Трубчатая печь
Двухзонная трубчатая печь на 1100°C с 11-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами для обработки 8-дюймовых пластин
Артикул: TU-32
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь представляет собой сложную систему термической обработки, разработанную для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР. Оснащенная исключительно большой кварцевой трубкой из плавленого кварца с внешним диаметром 11 дюймов, установка обеспечивает просторную среду нагрева, подходящую для крупноформатных образцов и полупроводниковых пластин диаметром до 8 дюймов. Двухзонная конфигурация позволяет создавать точные термические градиенты или более широкую зону постоянной температуры, предоставляя исследователям непревзойденную гибкость в управлении сложными профилями термообработки. Благодаря использованию высокочистой волокнистой изоляции из оксида алюминия, система обеспечивает максимальную энергоэффективность и быстрое время термического отклика.
Оборудование специально разработано для применений, требующих высокой чистоты, включая спекание новых образцов материалов и отжиг полупроводниковых пластин в вакууме или контролируемых газовых средах. Целевые отрасли варьируются от производства полупроводников и металлургии до нанотехнологий и исследований в области возобновляемой энергии. Камера обработки большого диаметра позволяет увеличить производительность и размещать специализированные тигли и лодочки, что делает печь идеальным выбором для лабораторий, переходящих от мелкосерийных экспериментов к опытному производству. Её надежные вакуумные возможности и особенности управления газовой средой обеспечивают точный контроль химического окружения на критических стадиях обработки.
Надежность и стабильность — отличительные черты дизайна этого устройства. Построенная для работы в сложных промышленных условиях, система использует высокоточные цифровые контроллеры и долговечные нагревательные элементы из проволоки сопротивления NiCrAl для поддержания стабильной работы в течение длительного времени. Наличие водяного охлаждения нержавеющих стальных фланцев защищает целостность вакуумных уплотнений, обеспечивая герметичную среду даже во время высокотемпературных циклов. Эта приверженность инженерному совершенству гарантирует, что каждый процесс, от базового прокаливания до передового химического осаждения из газовой фазы, выполняется с воспроизводимыми, высокоточными результатами, на которые могут положиться профессиональные исследователи.
Ключевые особенности
- Прецизионный двухзонный контроль температуры: Система оснащена двумя независимо управляемыми зонами нагрева длиной 300 мм каждая, контролируемыми высокоточными ПИД-цифровыми контроллерами. Это позволяет создавать стабильные термические градиенты или комбинированную зону постоянной температуры длиной 300 мм с точностью ±1°C, что важно для таких процессов, как рост нанолент TMD.
- Сверхбольшая 11-дюймовая кварцевая камера: Печь оснащена массивной кварцевой трубкой из плавленого кварца с внешним диаметром 279 мм, что позволяет размещать крупноформатные образцы, включая стандартные 8-дюймовые полупроводниковые пластины. Высокочистый кварцевый материал обеспечивает отличную термостойкость и химическую инертность, гарантируя среду, свободную от загрязнений.
- Передовые откидные вакуумные фланцы: Нержавеющие стальные вакуумные фланцы имеют откидную конструкцию для легкой загрузки и выгрузки образцов. Интегрированные каналы водяного охлаждения в двухслойной структуре фланца эффективно защищают уплотнительные кольца, поддерживая вакуумную целостность во время длительной работы при температурах до 1100°C.
- Высокоэффективная тепловая изоляция: Использование высокочистой волокнистой изоляции из оксида алюминия минимизирует теплопотери и снижает энергопотребление. Эта легкая, высокопроизводительная изоляция также обеспечивает более быстрые скорости нагрева и охлаждения, оптимизируя общее время цикла для лабораторной производительности.
- Надежные нагревательные элементы и безопасность: Долговечные нагревательные элементы из проволоки сопротивления NiCrAl обеспечивают равномерное распределение тепла. Для безопасности оператора и оборудования предусмотрен вторичный датчик температуры для защиты от перегрева и обрыва термопар, обеспечивая спокойствие во время работы без присмотра.
- Интегрированные порты для газа и вакуума: Система включает механический вакуумметр, два игольчатых клапана из нержавеющей стали и вакуумный порт KF25. Этот комплексный набор арматуры позволяет точно управлять атмосферой, поддерживая уровни вакуума от 10-2 Торр с механическими насосами до 10-4 Торр с турбомолекулярными системами.
- Программируемые профили термообработки: Оба температурных контроллера поддерживают 30 программируемых сегментов, позволяя пользователям автоматизировать сложные последовательности подъема, выдержки и охлаждения. Это обеспечивает высокую воспроизводимость от партии к партии, что критически важно для стандартизированных исследований и промышленного контроля качества.
- Интерфейс с компьютером и регистрация данных: Оборудование совместимо со специализированным программным обеспечением управления на базе Labview, позволяя исследователям редактировать температурные профили, управлять рецептами и записывать данные в реальном времени на ПК для тщательного последующего анализа и документирования.
Применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Отжиг полупроводниковых пластин | Термическая обработка крупноформатных пластин (до 8") для устранения дефектов кристаллической решетки или активации легирующих примесей. | Превосходная однородность по всей площади поверхности пластины. |
| Рост нанолент TMD | Использование двух зон для независимого контроля давления паров халькогена и температуры реакции подложки. | Точный контроль ширины нанолент и кинетики роста через пересыщение. |
| Каталитический пиролиз | Высокотемпературное разложение органических материалов, таких как отработанные шины, в контролируемых атмосферах. | Предотвращение локального перегрева и чрезмерного карбонизации благодаря стабильным градиентам. |
| Спекание материалов | Консолидация порошковых материалов в плотные твердые тела для исследований структурной или электронной керамики. | Достижение однородной плотности и структуры зерен благодаря точности ±1°C. |
| Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) | Точное осаждение тонких пленок с использованием специальных газовых смесей и трубок обработки большого диаметра. | Размещение крупных подложек и высокий объемный расход газа для масштабируемых исследований. |
| Вакуумная термообработка | Снятие напряжений или упрочнение металлических компонентов в бескислородной среде. | Устранение окисления и поверхностного загрязнения во время высокотемпературных циклов. |
Технические характеристики
| Параметр | Характеристики для TU-32 |
|---|---|
| Номер модели | TU-32 |
| Материал трубки | Высокочистый плавленый кварц |
| Размеры трубки | Внешний диаметр 279 мм x Внутренний диаметр 269 мм x Длина 1000 мм (11" x 10.6" x 40") |
| Макс. температура | 1100°C (< 60 мин, в инертной газовой среде) |
| Рабочая температура | 400°C - 1000°C (в вакууме или потоке газа) |
| Опциональная температура | 1150°C (с модернизированной кварцевой трубкой GE 214) |
| Зоны нагрева | Две зоны: по 300 мм (12") каждая; всего 600 мм (24") |
| Зона постоянной температуры | 300 мм в центре (±1°C) при одинаковых настройках зон |
| Скорость нагрева | Макс. 20°C / мин |
| Точность температуры | ±1°C |
| Температурный контроллер | Два ПИД-цифровых контроллера с 30 программируемыми сегментами |
| Термопара | Две типа K (12" x 1/4" Диаметр, заземленный щуп) |
| Нагревательный элемент | Проволока сопротивления NiCrAl |
| Входное напряжение | 208 - 240В перем. тока, однофазное |
| Номинальная мощность | 8 кВт |
| Вакуумные фланцы | Двухслойная нержавеющая сталь, водяное охлаждение, откидного типа |
| Вакуумные порты | Порт KF25, фитинги для шланга 1/4", два игольчатых клапана |
| Предел вакуума | 10-2 Торр (механический насос) / 10-4 Торр (турбонасос) |
| Требования к охлаждению | Расход воды ≥ 10 л/мин, Температура < 25ºC, Давление > 25 PSI |
| Соответствие | Сертификат CE (NRTL/CSA доступны по запросу) |
Почему выбирают нас
- Надежность промышленного уровня: Спроектированная с использованием высокопрочной проволоки сопротивления и передовой волокнистой изоляции, эта система предназначена для долгосрочной стабильной работы в сложных исследовательских условиях.
- Возможности для крупных масштабов: 11-дюймовый диаметр трубки — редкое предложение для лабораторных печей, обеспечивающее необходимый объем для обработки 8-дюймовых пластин и больших партий материалов без необходимости в промышленном оборудовании.
- Прецизионное термическое управление: Независимое двухзонное управление обеспечивает термическую гибкость, необходимую для сложного химического осаждения из газовой фазы и роста наноструктур, гарантируя высочайший уровень экспериментального контроля.
- Надежная безопасность и защита: Встроенный вторичный температурный мониторинг и системы водяного охлаждения фланцев защищают ваши лабораторные активы и обеспечивают долговечность высоковакуумных уплотнений.
- Комплексная интеграция: От совместимости с программным обеспечением Labview до опций настройки смешения газов и вакуумных станций — эта печь служит полной, расширяемой платформой для ваших задач термической обработки.
Для получения дополнительной информации о двухзонной печи TU-32 или индивидуального коммерческого предложения, адаптированного под ваши конкретные требования по вакууму и управлению газовой средой, пожалуйста, свяжитесь с нашей технической службой продаж уже сегодня.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Двухзонная трубчатая печь для работы с водородом 1100°C с кварцевой трубкой и встроенной системой обнаружения утечек H2
Эта высокопроизводительная двухзонная водородная трубчатая печь оснащена встроенным газоанализатором Honeywell для безопасной термической обработки при температуре до 1100°C. Разработанная для НИОКР в области материаловедения, она обеспечивает точный контроль атмосферы с использованием кварцевых трубок диаметром 60 мм или 80 мм.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Двухзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с трубкой из плавленого кварца и вакуумными фланцами, доступна в диаметрах 60 мм, 80 мм и 100 мм
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой двухзонной разъемной трубчатой печи на 1200°C, оснащенной независимым контролем температуры для создания точных температурных градиентов. Благодаря трубкам из плавленого кварца и вакуумным уплотнительным фланцам, это идеальное решение для передовых процессов CVD и синтеза наноматериалов.
Вертикальная трубчатая печь с разъемным корпусом 1100°C, кварцевой трубкой 80 мм и вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Эта высокопроизводительная вертикальная трубчатая печь с разъемным корпусом (1100°C) оснащена кварцевой трубкой диаметром 80 мм, вакуумными фланцами из нержавеющей стали и точным 30-сегментным ПИД-контроллером. Разработана для НИОКР в области материалов, быстрой закалки и термической обработки в контролируемой атмосфере в профессиональных промышленных лабораториях.
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.
12-зонная сверхдлинная трубчатая печь с кварцевой трубкой длиной 20 футов (6 м) и максимальной температурой 1100°C
Эта высокоточная 12-зонная трубчатая печь с разъемным корпусом предлагает зону нагрева длиной шесть метров и максимальную температуру 1100°C для работы с длинномерными образцами. Благодаря независимому ПИД-регулированию и фланцам для работы в вакууме, она обеспечивает исключительную равномерность нагрева для передовых исследований в области материаловедения и НИОКР.
Кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C с зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением
Эта кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C оснащена зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением для точной обработки методом CVD. Идеально подходит для материаловедческих исследований и промышленных НИОКР, обеспечивая исключительную термическую стабильность и надежные тепловые характеристики.
Трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 11 или 15 дюймов и шарнирными фланцами для термообработки в вакуумной атмосфере
Достигните превосходной тепловой однородности с этой трехзонной трубчатой печью, оснащенной кварцевыми трубами диаметром 11 или 15 дюймов для крупномасштабного отжига пластин и синтеза материалов при точном вакуумном контроле, с электроприводом крышки для обеспечения безопасности в промышленных лабораторных условиях.
Высокотемпературная кварцевая камерная печь 1100°C, внешний диаметр 8 дюймов, объем 7,6 литра, с возможностью работы в вакууме
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой кварцевой камерной печи на 1100°C с внешним диаметром 8 дюймов и объемом 7,6 литра. Эта система, разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, обеспечивает прецизионную термическую обработку для передовых исследований материалов и производства полупроводников.
5-дюймовая двухзонная ротационная трубчатая печь 1100°C для порошкового CVD и синтеза материалов
Повысьте эффективность исследований материалов с нашей высокоточной двухзонной ротационной трубчатой печью 1100°C. Специально разработанная для равномерного порошкового CVD и синтеза ядро-оболочка, эта 5-дюймовая кварцевая система обеспечивает расширенный контроль атмосферы и оптимизацию независимой двухзонной термообработки.
Высокотемпературная удлиненная двухзонная трубчатая печь для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной удлиненной двухзонной трубчатой печи. Благодаря использованию шведских нагревательных элементов Kanthal A1 и передового ПИД-регулирования, печь обеспечивает исключительную равномерность нагрева до 1200°C для сложных лабораторных и промышленных научно-исследовательских задач в современной инженерии.
Разделочная трубчатая печь высокой температуры 1100°C с восемью зонами, кварцевой трубой внешним диаметром 4 дюйма и сенсорной панелью управления
Оптимизируйте исследование материалов с помощью этой восьмизонной разделочной трубчатой печи 1100°C с сенсорной панелью управления, точными тепловыми градиентами и большой кварцевой трубой внешним диаметром 4 дюйма для передовых промышленных НИОКР и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Многопозиционная трубчатая печь 1100°C для лабораторных исследований материалов и передовой промышленной термической обработки
Эта многопозиционная трубчатая печь обеспечивает прецизионный нагрев до 1100°C с возможностью вертикальной и горизонтальной ориентации. Разработанная для передовых исследований материалов, она оснащена 30-сегментным ПИД-контроллером и высокочистой волокнистой изоляцией для исключительной термической стабильности и надежной работы в промышленных лабораториях.
Высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь для исследования материалов и процессов CVD
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой высокоточной двухзонной вакуумной трубчатой печи. Разработанная для передовых исследований материалов и процессов CVD, она оснащена независимым контролем температуры, высокой скоростью нагрева и надежной вакуумной герметизацией для получения стабильных результатов термообработки промышленного уровня.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Высокотемпературная семизонная трубчатая печь с раздельной конструкцией, максимальной рабочей температурой 1200°C и кварцевой трубкой большого диаметра
Эта высокопроизводительная семизонная трубчатая печь с раздельной конструкцией оснащена обширной зоной нагрева длиной 82,6 дюйма (2100 мм) и кварцевой трубкой диаметром 8 дюймов. Разработанная для прецизионных исследований материалов, она обеспечивает исключительную равномерность температуры и расширенные возможности управления атмосферой для промышленных НИОКР и сложных производственных задач.
Удлиненная двухзонная трубчатая печь для промышленных термообработок и исследований в области материаловедения
Эта удлиненная двухзонная трубчатая печь оснащена шведскими нагревательными элементами Kanthal A1 и усовершенствованной ПИД-системой управления для точных материаловедческих исследований. Благодаря возможности работы в вакууме и защитной среде, она обеспечивает превосходную температурную однородность и надежность для требовательных промышленных лабораторных процессов термообработки.
Высокотемпературная двухзонная разъемная трубчатая печь для передового синтеза в атмосфере и вакуумных CVD-процессов
Усовершенствуйте свои исследования материалов с помощью этой высокоточной двухзонной разъемной трубчатой печи на 1400°C. Благодаря независимому контролю температуры, возможности спекания в атмосфере и превосходной термической стабильности, это идеальное решение для передовых CVD-экспериментов и промышленных проектов термической обработки.
Двухзонная вращающаяся трубчатая печь с прецизионным вращением и регулируемым наклоном для передовых исследований материалов
Высокопроизводительная двухзонная вращающаяся трубчатая печь с нагревательными элементами Kanthal A1 и прецизионным вращением для равномерной обработки материалов. Идеально подходит для процессов CVD и научно-исследовательских работ, требующих надежного температурного контроля и регулируемого наклона в условиях требовательных промышленных лабораторий.
Двухзонная вращающаяся трубчатая печь для равномерного прокаливания порошков, 1000°C, кварцевая трубка 2 дюйма
Достигните превосходной однородности материалов с помощью этой двухзонной вращающейся трубчатой печи на 1000°C. Благодаря регулируемой скорости вращения и программируемым ПИД-контроллерам, данная система оптимизирована для высокочистого прокаливания неорганических порошков и проектов по разработке катодных материалов для литий-ионных аккумуляторов. Свяжитесь с нами сегодня для получения индивидуальных термических решений.
