Трубчатая печь
Двухзонная трубчатая печь на 1100°C с 11-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами для обработки 8-дюймовых пластин
Артикул: TU-32
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь представляет собой сложную систему термической обработки, разработанную для передовых исследований материалов и промышленных НИОКР. Оснащенная исключительно большой кварцевой трубкой из плавленого кварца с внешним диаметром 11 дюймов, установка обеспечивает просторную среду нагрева, подходящую для крупноформатных образцов и полупроводниковых пластин диаметром до 8 дюймов. Двухзонная конфигурация позволяет создавать точные термические градиенты или более широкую зону постоянной температуры, предоставляя исследователям непревзойденную гибкость в управлении сложными профилями термообработки. Благодаря использованию высокочистой волокнистой изоляции из оксида алюминия, система обеспечивает максимальную энергоэффективность и быстрое время термического отклика.
Оборудование специально разработано для применений, требующих высокой чистоты, включая спекание новых образцов материалов и отжиг полупроводниковых пластин в вакууме или контролируемых газовых средах. Целевые отрасли варьируются от производства полупроводников и металлургии до нанотехнологий и исследований в области возобновляемой энергии. Камера обработки большого диаметра позволяет увеличить производительность и размещать специализированные тигли и лодочки, что делает печь идеальным выбором для лабораторий, переходящих от мелкосерийных экспериментов к опытному производству. Её надежные вакуумные возможности и особенности управления газовой средой обеспечивают точный контроль химического окружения на критических стадиях обработки.
Надежность и стабильность — отличительные черты дизайна этого устройства. Построенная для работы в сложных промышленных условиях, система использует высокоточные цифровые контроллеры и долговечные нагревательные элементы из проволоки сопротивления NiCrAl для поддержания стабильной работы в течение длительного времени. Наличие водяного охлаждения нержавеющих стальных фланцев защищает целостность вакуумных уплотнений, обеспечивая герметичную среду даже во время высокотемпературных циклов. Эта приверженность инженерному совершенству гарантирует, что каждый процесс, от базового прокаливания до передового химического осаждения из газовой фазы, выполняется с воспроизводимыми, высокоточными результатами, на которые могут положиться профессиональные исследователи.
Ключевые особенности
- Прецизионный двухзонный контроль температуры: Система оснащена двумя независимо управляемыми зонами нагрева длиной 300 мм каждая, контролируемыми высокоточными ПИД-цифровыми контроллерами. Это позволяет создавать стабильные термические градиенты или комбинированную зону постоянной температуры длиной 300 мм с точностью ±1°C, что важно для таких процессов, как рост нанолент TMD.
- Сверхбольшая 11-дюймовая кварцевая камера: Печь оснащена массивной кварцевой трубкой из плавленого кварца с внешним диаметром 279 мм, что позволяет размещать крупноформатные образцы, включая стандартные 8-дюймовые полупроводниковые пластины. Высокочистый кварцевый материал обеспечивает отличную термостойкость и химическую инертность, гарантируя среду, свободную от загрязнений.
- Передовые откидные вакуумные фланцы: Нержавеющие стальные вакуумные фланцы имеют откидную конструкцию для легкой загрузки и выгрузки образцов. Интегрированные каналы водяного охлаждения в двухслойной структуре фланца эффективно защищают уплотнительные кольца, поддерживая вакуумную целостность во время длительной работы при температурах до 1100°C.
- Высокоэффективная тепловая изоляция: Использование высокочистой волокнистой изоляции из оксида алюминия минимизирует теплопотери и снижает энергопотребление. Эта легкая, высокопроизводительная изоляция также обеспечивает более быстрые скорости нагрева и охлаждения, оптимизируя общее время цикла для лабораторной производительности.
- Надежные нагревательные элементы и безопасность: Долговечные нагревательные элементы из проволоки сопротивления NiCrAl обеспечивают равномерное распределение тепла. Для безопасности оператора и оборудования предусмотрен вторичный датчик температуры для защиты от перегрева и обрыва термопар, обеспечивая спокойствие во время работы без присмотра.
- Интегрированные порты для газа и вакуума: Система включает механический вакуумметр, два игольчатых клапана из нержавеющей стали и вакуумный порт KF25. Этот комплексный набор арматуры позволяет точно управлять атмосферой, поддерживая уровни вакуума от 10-2 Торр с механическими насосами до 10-4 Торр с турбомолекулярными системами.
- Программируемые профили термообработки: Оба температурных контроллера поддерживают 30 программируемых сегментов, позволяя пользователям автоматизировать сложные последовательности подъема, выдержки и охлаждения. Это обеспечивает высокую воспроизводимость от партии к партии, что критически важно для стандартизированных исследований и промышленного контроля качества.
- Интерфейс с компьютером и регистрация данных: Оборудование совместимо со специализированным программным обеспечением управления на базе Labview, позволяя исследователям редактировать температурные профили, управлять рецептами и записывать данные в реальном времени на ПК для тщательного последующего анализа и документирования.
Применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Отжиг полупроводниковых пластин | Термическая обработка крупноформатных пластин (до 8") для устранения дефектов кристаллической решетки или активации легирующих примесей. | Превосходная однородность по всей площади поверхности пластины. |
| Рост нанолент TMD | Использование двух зон для независимого контроля давления паров халькогена и температуры реакции подложки. | Точный контроль ширины нанолент и кинетики роста через пересыщение. |
| Каталитический пиролиз | Высокотемпературное разложение органических материалов, таких как отработанные шины, в контролируемых атмосферах. | Предотвращение локального перегрева и чрезмерного карбонизации благодаря стабильным градиентам. |
| Спекание материалов | Консолидация порошковых материалов в плотные твердые тела для исследований структурной или электронной керамики. | Достижение однородной плотности и структуры зерен благодаря точности ±1°C. |
| Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) | Точное осаждение тонких пленок с использованием специальных газовых смесей и трубок обработки большого диаметра. | Размещение крупных подложек и высокий объемный расход газа для масштабируемых исследований. |
| Вакуумная термообработка | Снятие напряжений или упрочнение металлических компонентов в бескислородной среде. | Устранение окисления и поверхностного загрязнения во время высокотемпературных циклов. |
Технические характеристики
| Параметр | Характеристики для TU-32 |
|---|---|
| Номер модели | TU-32 |
| Материал трубки | Высокочистый плавленый кварц |
| Размеры трубки | Внешний диаметр 279 мм x Внутренний диаметр 269 мм x Длина 1000 мм (11" x 10.6" x 40") |
| Макс. температура | 1100°C (< 60 мин, в инертной газовой среде) |
| Рабочая температура | 400°C - 1000°C (в вакууме или потоке газа) |
| Опциональная температура | 1150°C (с модернизированной кварцевой трубкой GE 214) |
| Зоны нагрева | Две зоны: по 300 мм (12") каждая; всего 600 мм (24") |
| Зона постоянной температуры | 300 мм в центре (±1°C) при одинаковых настройках зон |
| Скорость нагрева | Макс. 20°C / мин |
| Точность температуры | ±1°C |
| Температурный контроллер | Два ПИД-цифровых контроллера с 30 программируемыми сегментами |
| Термопара | Две типа K (12" x 1/4" Диаметр, заземленный щуп) |
| Нагревательный элемент | Проволока сопротивления NiCrAl |
| Входное напряжение | 208 - 240В перем. тока, однофазное |
| Номинальная мощность | 8 кВт |
| Вакуумные фланцы | Двухслойная нержавеющая сталь, водяное охлаждение, откидного типа |
| Вакуумные порты | Порт KF25, фитинги для шланга 1/4", два игольчатых клапана |
| Предел вакуума | 10-2 Торр (механический насос) / 10-4 Торр (турбонасос) |
| Требования к охлаждению | Расход воды ≥ 10 л/мин, Температура < 25ºC, Давление > 25 PSI |
| Соответствие | Сертификат CE (NRTL/CSA доступны по запросу) |
Почему выбирают нас
- Надежность промышленного уровня: Спроектированная с использованием высокопрочной проволоки сопротивления и передовой волокнистой изоляции, эта система предназначена для долгосрочной стабильной работы в сложных исследовательских условиях.
- Возможности для крупных масштабов: 11-дюймовый диаметр трубки — редкое предложение для лабораторных печей, обеспечивающее необходимый объем для обработки 8-дюймовых пластин и больших партий материалов без необходимости в промышленном оборудовании.
- Прецизионное термическое управление: Независимое двухзонное управление обеспечивает термическую гибкость, необходимую для сложного химического осаждения из газовой фазы и роста наноструктур, гарантируя высочайший уровень экспериментального контроля.
- Надежная безопасность и защита: Встроенный вторичный температурный мониторинг и системы водяного охлаждения фланцев защищают ваши лабораторные активы и обеспечивают долговечность высоковакуумных уплотнений.
- Комплексная интеграция: От совместимости с программным обеспечением Labview до опций настройки смешения газов и вакуумных станций — эта печь служит полной, расширяемой платформой для ваших задач термической обработки.
Для получения дополнительной информации о двухзонной печи TU-32 или индивидуального коммерческого предложения, адаптированного под ваши конкретные требования по вакууму и управлению газовой средой, пожалуйста, свяжитесь с нашей технической службой продаж уже сегодня.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Двухзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с трубкой из плавленого кварца и вакуумными фланцами, доступна в диаметрах 60 мм, 80 мм и 100 мм
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой двухзонной разъемной трубчатой печи на 1200°C, оснащенной независимым контролем температуры для создания точных температурных градиентов. Благодаря трубкам из плавленого кварца и вакуумным уплотнительным фланцам, это идеальное решение для передовых процессов CVD и синтеза наноматериалов.
Двухзонная трубчатая печь для работы с водородом 1100°C с кварцевой трубкой и встроенной системой обнаружения утечек H2
Эта высокопроизводительная двухзонная водородная трубчатая печь оснащена встроенным газоанализатором Honeywell для безопасной термической обработки при температуре до 1100°C. Разработанная для НИОКР в области материаловедения, она обеспечивает точный контроль атмосферы с использованием кварцевых трубок диаметром 60 мм или 80 мм.
Двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта двухзонная разъемная вертикальная трубчатая печь с рабочей температурой 1100°C оснащена четырехдюймовой кварцевой трубкой и вакуумными уплотнительными фланцами. Эта высокоточная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность для лабораторных исследований и разработок.
Высокотемпературная трубчатая печь 1200°C с разъемным корпусом, откидными вакуумными фланцами и кварцевой трубкой 4 дюйма для лабораторных исследований
Эта трубчатая печь с разъемным корпусом (1200°C) оснащена откидными вакуумными фланцами и четырехдюймовой кварцевой трубкой для удобной загрузки образцов. Разработанная для прецизионной термической обработки, она обеспечивает исключительную равномерность температуры и вакуумные характеристики для передовых исследований в области материаловедения и промышленных НИОКР.
Двухзональная кварцевая трубчатая печь с диаметром 80 мм, максимальной температурой 1200°C, трехканальным газосмесителем и системой вакуумного насоса
Эта современная двухзональная кварцевая трубчатая печь оснащена трубой диаметром 80 мм, встроенным трехканальным газосмешиванием и высокопроизводительной вакуумной системой. Идеально подходит для CVD и исследования материалов, обеспечивает точную термообработку при температуре 1200°C и антикоррозионный контроль вакуума.
Двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева с системой вакуумной атмосферы
Эта высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь быстрого нагрева обеспечивает максимальную температуру 1200°C, скорость нагрева до 100°C в минуту, точное ПИД-регулирование и возможности работы в вакуумной атмосфере для передовых исследований материалов, спекания и процессов химического осаждения из газовой фазы.
Двухзонная сдвижная трубчатая печь 1200°C для выращивания 2D-материалов и синтеза методом TCVD
Оптимизируйте передовой синтез 2D-материалов с помощью этой двухпечной системы 1200°C, оснащенной сдвижной зоной нагрева для сверхбыстрого охлаждения, независимым ПИД-регулированием температуры и кварцевой рабочей камерой высокой чистоты, разработанной для прецизионного термического химического осаждения из газовой фазы (TCVD) и НИОКР.
Высокотемпературная удлиненная двухзонная трубчатая печь для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной удлиненной двухзонной трубчатой печи. Благодаря использованию шведских нагревательных элементов Kanthal A1 и передового ПИД-регулирования, печь обеспечивает исключительную равномерность нагрева до 1200°C для сложных лабораторных и промышленных научно-исследовательских задач в современной инженерии.
Двухзонная трубчатая печь с двумя крышками для высокотемпературного CVD-процесса и вакуумного отжига
Профессиональная высокотемпературная двухзонная трубчатая печь, оснащенная нагревательными элементами Kanthal A1 и передовой PID-системой управления для научно-исследовательских и промышленных задач. Эта система обеспечивает прецизионную термообработку для CVD-процессов, вакуумного отжига и спекания материалов с непревзойденной надежностью.
Удлиненная двухзонная трубчатая печь для промышленных термообработок и исследований в области материаловедения
Эта удлиненная двухзонная трубчатая печь оснащена шведскими нагревательными элементами Kanthal A1 и усовершенствованной ПИД-системой управления для точных материаловедческих исследований. Благодаря возможности работы в вакууме и защитной среде, она обеспечивает превосходную температурную однородность и надежность для требовательных промышленных лабораторных процессов термообработки.
Компактная трубчатая печь со щелевым корпусом и двумя зонами нагрева до 1200°C с опциональными трубками 1"–2" и вакуумными фланцами
Эта компактная трубчатая печь со щелевым корпусом и двумя зонами нагрева до 1200°C обеспечивает точный контроль температурного градиента и возможность работы в вакууме. Разработанная для НИОКР в области материаловедения, она оснащена независимыми ПИД-регуляторами, фланцами из нержавеющей стали и энергоэффективной волокнистой теплоизоляцией для стабильной лабораторной работы.
Высокопроизводительная четырехканальная трубчатая печь 1200°C с кварцевыми трубками диаметром 3 дюйма для много-зонного отжига и исследований материалов
Ускорьте исследования материалов с нашей передовой четырехканальной трубчатой печью 1200°C, оснащенной независимым управлением для каждой кварцевой трубки диаметром 3 дюйма. Эта высокопроизводительная система обеспечивает непревзойденную эффективность для отжига и исследований фазовых диаграмм в промышленных и академических лабораториях НИОКР.
Высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C для материаловедения и промышленных исследований химического осаждения из газовой фазы
Эта высокотемпературная двухзонная трубчатая печь 1700°C обеспечивает независимое управление для создания точных температурных градиентов. Она идеально подходит для процессов CVD, PVD и выращивания кристаллов в передовых исследованиях материалов, оснащена нагревательными элементами из MoSi2 и надежной вакуумно-герметичной трубкой из оксида алюминия для промышленной эксплуатации.
Двухзонная разъемная трубчатая печь для закалки с контролем вакуумной атмосферы и быстрым охлаждением
Эта двухзонная разъемная трубчатая печь, созданная для достижения превосходных результатов, обеспечивает точную закалку и контроль вакуумной атмосферы. Благодаря использованию передовых японских систем управления и высококачественных нагревательных элементов, она гарантирует равномерные температурные профили для критически важных исследований материалов и высокопроизводительных промышленных НИОКР.
Автоматическая трубчатая печь 1200 C для исследований материалов с помощью ИИ с наружным диаметром 6 дюймов и скользящим фланцем
Ускорьте открытие материалов с помощью этой премиальной автоматической трубчатой печи, разработанной для исследований на основе ИИ. Эта система с диаметром 6 дюймов и двухзонным нагревом обеспечивает роботизированную интеграцию и непрерывный синтез 24/7 для высокопроизводительных промышленных и лабораторных исследований и разработок.
Высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь для исследования материалов и процессов CVD
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой высокоточной двухзонной вакуумной трубчатой печи. Разработанная для передовых исследований материалов и процессов CVD, она оснащена независимым контролем температуры, высокой скоростью нагрева и надежной вакуумной герметизацией для получения стабильных результатов термообработки промышленного уровня.
Двухзонная вращающаяся трубчатая печь с прецизионным вращением и регулируемым наклоном для передовых исследований материалов
Высокопроизводительная двухзонная вращающаяся трубчатая печь с нагревательными элементами Kanthal A1 и прецизионным вращением для равномерной обработки материалов. Идеально подходит для процессов CVD и научно-исследовательских работ, требующих надежного температурного контроля и регулируемого наклона в условиях требовательных промышленных лабораторий.
Двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, вакуумным фланцем и алюмооксидной трубкой 80 мм
Высокопроизводительная двухзонная трубчатая печь 1500°C с разъемным корпусом, оснащенная алюмооксидной трубкой 80 мм, нагревательными элементами из карбида кремния (SiC) и точным ПИД-регулированием. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и термической обработки в вакууме или различных газовых средах для передовых промышленных лабораторных исследований.
Высокотемпературная автоматическая раздвижная двухзонная трубчатая печь на 1200°C для выращивания 2D дихалькогенидов переходных металлов и исследования сублимации материалов
Освойте синтез 2D-материалов с помощью этой автоматической раздвижной двухпечной системы на 1200°C, разработанной для выращивания TMD. Особенности: независимые зоны сублимации и осаждения для точного теплового контроля и высокой скорости охлаждения, обеспечивающие высококачественные результаты исследований по производству тонкопленочных кристаллов.
12-зонная сверхдлинная трубчатая печь с кварцевой трубкой длиной 20 футов (6 м) и максимальной температурой 1100°C
Эта высокоточная 12-зонная трубчатая печь с разъемным корпусом предлагает зону нагрева длиной шесть метров и максимальную температуру 1100°C для работы с длинномерными образцами. Благодаря независимому ПИД-регулированию и фланцам для работы в вакууме, она обеспечивает исключительную равномерность нагрева для передовых исследований в области материаловедения и НИОКР.