью управления, точными тепловыми градиентами и большой кварцевой трубой внешним диаметром 4 дюйма для передовых промышленных НИОКР и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Высокотемпературная трубчатая печь 1600°C с разъемным корпусом, вакуумными фланцами и клапанами, опционально для трубок из оксида алюминия 60 мм или 80 мм
Высокопроизводительная трубчатая печь с разъемным корпусом (1600°C), оснащенная вакуумными фланцами, клапанами и прецизионным ПИД-регулятором. Данная промышленная установка поддерживает работу с трубками из оксида алюминия диаметром 60 мм или 80 мм и предназначена для термообработки в контролируемой атмосфере и высокотемпературных вакуумных процессах при передовых исследованиях и разработках материалов.
10-зонная трубчатая печь с разъемом (split tube) 1200°C с возможностью горизонтального и вертикального монтажа для создания многозонных температурных градиентов и обработки материалов большого диаметра
Усовершенствованная 10-зонная трубчатая печь с разъемом (split tube) 1200°C, обеспечивающая непревзойденный контроль температурного градиента благодаря десяти независимым зонам нагрева и универсальному горизонтальному или вертикальному монтажу. Разработана для точного промышленного моделирования, синтеза материалов и высокопроизводительных лабораторных исследований и разработок с исключительной надежностью.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
12-зонная сверхдлинная трубчатая печь с кварцевой трубкой длиной 20 футов (6 м) и максимальной температурой 1100°C
Эта высокоточная 12-зонная трубчатая печь с разъемным корпусом предлагает зону нагрева длиной шесть метров и максимальную температуру 1100°C для работы с длинномерными образцами. Благодаря независимому ПИД-регулированию и фланцам для работы в вакууме, она обеспечивает исключительную равномерность нагрева для передовых исследований в области материаловедения и НИОКР.
Трёхзонная нагревательная разъёмная вертикальная трубчатая печь 1700°C — высокотемпературная вакуумная атмосферная термообрабатывающая система
Передовая трёхзонная разъёмная вертикальная трубчатая печь на 1700°C для промышленного НИОКР и материаловедческих применений. Эта прецизионная система отличается независимым терморегулированием, возможностью создания высокого вакуума и энергоэффективной теплоизоляцией, обеспечивая стабильную высокотемпературную обработку и быстрые результаты закалки образцов.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь, макс. 1200°C, длина нагрева 35,4 дюйма, внутренний диаметр трубки 8 дюймов
Эта высокопроизводительная трехзонная разъемная трубчатая печь оснащена зоной нагрева длиной 35,4 дюйма и трубкой диаметром 8 дюймов для передовой термической обработки. Достигайте пиковых температур 1200°C с независимым управлением зонами для превосходной равномерности нагрева в вакуумной или газовой среде.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь (1500°C) с глиноземной трубкой 80 мм и вакуумным фланцем
Эта высокотехнологичная трехзонная разъемная трубчатая печь на 1500°C оснащена глиноземной трубкой диаметром 80 мм и точным ПИД-регулированием. Она идеально подходит для передовых исследований материалов, процессов CVD и промышленной термообработки, требующих исключительной равномерности температуры и высокой вакуумной стабильности.
Четырехзонная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой большого диаметра 600 мм и вакуумными фланцами
Передовая четырехзонная трубчатая печь с 24-дюймовой кварцевой трубкой и точным термоконтролем до 1100°C. Разработанная для крупномасштабной обработки материалов, спекания и процессов CVD, эта высокопроизводительная система обеспечивает исключительную равномерность температуры и надежную вакуумную герметизацию для требовательных научно-исследовательских сред.
