Трубчатая печь
Трехзонная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь для CVD и спекания материалов
Артикул: TU-GS06
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь разработана для обеспечения максимальной гибкости термической обработки в передовых исследованиях в области материаловедения и промышленного производства. Благодаря использованию трех независимо управляемых секций нагрева оборудование позволяет создавать значительно более длинную и стабильную изотермическую зону или устанавливать точные температурные градиенты, необходимые для сложных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD) и сублимации. Горизонтальная конфигурация в сочетании с усовершенствованным двухслойным корпусом гарантирует, что внешняя поверхность остается прохладной на ощупь, при этом поддерживая внутреннюю температуру до 1700°C в центральной зоне.
Созданная для требовательных лабораторных и промышленных условий, эта система является основным выбором для университетов, научно-исследовательских институтов и горнодобывающих предприятий. Она отлично подходит для высокотемпературного спекания, вакуумного отжига и экспериментов в контролируемой атмосфере. Интеграция высокочистой поликристаллической изоляции из глиноземистого волокна и передовых нагревательных элементов обеспечивает высокую скорость нагрева и охлаждения, что значительно повышает производительность и энергоэффективность. Данная установка создана для обеспечения стабильных, воспроизводимых результатов, гарантируя, что критически важные исследовательские данные и производственные партии соответствуют самым строгим стандартам качества.
Надежность лежит в основе этой системы термической обработки. Каждый компонент, от вакуумных фланцев из нержавеющей стали до прецизионных PID-контроллеров, выбран с учетом долговечности при непрерывной эксплуатации. Прочная конструкция выдерживает уровень вакуума до 10⁻³ Па и поддерживает работу в различных средах, включая восстановительные и инертные газы. Будь то рутинная термообработка или сложный синтез материалов, это оборудование обеспечивает техническую точность и структурную целостность, необходимые для ответственных исследований и разработок.
Основные характеристики
- Независимо управляемый трехзонный нагрев: Оборудование оснащено тремя отдельными секциями нагрева, которые можно настроить на разные температуры. Это позволяет пользователям компенсировать потерю тепла на концах трубки, создавая сверхширокое поле постоянной температуры или индивидуальный тепловой градиент для процессов парофазного транспорта.
- Усовершенствованная конфигурация с двумя типами элементов: Для достижения оптимальной производительности в широком диапазоне температур в системе используются высококачественные стержни из карбида кремния (SiC) во внешних зонах (зоны 1 и 3) и стержни из дисилицида молибдена (MoSi2) в центральной зоне (зона 2), что обеспечивает стабильную работу при температуре до 1700°C.
- Прецизионная программная система управления: Оснащенная программируемым термостатом Shimaden FP93 (Япония), печь предлагает 40 сегментов управления температурой. Встроенный коммуникационный интерфейс позволяет осуществлять мониторинг с ПК в реальном времени, регистрацию данных и построение графиков, обеспечивая полную прослеживаемость термических циклов.
- Высокоэффективная вакуумная герметизация: В печи используется технология двухслойных силиконовых уплотнительных колец и фланцы из нержавеющей стали для поддержания исключительной герметичности. Система рассчитана на удержание вакуума более 12 часов без отклонений, что поддерживает чувствительные процессы при высоком уровне вакуума.
- Превосходная теплоизоляция: Камера футерована высококачественным поликристаллическим глиноземистым волокном, известным своей высокой отражательной способностью, низкой тепловой массой и устойчивостью к усадке. Это обеспечивает сбалансированное температурное поле и предотвращает осыпание частиц, сохраняя чистоту рабочей среды.
- Комплексные средства защиты: Встроенный концевой выключатель автоматически отключает питание при открытии крышки печи. Кроме того, установка включает защиту от утечек, сигнализацию о перегреве и автоматические выключатели для защиты как оператора, так и внутренних компонентов.
- Надежная система подачи газа: Система включает стандартный поплавковый расходомер для точной подачи газа. Пользователи могут перейти на цифровые контроллеры массового расхода (протонные расходомеры) для автоматизированного и более точного управления атмосферой во время процессов CVD или восстановления.
- Тиристорное управление с фазовым сдвигом: Этот передовой метод регулирования мощности обеспечивает плавную подачу питания на нагревательные элементы, продлевая срок их службы и обеспечивая более стабильные температурные переходы по сравнению со стандартным переключением вкл/выкл.
- Структурная долговечность: Включение специальных кронштейнов для фланцев устраняет механическое напряжение на корундовой технологической трубке, вызванное весом вакуумного оборудования, что значительно продлевает срок службы расходных материалов.
- Универсальные фланцевые интерфейсы: Стандартные фланцы из нержавеющей стали оснащены портами для вакуумметров, сильфонов KF25 и газовых клапанов, предлагая модульный подход к конфигурации системы для различных экспериментальных нужд.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) | Синтез углеродных нанотрубок, графена и тонких пленок с использованием газофазных прекурсоров. | Точный контроль разложения газа и скорости осаждения на подложке. |
| Диффузионный отжиг | Гомогенизация Fe-Ni-Cu и других современных сплавов при 1000°C для снятия внутренних напряжений. | Исключительная равномерность предотвращает отклонения скорости диффузии и обеспечивает структурную согласованность. |
| Прививка углеродных нанотрубок | Выращивание нанотрубок на крупномасштабных пучках углеродного волокна для армирования композитных материалов. | Поддержание оптимальной каталитической температуры по всей длине пучка волокон. |
| Азотное легирование | Точное введение атомов азота в полупроводниковые материалы или углеродные структуры. | Независимое управление зонами позволяет варьировать коэффициенты легирования и кинетику реакции. |
| Вакуумное спекание | Консолидация керамических или металлических порошков в высокочистой, безвоздушной среде. | Предотвращает окисление и приводит к более высокой плотности и чистоте конечной детали. |
| Термообработка в атмосфере | Обработка материалов в восстановительной (например, водород) или инертной (например, аргон) среде. | Надежная герметизация и контроль потока обеспечивают безопасные и стабильные атмосферные условия. |
| Высокотемпературные изотермические испытания | Испытания материалов на длительную термическую стабильность при постоянной температуре. | Трехзонная настройка устраняет охлаждение на концах, обеспечивая большую рабочую зону печи. |
| Выращивание кристаллов | Использование температурных градиентов для парофазного транспорта или выращивания кристаллов методом Бриджмена. | Высокостабильные и регулируемые тепловые градиенты способствуют формированию качественных кристаллов. |
Технические характеристики
| Параметр | TU-GS06-I | TU-GS06-II | TU-GS06-III |
|---|---|---|---|
| Максимальная температура | Зона 1: 1400°C / Зона 2: 1700°C / Зона 3: 1400°C | Зона 1: 1400°C / Зона 2: 1700°C / Зона 3: 1400°C | Зона 1: 1400°C / Зона 2: 1700°C / Зона 3: 1400°C |
| Номинальная температура | Зона 1: 1350°C / Зона 2: 1700°C / Зона 3: 1350°C | Зона 1: 1350°C / Зона 2: 1700°C / Зона 3: 1350°C | Зона 1: 1350°C / Зона 2: 1700°C / Зона 3: 1350°C |
| Размеры трубки (Внешний диаметр x Длина) | Диаметр 60 мм x 1500 мм | Диаметр 80 мм x 1500 мм | Диаметр 100 мм x 1500 мм |
| Нагревательные элементы | З1/З3: стержни SiC; З2: стержни MoSi2 | З1/З3: стержни SiC; З2: стержни MoSi2 | З1/З3: стержни SiC; З2: стержни MoSi2 |
| Тип термопары | S-тип (З1/З3) / B-тип (З2) | S-тип (З1/З3) / B-тип (З2) | S-тип (З1/З3) / B-тип (З2) |
| Номинальная мощность | 10 кВт | 10 кВт | 10 кВт |
| Напряжение / Фаза | 380 В / Три фазы | 380 В / Три фазы | 380 В / Три фазы |
| Скорость нагрева | Рекомендуемая ≤10°C/мин (Макс ≤20°C/мин) | Рекомендуемая ≤10°C/мин (Макс ≤20°C/мин) | Рекомендуемая ≤10°C/мин (Макс ≤20°C/мин) |
| Точность управления | ± 1 ℃ | ± 1 ℃ | ± 1 ℃ |
| Длина зоны нагрева | 210 мм на зону | 210 мм на зону | 210 мм на зону |
| Длина зоны постоянной температуры | 80-100 мм на зону | 80-100 мм на зону | 80-100 мм на зону |
| Материал камеры | Поликристаллическое глиноземистое волокно | Поликристаллическое глиноземистое волокно | Поликристаллическое глиноземистое волокно |
| Тип триггера | Триггер с фазовым сдвигом | Триггер с фазовым сдвигом | Триггер с фазовым сдвигом |
| Уровень вакуума (стандарт) | Прибл. 10 Па (насос 2XZ-2) | Прибл. 10 Па (насос 2XZ-2) | Прибл. 10 Па (насос 2XZ-2) |
| Уровень вакуума (высокий) | До 10⁻³ Па (молекулярная система) | До 10⁻³ Па (молекулярная система) | До 10⁻³ Па (молекулярная система) |
| Контроллер | Shimaden FP93 (40 программ) | Shimaden FP93 (40 программ) | Shimaden FP93 (40 программ) |
| Температура поверхности | ≤ 45℃ | ≤ 45℃ | ≤ 45℃ |
Почему стоит выбрать эту трехзонную печь
- Превосходная температурная равномерность: Благодаря возможности независимой настройки трех отдельных зон нагрева, эта система компенсирует естественное рассеивание тепла на концах трубки, обеспечивая значительно большую и более точную зону изотермической обработки по сравнению с однозонными аналогами.
- Прецизионная инженерия и качество сборки: От тиристоров SEMIKRON до контроллеров Shimaden (Япония) — каждый критически важный электрический компонент поставляется ведущими производителями отрасли для обеспечения долгосрочной эксплуатационной надежности и точности.
- Интегрированная безопасность и мониторинг: Сочетание механических предохранительных выключателей, защиты от утечек электроэнергии и мониторинга через программное обеспечение на ПК создает безопасную среду для высокотемпературных экспериментов, снижая риск выхода оборудования из строя или потери образцов.
- Настраиваемые параметры атмосферы и вакуума: Независимо от того, требует ли ваш процесс механического насоса для обычного вакуума или молекулярного насоса импортного производства для высокочистых сред, эта система может быть адаптирована с помощью специфических вакуумных систем и контроллеров расхода газа в соответствии с вашими требованиями.
- Увеличенный срок службы расходных материалов: Наша уникальная система опорных кронштейнов для фланцев предотвращает повреждение корундовой трубки, принимая на себя вес вакуумного оборудования из нержавеющей стали, что является частой причиной поломок в конструкциях более низкого качества.
Это оборудование представляет собой премиальную инвестицию в возможности термической обработки вашего предприятия, разработанную для того, чтобы выдерживать суровые условия промышленных исследований и разработок, обеспечивая при этом непревзойденную точность. Свяжитесь с нашей командой инженеров сегодня для получения официального коммерческого предложения или обсуждения индивидуальной конфигурации для вашего конкретного материаловедческого применения.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 11 или 15 дюймов и шарнирными фланцами для термообработки в вакуумной атмосфере
Достигните превосходной тепловой однородности с этой трехзонной трубчатой печью, оснащенной кварцевыми трубами диаметром 11 или 15 дюймов для крупномасштабного отжига пластин и синтеза материалов при точном вакуумном контроле, с электроприводом крышки для обеспечения безопасности в промышленных лабораторных условиях.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь (1500°C) с глиноземной трубкой 80 мм и вакуумным фланцем
Эта высокотехнологичная трехзонная разъемная трубчатая печь на 1500°C оснащена глиноземной трубкой диаметром 80 мм и точным ПИД-регулированием. Она идеально подходит для передовых исследований материалов, процессов CVD и промышленной термообработки, требующих исключительной равномерности температуры и высокой вакуумной стабильности.
Трехзонная кварцевая трубчатая печь с 3-канальным газовым смесителем, вакуумным насосом и антикоррозийным вакуумметром
Эта высокоточная трехзонная кварцевая трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена встроенной системой смешивания газов по трем каналам и антикоррозийным мониторингом вакуума, что делает её идеальным решением для профессионального CVD-синтеза и материаловедческих исследований в требовательных лабораторных и промышленных условиях.
24-дюймовая трехзонная разъемная трубчатая печь с дополнительной кварцевой трубкой и системой вакуумных фланцев для высокотемпературного синтеза материалов
Ускорьте исследования материалов с помощью этой премиальной 24-дюймовой трехзонной разъемной трубчатой печи. Благодаря независимому контролю температуры, совместимости с кварцевой трубкой и вакуумным фланцам она обеспечивает точную термообработку до 1200°C для требовательных лабораторных и промышленных задач НИОКР.
Вертикальная вакуумная трубчатая печь 1700°C с атмосферой и глиноземной трубкой 80 мм
Эта высокоточная вертикальная трубчатая печь обеспечивает исключительную температурную равномерность до 1700°C для синтеза материалов. Благодаря 80-миллиметровой глиноземной трубке и усовершенствованным вакуумным уплотнительным фланцам, она создает стабильную атмосферу для требовательных промышленных НИОКР и специализированных процессов термообработки.
5-дюймовая трехзонная вращающаяся трубчатая печь со встроенной системой подачи газа и рабочей температурой до 1200°C для передовых процессов CVD
Эта высокоточная трехзонная вращающаяся трубчатая печь с рабочей температурой 1200°C оснащена встроенной четырехканальной системой подачи газа и автоматизированным механизмом наклона, обеспечивая равномерную термическую обработку и химическое осаждение из газовой фазы (CVD) для передовых аккумуляторных материалов, синтеза катодов и промышленных исследований порошков.
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с системой турбомолекулярного насоса высокого вакуума и многоканальным газовым смесителем с контроллерами массового расхода
Эта современная высокотемпературная трубчатая печь (1700°C) объединяет прецизионную систему турбомолекулярного высоковакуумного насоса и многоканальный газовый смеситель с контроллерами массового расхода, обеспечивая исключительную производительность для сложных процессов CVD, диффузии и материаловедческих исследований в требовательных промышленных R&D средах.
Высокотемпературная трубчатая печь с тремя температурными зонами для спекания современных материалов и процессов химического осаждения из газовой фазы
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой прецизионной трехзонной трубчатой печи с максимальной температурой 1700°C и независимым ПИД-регулированием для превосходной равномерности нагрева. Идеально подходит для ВГД, вакуумного отжига и спекания материалов в передовых исследовательских и промышленных научно-исследовательских лабораториях или крупных производственных предприятиях
Трехзонная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и вакуумными фланцами для обработки больших пластин
Прецизионная трехзонная трубчатая печь на 1100°C, оснащенная массивными кварцевыми трубками внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и герметичными фланцами. Разработана для крупномасштабной обработки пластин и передовых исследований материалов, обеспечивая превосходную температурную однородность и совместимость с высоким вакуумом для промышленных НИОКР и производственных задач.
Трехзонная трубчатая печь с длиной нагрева 24 дюйма и системой кварцевых трубок с откидными фланцами
Эта профессиональная трехзонная трубчатая печь оснащена зоной нагрева длиной 24 дюйма и откидными фланцами для эффективной загрузки образцов. Оптимизированная для процессов при температуре 1200°C, она обеспечивает точную равномерность температуры и совместимость с вакуумом для передовых промышленных исследований материалов.
Трехзонная трубчатая печь из оксида алюминия с вакуумными фланцами, высокотемпературная система CVD с градиентом температуры 1700°C
Эта усовершенствованная трехзонная трубчатая печь из оксида алюминия обеспечивает пиковую температуру 1700°C и прецизионный контроль вакуума. Разработанная для НИОКР в области материаловедения, она позволяет создавать сложные температурные градиенты и проводить процессы CVD с исключительной надежностью, стабильностью и управлением атмосферой высокой чистоты для требовательных лабораторных применений.
Трехзонная высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с глиноземной трубой и фланцами с водяным охлаждением
Эта современная трехзонная высокотемпературная трубчатая печь обеспечивает прецизионную термическую обработку при температуре до 1700°C и контроль атмосферы. Система идеально подходит для исследований полупроводников, современной металлургии и спекания керамики, обеспечивая превосходную равномерность нагрева благодаря независимым ПИД-контроллерам температуры.
Трубчатая печь высокой температуры 1700°C с тремя зонами нагрева и трубой из оксида алюминия с наружным диаметром 50, 60, 80 мм для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь 1700°C оснащена точными трубами из оксида алюминия и независимым управлением нагревом. Разработана для современных материаловедческих исследований, обеспечивает исключительную тепловую однородность и стабильность при проведении химического осаждения из газовой фазы и сложных процессов промышленной термообработки в контролируемой атмосфере.
Трехзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с длиной нагрева 18 дюймов и вакуумными фланцами
Оптимизируйте термообработку с помощью этой трехзонной разъемной трубчатой печи 1200°C. Благодаря длине нагрева 18 дюймов и точному ПИД-регулированию она обеспечивает исключительную равномерность температуры для современных исследований материалов, отжига, спекания и профессиональных промышленных научно-исследовательских работ в лабораториях по всему миру.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Вертикальная трехзонная трубчатая печь 1200°C с кварцевой трубкой 2 дюйма и вакуумными фланцами
Прецизионная вертикальная трехзонная трубчатая печь на 1200°C, оснащенная 2-дюймовой кварцевой трубкой и современными вакуумными фланцами. Эта высокопроизводительная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность и возможности быстрой закалки для передовых исследований и разработок в области материаловедения.
Большая вертикальная трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 8 или 11 дюймов и высоковакуумными фланцами, 1200°C
Наша спроектированная высокопроизводительная вертикальная трехзонная печь предлагает независимое термическое управление и совместимость с массивной 11-дюймовой кварцевой трубой, обеспечивая превосходную равномерность и повышенную вакуумную герметичность для критических промышленных процессов отжига, спекания, исследований и разработки современного материаловедения в требовательных лабораторных условиях
Трёхзонная нагревательная разъёмная вертикальная трубчатая печь 1700°C — высокотемпературная вакуумная атмосферная термообрабатывающая система
Передовая трёхзонная разъёмная вертикальная трубчатая печь на 1700°C для промышленного НИОКР и материаловедческих применений. Эта прецизионная система отличается независимым терморегулированием, возможностью создания высокого вакуума и энергоэффективной теплоизоляцией, обеспечивая стабильную высокотемпературную обработку и быстрые результаты закалки образцов.
Трёхзонная разъемная трубчатая печь, длина зоны нагрева 36 дюймов, высокотемпературная 1200°C исследовательская печь для материалов с вакуумными фланцами
Точно спроектированная трёхзонная разъемная трубчатая печь для высокотемпературной обработки при 1200°C. Оснащена усовершенствованным ПИД-регулированием для работы в атмосфере и в вакууме в исследованиях материалов, обеспечивая исключительную термостабильность и надёжную работу в промышленных лабораторных условиях и научно-исследовательских учреждениях.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
