Трубчатая печь
Трехзонная трубчатая печь из оксида алюминия с вакуумными фланцами, высокотемпературная система CVD с градиентом температуры 1700°C
Артикул: TU-79
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь представляет собой вершину лабораторной термической обработки, разработанную специально для исследователей и промышленных инженеров, которым требуется точный контроль над сложными температурными профилями. Интегрируя три независимые зоны нагрева в среде одной трубки из оксида алюминия высокой чистоты, эта система позволяет создавать сложные термические градиенты, необходимые для роста кристаллов, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и синтеза современных материалов. Основная ценность оборудования заключается в его способности поддерживать различные температуры в непрерывном рабочем пространстве, обеспечивая универсальную платформу как для стандартной термообработки, так и для узкоспециализированных исследовательских протоколов.
Основные варианты использования этой установки охватывают электронику, аэрокосмическую промышленность и энергетические исследования, где функциональные материалы должны подготавливаться в строгих атмосферных условиях. Трехзонная архитектура особенно эффективна для эпитаксиального роста пленок и синтеза нанопроволок, где испарение прекурсора и осаждение на подложку должны происходить при различных, точно поддерживаемых температурах. Целевые отрасли включают производство полупроводников, разработку современной керамики и металлургические исследовательские центры, требующие бескомпромиссной точности и повторяемости термических циклов.
Разработанная для требовательных промышленных и лабораторных условий, система оснащена прочным двухслойным стальным корпусом и усовершенствованным воздушным охлаждением для обеспечения безопасной низкой температуры внешней оболочки даже при длительной высокотемпературной работе. Надежность заложена в каждом компоненте: от изоляции из волокнистого оксида алюминия высокой чистоты до двухэлементной конфигурации нагрева, которая уравновешивает технические требования экстремального нагрева в центре с контролируемой стабильностью на периферии. Это оборудование обеспечивает стабильность, необходимую для длительных экспериментов, давая пользователям уверенность в том, что их критически важные данные и результаты обработки материалов защищены превосходными теплотехническими решениями.
Ключевые особенности
- Независимый контроль температуры в трех зонах: Система использует три отдельных цифровых микропроцессора для независимого управления каждой зоной, что позволяет создавать точные термические градиенты. Эта возможность критически важна для процессов, где прекурсоры должны испаряться в одной зоне и осаждаться в другой при иной температуре.
- Архитектура нагрева с двумя типами элементов: Центральная зона питается от нагревательных элементов из дисилицида молибдена (MoSi2) марки Super-1800, достигающих 1700°C, в то время как две боковые зоны используют элементы из карбида кремния (SiC) для стабильной работы до 1400°C. Эта гибридная конструкция оптимизирует энергоэффективность и производительность нагрева на всей длине нагреваемой части (25 дюймов).
- Усовершенствованная логика ПИД-регулирования: Каждый из трех контроллеров имеет 30 программируемых сегментов, предлагая возможности самонастройки и сложную защиту от перегрева или обрыва термопар. Это обеспечивает линейную скорость нагрева и стабильное время выдержки, сводя к минимуму термический шок для деликатных образцов.
- Среда в трубке из оксида алюминия высокой чистоты: Оборудование, оснащенное трубкой из оксида алюминия чистотой 99,8%, обеспечивает исключительно инертную атмосферу для обработки. Этот материал высокой плотности предотвращает загрязнение и устойчив к химическому воздействию агрессивных прекурсоров во время высокотемпературных операций CVD.
- Превосходная вакуумная и атмосферная герметичность: Установка оснащена вакуумными уплотнительными фланцами из нержавеющей стали со встроенными клапанами и манометрами, что позволяет достигать уровня вакуума до 10-4 Торр при использовании турбомолекулярного насоса. Конструкция с двойной прокладкой обеспечивает герметичность при работе в среде инертных или восстановительных газов.
- Продуманная теплоизоляция: В печи используется изоляция из волокнистого оксида алюминия высокой чистоты, которая обладает низкой теплопроводностью и малым накоплением тепла. Такая конструкция обеспечивает более быстрые циклы нагрева и охлаждения, значительно снижая потребление энергии, необходимое для поддержания высокотемпературной стабильности.
- Надежные системы безопасности и охлаждения: Двухслойный стальной корпус со встроенными двойными вентиляторами охлаждения поддерживает безопасную температуру внешней поверхности. Такая конструкция защищает лабораторный персонал и внутренние электронные компоненты, значительно продлевая срок службы систем управления.
- Интеграция многозонных термопар: В системе используется одна термопара типа B для высокотемпературной центральной зоны и две термопары типа S для боковых зон. Такая конфигурация обеспечивает высочайший уровень точности измерений и быструю обратную связь для ПИД-контроллеров.
- Настраиваемые варианты подачи газа: Стандартные штуцеры для шлангов могут быть заменены на адаптеры KF25 или трубные фитинги Swagelok, что позволяет легко интегрировать систему с высоковакуумными установками или коллекторами подачи газа под высоким давлением для современного выращивания тонких пленок.
Применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Эпитаксиальный рост пленок (CVD) | Испарение прекурсоров в верхней зоне и их осаждение на подложку в центральной высокотемпературной зоне. | Прецизионный контроль толщины пленки и молекулярной структуры. |
| Синтез нанопроволок | Облегчение роста оксида галлия (Ga2O3), где легирование катализатора и аксиальный рост требуют различных термических стадий. | Оптимизированная морфологическая регулярность и улучшенные электронные свойства. |
| Спекание с температурным градиентом | Подвергание керамических или металлических образцов контролируемым изменениям температуры по их длине. | Позволяет изучать фазовые переходы и кинетику диффузии за один цикл. |
| Старение электронных компонентов | Тестирование долговечности мощных полупроводниковых материалов в условиях экстремального локализованного нагрева. | Высоконадежное тестирование, имитирующее реальные условия эксплуатации с высокими нагрузками. |
| Прокаливание порошков | Обработка химических катализаторов или материалов для аккумуляторов в условиях вакуума высокой чистоты или инертного газа. | Предотвращает окисление и обеспечивает высокую чистоту конечных продуктов для систем хранения энергии. |
| Отжиг и отпуск | Снятие напряжений в прецизионных металлических сплавах в контролируемой среде для улучшения механических свойств. | Устраняет внутренние напряжения без ущерба для чистоты поверхности или состава. |
| Картирование фазовых диаграмм | Быстрое определение температурно-зависимых свойств материалов с использованием гибкой трехзонной архитектуры. | Значительное сокращение времени НИОКР при поиске новых функциональных материалов. |
Технические характеристики
| Особенность | Технические детали (TU-79) |
|---|---|
| Серия модели продукта | TU-79 |
| Напряжение | Переменный ток 208-240 В, однофазный, 50/60 Гц |
| Потребляемая мощность | 10 кВт (требуется автоматический выключатель на 75 А) |
| Характеристики зоны 1 | Длина 7,5" (190 мм); 4 элемента SiC; 400 - 1400°C (до 1500°C менее 1 часа) |
| Характеристики зоны 2 (центр) | Длина 10,0" (250 мм); 6 элементов MoSi2; 800 - 1700°C |
| Характеристики зоны 3 | Длина 7,5" (190 мм); 4 элемента SiC; 400 - 1400°C (до 1500°C менее 1 часа) |
| Общая длина зоны нагрева | Всего 25" (630 мм), включая два огнеупорных разделителя |
| Зона постоянной температуры | Длина 200 мм с точностью ± 1°C (при синхронизации всех контроллеров) |
| Максимальная скорость нагрева | ≤ 10°C/мин (боковые зоны); ≤ 5°C/мин (центральная зона) |
| Материал и размер трубки | Оксид алюминия чистотой 99,8%; варианты внешнего диаметра: 60 мм, 80 мм или 100 мм; длина 1200 мм |
| Вакуумное уплотнение | Фланцы из нержавеющей стали с клапанами и манометрами; двойные прокладки в комплекте |
| Предел вакуумного давления | До 10-4 Торр с турбонасосом (использование вакуума ограничено температурой <1500°C) |
| Контроллеры температуры | Три цифровых ПИД-контроллера, 30 сегментов, автонастройка, точность ± 1°C |
| Типы термопар | Одна типа B (центр), две типа S (боковые); длина погружения 210 мм |
| Безопасность и соответствие | Сертификация CE; NRTL/CSA доступны по запросу |
| Корпус | Двухслойная сталь с двумя высокоскоростными вентиляторами охлаждения |
Почему выбирают нас
- Сложная теплотехника: Используя уникальную комбинацию нагревательных элементов MoSi2 и SiC, эта печь обеспечивает более широкий рабочий диапазон и более стабильные термические градиенты, чем стандартные системы с одним типом элементов.
- Непревзойденный контроль атмосферы: Использование трубок из оксида алюминия высокой чистоты и прецизионных вакуумных фланцев из нержавеющей стали гарантирует отсутствие загрязнений в среде для самых чувствительных процессов химического осаждения из газовой фазы и производства полупроводников.
- Надежность промышленного уровня: Благодаря стальной конструкции с двойными стенками и электронным компонентам, сертифицированным по стандарту CE, эта система способна выдерживать суровые условия непрерывных высокотемпературных НИОКР без ухудшения характеристик.
- Точность и программируемость: Каждая из трех зон управляется отдельными 30-сегментными ПИД-контроллерами, что позволяет создавать сложные многостадийные рецепты, которые можно синхронизировать или программировать для создания определенных температурных перепадов.
- Настраиваемость и перспективность: THERMUNITS предлагает обширные дополнительные обновления, включая высокоточные контроллеры европейского производства, программное обеспечение на базе LabVIEW и специализированные фитинги для подачи газа, чтобы соответствовать меняющимся требованиям исследований.
Наша группа технической поддержки готова помочь вам сконфигурировать идеальную печь для ваших конкретных исследовательских нужд; пожалуйста, свяжитесь с нами сегодня для получения подробного коммерческого предложения или обсуждения индивидуальных модификаций системы.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Трехзонная высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с глиноземной трубой и фланцами с водяным охлаждением
Эта современная трехзонная высокотемпературная трубчатая печь обеспечивает прецизионную термическую обработку при температуре до 1700°C и контроль атмосферы. Система идеально подходит для исследований полупроводников, современной металлургии и спекания керамики, обеспечивая превосходную равномерность нагрева благодаря независимым ПИД-контроллерам температуры.
Трубчатая печь высокой температуры 1700°C с тремя зонами нагрева и трубой из оксида алюминия с наружным диаметром 50, 60, 80 мм для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь 1700°C оснащена точными трубами из оксида алюминия и независимым управлением нагревом. Разработана для современных материаловедческих исследований, обеспечивает исключительную тепловую однородность и стабильность при проведении химического осаждения из газовой фазы и сложных процессов промышленной термообработки в контролируемой атмосфере.
Высокотемпературная трубчатая печь из оксида алюминия 1700°C с зоной нагрева 18 дюймов и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта профессиональная трубчатая печь на 1700°C оснащена восемнадцатидюймовой зоной нагрева и трубками из высокочистого оксида алюминия для передовых исследований материалов. Разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, она обеспечивает исключительную термическую стабильность и надежность для сложных лабораторных процессов.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Трёхзонная нагревательная разъёмная вертикальная трубчатая печь 1700°C — высокотемпературная вакуумная атмосферная термообрабатывающая система
Передовая трёхзонная разъёмная вертикальная трубчатая печь на 1700°C для промышленного НИОКР и материаловедческих применений. Эта прецизионная система отличается независимым терморегулированием, возможностью создания высокого вакуума и энергоэффективной теплоизоляцией, обеспечивая стабильную высокотемпературную обработку и быстрые результаты закалки образцов.
Высокотемпературная трубчатая печь с разъемным корпусом (1700°C), вакуумными фланцами, клапанами и глиноземной трубкой 60 мм
Достигайте прецизионной обработки материалов с помощью этой высокотемпературной трубчатой печи (1700°C) с разъемным корпусом, оснащенной глиноземными трубками диаметром 60 мм и вакуумными фланцами. Идеально подходит для научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИОКР), требующих точного контроля атмосферы, передового ПИД-программирования и надежной высокочистой термической обработки в требовательных лабораторных условиях.
Высокотемпературная гибридная муфельная и трубчатая печь 1700°C с программируемым ПИД-контроллером, вакуумными фланцами и трубкой из оксида алюминия
Оптимизируйте рабочее пространство лаборатории с помощью этой универсальной гибридной печи на 1700°C, сочетающей в себе возможности камерной и трубчатой печи. Оснащена 30-сегментным программируемым управлением и совместимостью с высоким вакуумом, что делает ее идеальным решением для прецизионной термической обработки в требовательных средах НИОКР в области материаловедения.
Трубчатая печь высокой температуры 1700°C с 4 каналами, труба из окиси алюминия 1 дюйм для высокопроизводительного отжига
Революционизируйте материаловедческие исследования с этой четырехканальной трубчатой печью 1700°C, оснащенной независимым регулированием температуры и интегрированными трубками из окиси алюминия. Обеспечивает высокопроизводительный отжиг и термообработку в компактном исполнении, готовом к использованию в лаборатории, оптимизированном для быстрой разработки материалов и синтеза промышленных сплавов.
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с корундовой трубкой 4 дюйма (внешний диаметр) и вакуумными уплотнительными фланцами
Высокопроизводительная трубчатая печь 1700°C с корундовой трубкой внешним диаметром 4 дюйма и прецизионными нагревательными элементами из дисилицида молибдена (MoSi2). Идеально подходит для материаловедения, химического спекания и вакуумной термообработки. Оснащена усовершенствованным ПИД-регулятором и надежной системой герметизации для промышленных исследований и разработок.
Гибридная высокотемпературная трубчатая и камерная печь 1700°C с 2-дюймовой глиноземной трубкой для материаловедческих исследований
Эта гибридная печь с температурой до 1700°C сочетает в себе возможности камерной и трубчатой печей для проведения исследований материалов в вакууме или контролируемой атмосфере. Благодаря высокочистой глиноземной изоляции и нагревательным элементам из дисилицида молибдена (MoSi2), она обеспечивает прецизионную термическую обработку для сложных лабораторных НИОКР и промышленных задач.
Настольная муфельная печь высокой температуры 1700°C, камера 10 л, теплоизоляция из глиноземистого волокна, нагревательные элементы из дисилицида молибдена (MoSi2)
Высокотемпературная настольная муфельная печь 1700°C обеспечивает превосходную термическую стабильность для передовых материаловедческих исследований. Использование высококачественных нагревательных элементов MoSi2 и теплоизоляции из глиноземистого волокна гарантирует точную, равномерную и энергоэффективную термообработку для ответственных лабораторных и промышленных задач. Качественная профессиональная конструкция.
Трубчатая печь с водородной атмосферой 1700°C с технологической трубкой из оксида алюминия диаметром 60 мм и встроенным детектором безопасности по водороду
Эта высокотемпературная трубчатая печь с водородной атмосферой мощностью 1700°C оснащена трубкой из оксида алюминия диаметром 60 мм и встроенным газовым детектором с электромагнитным отсечным клапаном для максимальной безопасности в лабораторных условиях. Разработана для синтеза материалов и термической обработки в среде горючих или инертных атмосфер.
Компактная гибридная печь 1700C с двойным слоем камерного спекания и трубками из оксида алюминия для контролируемой атмосферы
Эта профессиональная компактная гибридная печь 1700C оснащена двухслойным воздушным спеканием и обработкой в контролируемой атмосфере через встроенные трубки из оксида алюминия. Она обеспечивает исключительную температурную однородность для материаловедения и промышленной термообработки в компактной, высокопроизводительной конфигурации.
Высокотемпературная 1700C шестизонная разъёмная трубчатая печь с трубкой из оксида алюминия и фланцами с водяным охлаждением
Точная шестизонная разъёмная трубчатая печь 1700C, разработанная для исследований материалов и промышленных процессов осаждения из паровой фазы. Эта универсальная система обеспечивает независимое управление температурой в каждой зоне и фланцы, готовые к вакуумной работе, для стабильной термообработки и выполнения передовых задач по разработке материалов, обеспечивая максимальную производительность.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь (1500°C) с глиноземной трубкой 80 мм и вакуумным фланцем
Эта высокотехнологичная трехзонная разъемная трубчатая печь на 1500°C оснащена глиноземной трубкой диаметром 80 мм и точным ПИД-регулированием. Она идеально подходит для передовых исследований материалов, процессов CVD и промышленной термообработки, требующих исключительной равномерности температуры и высокой вакуумной стабильности.
Двенадцатизональная разъемная трубчатая печь 1700°C с независимым регулированием температурного градиента и обработочной трубой из глинозема диаметром 100 мм
Точная двенадцатизональная разъемная трубчатая печь 1700°C с обработочной трубой из глинозема диаметром 100 мм и индивидуальными ПИД-регуляторами для создания сложных профилей температурного градиента. Идеально подходит для современных исследований в области материаловедения, моделирования реакционной кинетики и высокотемпературной промышленной термообработки.
Трехзонная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и вакуумными фланцами для обработки больших пластин
Прецизионная трехзонная трубчатая печь на 1100°C, оснащенная массивными кварцевыми трубками внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и герметичными фланцами. Разработана для крупномасштабной обработки пластин и передовых исследований материалов, обеспечивая превосходную температурную однородность и совместимость с высоким вакуумом для промышленных НИОКР и производственных задач.
Компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь, макс. 1750°C, глиноземная трубка с внешним диаметром 60 мм
Оптимизируйте исследования материалов с помощью этой компактной вакуумной трубчатой печи на 1750°C, оснащенной камерой из высокочистого глинозема и прецизионным управлением на базе тиристоров (SCR). Разработанная для обеспечения надежности, она гарантирует точность ±1°C при спекании передовых материалов в вакууме или контролируемой газовой среде.
Высокотемпературная настольная вакуумная трубчатая печь с атмосферным контролем 1750°C с нагревательными элементами Kanthal Super 1800 и процессной трубкой из оксида алюминия 60 мм
Высокопроизводительная вакуумная трубчатая печь 1750°C с нагревательными элементами Kanthal Super-1800 и высокочистой трубкой из оксида алюминия. Идеально подходит для точных исследований материалов, эта система обеспечивает точность ±1°C и программируемое 30-сегментное управление для требовательной лабораторной термообработки и спекания в контролируемой атмосфере.
Компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь 1800°C с трубкой из оксида алюминия (внешний диаметр 60 мм) и нагревательными элементами Kanthal MoSi2
Эта компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь (1800°C) оснащена первоклассными нагревательными элементами Kanthal и трубкой из оксида алюминия с внешним диаметром 60 мм. Разработанная для исследований материалов и процессов спекания, она обеспечивает прецизионную термическую обработку в вакууме или контролируемой атмосфере для лабораторных НИОКР.
