Трубчатая печь
Трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 11 или 15 дюймов и шарнирными фланцами для термообработки в вакуумной атмосфере
Артикул: TU-40
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная трехзонная разъемная трубчатая печь является вершиной инженерии в области термообработки, разработанной специально для удовлетворения строгих требований исследований в области материаловедения и промышленных научно-исследовательских разработок. Благодаря интеграции кварцевой технологической камеры большого диаметра с зонами нагрева с точным управлением, оборудование обеспечивает стабильную и универсальную платформу для сложных термообработок. Основное преимущество этой системы заключается в способности поддерживать исключительную тепловую однородность на значительной длине, что имеет решающее значение для успеха деликатных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD) и отжига.
Основные сценарии использования установки охватывают различные высокотехнологичные сектора, включая производство полупроводников, исследования в области накопления энергии и современную керамику. Она особенно эффективна для отжига пластин большого формата (до 12 дюймов), процессов диффузии и синтеза объемных образцов в строго контролируемых условиях вакуума или газовой атмосферы. Оборудование спроектировано для непрерывной работы при температурах до 1100°C, что делает его основным инструментом для лабораторий, занимающихся изучением упорядочения структуры азот-легированного углерода или разработкой катализаторов нового поколения.
Изготовленная из мощных промышленных компонентов, эта система обеспечивает непревзойденную надежность для сред с высокой пропускной способностью. Использование моторных приводов крышки обеспечивает плавный, повторяемый доступ к нагревательной камере, снижая риск механического удара по кварцевой трубе и повышая безопасность оператора. Независимо от того, используется ли она для академического синтеза материалов или исследований масштабирования промышленных процессов, установка обеспечивает стабильные, воспроизводимые результаты при самых требовательных тепловых циклах, вселяя полную уверенность в целостности обработанных материалов.
Ключевые особенности
- Точное трехзонное управление температурой: Эта система использует три независимых программируемых ПИД-контроллера для управления отдельными нагревательными зонами по 300 мм каждая. Такая конфигурация позволяет создавать заданные температурные градиенты или широкую, высокооднородную зону постоянной температуры длиной до 600 мм, что обеспечивает стабильные результаты для больших партий или длинных подложек.
- Кварцевые технологические камеры большого формата: Покупатели могут выбрать между кварцевыми трубами с внешним диаметром 11 и 15 дюймов. Эти высокочистые трубы из плавленого кварца обладают отличной химической инертностью и устойчивостью к тепловым ударам, позволяя четко визуально контролировать состояние образца во время высокотемпературных реакций без нарушения герметичности вакуума.
- Автоматизированный моторный привод крышки: Печь оснащена парой высокомоментных моторных приводов, которые открывают и закрывают сборку разъемной крышки. Такое инженерное решение исключает физическую нагрузку при ручном управлении и обеспечивает точное позиционирование тяжелой крышки печи, защищая внутреннюю керамическую волокнистую изоляцию и кварцевую трубу от случайных ударов.
- Продвинутая технология нагрева карбидом кремния: Оснащенная 42 высокопроизводительными нагревательными элементами из карбида кремния (SiC), установка достигает высокой скорости нагрева до 10°C/мин. Эти элементы стратегически расположены для обеспечения сбалансированного лучистого тепла, что позволяет системе достигать пиковой рабочей температуры 1200°C для коротковременных задач.
- Герметичные шарнирные фланцы для управления атмосферой: Печь оснащена парой шарнирных фланцев из нержавеющей стали с эластомерным уплотнением. Такая конструкция облегчает быструю загрузку и выгрузку образцов, сохраняя надежное уплотнение для уровней вакуума до 10^-4 торр при использовании с турбомолекулярным насосом высокой производительности и соответствующими термоблоками.
- Надежная архитектура безопасности и охлаждения: Двухслойный стальной корпус, интегрированный с принудительным воздушным охлаждением, гарантирует, что температура внешней поверхности остается ниже 70°C даже при пиковой нагрузке. Это защищает персонал лаборатории и окружающее оборудование, сохраняя при этом эффективность внутренней огнеупорной волокнистой алиуминевой изоляции.
- Настраиваемые варианты управления: Хотя стандартные модели оснащены 30-сегментным ПИД-управлением с точностью ±1°C, оборудование можно модернизировать до контроллеров серии Eurotherm 3000. Эти опциональные блоки обеспечивают точность ±0,1°C и поддерживают продвинутые протоколы связи RS-485 для сложной регистрации данных и удаленного мониторинга процессов в средах промышленности 4.0.
- Интегрированные порты для газа и вакуума: Фланцы из нержавеющей стали включают полный набор портов, включая игольчатые клапаны, манометры и вакуумные соединения KF40. Это позволяет беспрепятственно интегрировать систему с системами подачи газа и вакуумными насосами, облегчая измерение температуры in situ и точное управление атмосферой.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Отжиг полупроводниковых пластин | Термообработка кремниевых пластин диаметром 8" или 12" для восстановления дефектов решетки или активации легирующих примесей. | Превосходная однородность температуры предотвращает коробление пластин и обеспечивает стабильные электрические свойства по всей поверхности. |
| Синтез углеродных наноструктур | Высокотемпературная графитизация азот-легированного углерода для производства катализаторов. | Точное поддержание температуры 1100°C оптимизирует стабильность кластерных сайтов Co-N и повышает электропроводность. |
| Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) | Выращивание тонких пленок и двумерных материалов на крупноплощадных подложках с использованием газообразных прекурсоров. | Трехзонное управление позволяет независимо задавать температуры для зоны испарения прекурсора и зоны осаждения. |
| Разработка твердотельных аккумуляторов | Спекание керамических электролитов и композиционных электродов в среде инертного газа. | Большой диаметр трубы позволяет обрабатывать несколько наборов образцов или прототипные ячейки большого формата за один запуск. |
| Продвинутая металлургия | Термообработка объемных аморфных металлов или высокоэнтропийных сплавов при высоком вакууме. | Герметичные шарнирные фланцы поддерживают среду высокой чистоты, предотвращая окисление во время критических фаз охлаждения. |
| Исследования расплавленных солей | Изучение физико-химического поведения расплавленных солей для ядерных или солнечных приложений. | Прозрачная кварцевая труба позволяет в реальном времени визуально контролировать фазы соли и позиционирование тигля. |
| Испытания огнеупорных материалов | Испытание тепловой стойкости аэрокосмической или промышленной керамики при длительных высоких температурах. | Надежные нагревательные элементы из SiC обеспечивают долговечность, необходимую для длительных термических циклов выдержки. |
Технические характеристики
| Параметр | Характеристика (TU-40-11) | Характеристика (TU-40-15) |
|---|---|---|
| Источник питания | 480 В переменного тока, 3 фазы, 50/60 Гц, 40 А | 480 В переменного тока, 3 фазы, 50/60 Гц, 40 А |
| Общая номинальная мощность | 30 кВА | 30 кВА |
| Нагревательные зоны | 3 зоны (300 мм + 300 мм + 300 мм) | 3 зоны (300 мм + 300 мм + 300 мм) |
| Общая длина нагрева | 900 мм | 900 мм |
| Длина зоны постоянной температуры | 600 мм (@ +/- 5°C @ 800°C) | 600 мм (@ +/- 5°C @ 800°C) |
| Размеры кварцевой трубы | 279 мм внешний диаметр x 269 мм внутренний диаметр x 1860 мм длина (11" внешний диаметр) | 381 мм внешний диаметр x 371 мм внутренний диаметр x 1860 мм длина (15" внешний диаметр) |
| Максимальная рабочая температура | 1200 °C (< 30 мин) | 1200 °C (< 30 мин) |
| Непрерывная рабочая температура | 1100 °C (атмосферное давление) | 1100 °C (атмосферное давление) |
| Рабочая температура в вакууме | 900 °C (максимум при вакууме) | 900 °C (максимум при вакууме) |
| Скорость нагрева | Рекомендуется ≤ 5°C/мин; Максимум 10°C/мин | Рекомендуется ≤ 5°C/мин; Максимум 10°C/мин |
| Нагревательные элементы | 42 элемента из карбида кремния (SiC) | 42 элемента из карбида кремния (SiC) |
| Точность контроля температуры | Стандарт: +/- 1°C; Опционально Eurotherm: +/- 0.1°C | Стандарт: +/- 1°C; Опционально Eurotherm: +/- 0.1°C |
| Уровень вакуума (форвакуум) | < 5e-2 торр (с глиноземными блоками) | < 5e-2 торр (с глиноземными блоками) |
| Уровень вакуума (турбонасос) | < 1e-4 торр (с кварцевыми блоками) | < 1e-4 торр (с кварцевыми блоками) |
| Термопара | Тип K | Тип K |
| Тип фланцев | Шарнирные фланцы из нержавеющей стали с силиконовыми уплотнительными кольцами | Шарнирные фланцы из нержавеющей стали с силиконовыми уплотнительными кольцами |
| Система охлаждения | Двухслойная сталь с воздушным охлаждением | Двухслойная сталь с воздушным охлаждением |
Почему стоит выбрать трехзонную трубчатую печь
- Промышленная тепловая точность: Многозонная ПИД-архитектура обеспечивает детальное управление, необходимое для ответственных научно-исследовательских работ. Позволяя независимую регулировку зон предварительного нагрева, обработки и охлаждения, эта система гарантирует воспроизводимость и научную достоверность вашего синтеза материалов.
- Спроектирована для высокой пропускной способности: Благодаря огромной технологической камере диаметром 11 или 15 дюймов эта печь превосходит ограничения стандартного лабораторного оборудования. Она преодолевает разрыв между мелкомасштабными экспериментами и пилотным производством, предоставляя объем, необходимый для обработки пластин диаметром 8-12 дюймов.
- Превосходное качество сборки и стандарты безопасности: От моторизованной крышки, предотвращающей механический износ, до двуxкорпусной системы охлаждения, защищающей операторов, каждый элемент спроектирован для долгого срока службы. Использование премиальной огнеупорной глиноземной изоляции и высокоплотных элементов из SiC отражает приверженность промышленной долговечности.
- Универсальная атмосферная герметичность: Независимо от того, требуется ли для вашего процесса высокочистый инертный газ или среда глубокого вакуума, шарнирные герметичные фланцы предоставляют надежное, удобное в использовании решение. Возможность переключения между вакуумом и контролируемой атмосферой без замены оборудования делает это универсальным активом любой лаборатории материаловедения.
- Непревзойденная кастомизация и поддержка: Мы понимаем, что каждый исследовательский проект имеет уникальные требования. От опциональных кварцевых держателей для пластин до модернизированных систем управления Eurotherm и пользовательских конфигураций питания, мы предоставляем техническую поддержку, необходимую для адаптации этой системы под ваш конкретный рабочий процесс.
Наша команда инженеров готова помочь вам сконфигурировать идеальное термическое решение для ваших приложений с современными материалами. Свяжитесь с нами сегодня для технической консультации или получения официального коммерческого предложения.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Трехзонная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и вакуумными фланцами для обработки больших пластин
Прецизионная трехзонная трубчатая печь на 1100°C, оснащенная массивными кварцевыми трубками внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и герметичными фланцами. Разработана для крупномасштабной обработки пластин и передовых исследований материалов, обеспечивая превосходную температурную однородность и совместимость с высоким вакуумом для промышленных НИОКР и производственных задач.
Трехзонная трубчатая печь с длиной нагрева 24 дюйма и системой кварцевых трубок с откидными фланцами
Эта профессиональная трехзонная трубчатая печь оснащена зоной нагрева длиной 24 дюйма и откидными фланцами для эффективной загрузки образцов. Оптимизированная для процессов при температуре 1200°C, она обеспечивает точную равномерность температуры и совместимость с вакуумом для передовых промышленных исследований материалов.
Большая вертикальная трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 8 или 11 дюймов и высоковакуумными фланцами, 1200°C
Наша спроектированная высокопроизводительная вертикальная трехзонная печь предлагает независимое термическое управление и совместимость с массивной 11-дюймовой кварцевой трубой, обеспечивая превосходную равномерность и повышенную вакуумную герметичность для критических промышленных процессов отжига, спекания, исследований и разработки современного материаловедения в требовательных лабораторных условиях
Вертикальная трехзонная трубчатая печь 1200°C с кварцевой трубкой 2 дюйма и вакуумными фланцами
Прецизионная вертикальная трехзонная трубчатая печь на 1200°C, оснащенная 2-дюймовой кварцевой трубкой и современными вакуумными фланцами. Эта высокопроизводительная система, разработанная для процессов CVD и PVD, обеспечивает исключительную температурную однородность и возможности быстрой закалки для передовых исследований и разработок в области материаловедения.
Трёхзонная нагревательная разъёмная вертикальная трубчатая печь 1700°C — высокотемпературная вакуумная атмосферная термообрабатывающая система
Передовая трёхзонная разъёмная вертикальная трубчатая печь на 1700°C для промышленного НИОКР и материаловедческих применений. Эта прецизионная система отличается независимым терморегулированием, возможностью создания высокого вакуума и энергоэффективной теплоизоляцией, обеспечивая стабильную высокотемпературную обработку и быстрые результаты закалки образцов.
Кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C с зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением
Эта кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C оснащена зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением для точной обработки методом CVD. Идеально подходит для материаловедческих исследований и промышленных НИОКР, обеспечивая исключительную термическую стабильность и надежные тепловые характеристики.
24-дюймовая трехзонная разъемная трубчатая печь с дополнительной кварцевой трубкой и системой вакуумных фланцев для высокотемпературного синтеза материалов
Ускорьте исследования материалов с помощью этой премиальной 24-дюймовой трехзонной разъемной трубчатой печи. Благодаря независимому контролю температуры, совместимости с кварцевой трубкой и вакуумным фланцам она обеспечивает точную термообработку до 1200°C для требовательных лабораторных и промышленных задач НИОКР.
Трехзонная вращающаяся трубчатая печь для спекания материалов и термообработки в контролируемой атмосфере
Улучшите процессы термической обработки с помощью этой трехзонной вращающейся трубчатой печи. Оснащенная шведскими нагревательными элементами Kanthal A1 и механизмом наклона 0-40 градусов, она обеспечивает превосходную равномерность нагрева для спекания порошков и исследований высокочистых материалов в условиях вакуума или контролируемой атмосферы для промышленных научно-исследовательских отделов.
Трёхзонная разъемная трубчатая печь, длина зоны нагрева 36 дюймов, высокотемпературная 1200°C исследовательская печь для материалов с вакуумными фланцами
Точно спроектированная трёхзонная разъемная трубчатая печь для высокотемпературной обработки при 1200°C. Оснащена усовершенствованным ПИД-регулированием для работы в атмосфере и в вакууме в исследованиях материалов, обеспечивая исключительную термостабильность и надёжную работу в промышленных лабораторных условиях и научно-исследовательских учреждениях.
Высокотемпературная кварцевая камерная печь 1100°C, внешний диаметр 8 дюймов, объем 7,6 литра, с возможностью работы в вакууме
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой кварцевой камерной печи на 1100°C с внешним диаметром 8 дюймов и объемом 7,6 литра. Эта система, разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, обеспечивает прецизионную термическую обработку для передовых исследований материалов и производства полупроводников.
Трехзонная кварцевая трубчатая печь с 3-канальным газовым смесителем, вакуумным насосом и антикоррозийным вакуумметром
Эта высокоточная трехзонная кварцевая трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C оснащена встроенной системой смешивания газов по трем каналам и антикоррозийным мониторингом вакуума, что делает её идеальным решением для профессионального CVD-синтеза и материаловедческих исследований в требовательных лабораторных и промышленных условиях.
Трубчатая печь высокой температуры 1700°C с тремя зонами нагрева и трубой из оксида алюминия с наружным диаметром 50, 60, 80 мм для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь 1700°C оснащена точными трубами из оксида алюминия и независимым управлением нагревом. Разработана для современных материаловедческих исследований, обеспечивает исключительную тепловую однородность и стабильность при проведении химического осаждения из газовой фазы и сложных процессов промышленной термообработки в контролируемой атмосфере.
Трехзонная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, внешний диаметр до 6 дюймов, с трубкой и фланцами
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой трехзонной трубчатой печи на 1200°C с поддержкой внешнего диаметра 6 дюймов и усовершенствованным сенсорным управлением. Эта высокоточная система обеспечивает равномерное распределение температуры для передовых исследований материалов, отжига полупроводников и промышленной термообработки.
1200C Трёхзонная раздельная вертикальная трубчатая печь с 4-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Эта трёхзонная раздельная вертикальная трубчатая печь 1200C оснащена 4-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для высокоточной термообработки. Идеально подходящая для закалки и синтеза материалов, эта надёжная система обеспечивает равномерный нагрев и быстрый доступ для загрузки образцов.
Трехзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с длиной нагрева 18 дюймов и вакуумными фланцами
Оптимизируйте термообработку с помощью этой трехзонной разъемной трубчатой печи 1200°C. Благодаря длине нагрева 18 дюймов и точному ПИД-регулированию она обеспечивает исключительную равномерность температуры для современных исследований материалов, отжига, спекания и профессиональных промышленных научно-исследовательских работ в лабораториях по всему миру.
Трехзонная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь для CVD и спекания материалов
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь обеспечивает независимое управление зонами для создания точных температурных градиентов. Разработанная для CVD-процессов и вакуумного отжига, она предлагает исключительную равномерность температуры, передовое PID-программирование и надежную вакуумную герметизацию для промышленных исследований и разработок.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь, макс. 1200°C, длина нагрева 35,4 дюйма, внутренний диаметр трубки 8 дюймов
Эта высокопроизводительная трехзонная разъемная трубчатая печь оснащена зоной нагрева длиной 35,4 дюйма и трубкой диаметром 8 дюймов для передовой термической обработки. Достигайте пиковых температур 1200°C с независимым управлением зонами для превосходной равномерности нагрева в вакуумной или газовой среде.
Вертикальная вакуумная трубчатая печь 1700°C с атмосферой и глиноземной трубкой 80 мм
Эта высокоточная вертикальная трубчатая печь обеспечивает исключительную температурную равномерность до 1700°C для синтеза материалов. Благодаря 80-миллиметровой глиноземной трубке и усовершенствованным вакуумным уплотнительным фланцам, она создает стабильную атмосферу для требовательных промышленных НИОКР и специализированных процессов термообработки.
Трехзонная вращающаяся трубчатая печь с автоматической подачей порошка для крупномасштабного CVD-покрытия до 1100°C
Передовая трехзонная вращающаяся трубчатая печь на 1100°C с автоматической подачей порошка и кварцевой трубой 15 дюймов для крупномасштабного CVD-покрытия. Оптимизируйте синтез электродов для аккумуляторов с помощью превосходной температурной однородности и эффективной обработки порошка для промышленных исследований и производственных сред.
Трехзонная разъемная трубчатая печь 1600°C с глиноземной трубой и вакуумным фланцем
Эта трехзонная разъемная трубчатая печь с рабочей температурой 1600°C обеспечивает точное температурное профилирование и возможность создания вакуума для передового синтеза материалов и НИОКР, гарантируя исключительную равномерность температуры в нескольких независимых зонах нагрева благодаря надежной конструкции.
