Трубчатая печь
Трехзонная трубчатая печь из оксида алюминия с вакуумными фланцами, высокотемпературная система CVD с градиентом температуры 1700°C
Артикул: TU-79
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь представляет собой вершину лабораторной термической обработки, разработанную специально для исследователей и промышленных инженеров, которым требуется точный контроль над сложными температурными профилями. Интегрируя три независимые зоны нагрева в среде одной трубки из оксида алюминия высокой чистоты, эта система позволяет создавать сложные термические градиенты, необходимые для роста кристаллов, химического осаждения из газовой фазы (CVD) и синтеза современных материалов. Основная ценность оборудования заключается в его способности поддерживать различные температуры в непрерывном рабочем пространстве, обеспечивая универсальную платформу как для стандартной термообработки, так и для узкоспециализированных исследовательских протоколов.
Основные варианты использования этой установки охватывают электронику, аэрокосмическую промышленность и энергетические исследования, где функциональные материалы должны подготавливаться в строгих атмосферных условиях. Трехзонная архитектура особенно эффективна для эпитаксиального роста пленок и синтеза нанопроволок, где испарение прекурсора и осаждение на подложку должны происходить при различных, точно поддерживаемых температурах. Целевые отрасли включают производство полупроводников, разработку современной керамики и металлургические исследовательские центры, требующие бескомпромиссной точности и повторяемости термических циклов.
Разработанная для требовательных промышленных и лабораторных условий, система оснащена прочным двухслойным стальным корпусом и усовершенствованным воздушным охлаждением для обеспечения безопасной низкой температуры внешней оболочки даже при длительной высокотемпературной работе. Надежность заложена в каждом компоненте: от изоляции из волокнистого оксида алюминия высокой чистоты до двухэлементной конфигурации нагрева, которая уравновешивает технические требования экстремального нагрева в центре с контролируемой стабильностью на периферии. Это оборудование обеспечивает стабильность, необходимую для длительных экспериментов, давая пользователям уверенность в том, что их критически важные данные и результаты обработки материалов защищены превосходными теплотехническими решениями.
Ключевые особенности
- Независимый контроль температуры в трех зонах: Система использует три отдельных цифровых микропроцессора для независимого управления каждой зоной, что позволяет создавать точные термические градиенты. Эта возможность критически важна для процессов, где прекурсоры должны испаряться в одной зоне и осаждаться в другой при иной температуре.
- Архитектура нагрева с двумя типами элементов: Центральная зона питается от нагревательных элементов из дисилицида молибдена (MoSi2) марки Super-1800, достигающих 1700°C, в то время как две боковые зоны используют элементы из карбида кремния (SiC) для стабильной работы до 1400°C. Эта гибридная конструкция оптимизирует энергоэффективность и производительность нагрева на всей длине нагреваемой части (25 дюймов).
- Усовершенствованная логика ПИД-регулирования: Каждый из трех контроллеров имеет 30 программируемых сегментов, предлагая возможности самонастройки и сложную защиту от перегрева или обрыва термопар. Это обеспечивает линейную скорость нагрева и стабильное время выдержки, сводя к минимуму термический шок для деликатных образцов.
- Среда в трубке из оксида алюминия высокой чистоты: Оборудование, оснащенное трубкой из оксида алюминия чистотой 99,8%, обеспечивает исключительно инертную атмосферу для обработки. Этот материал высокой плотности предотвращает загрязнение и устойчив к химическому воздействию агрессивных прекурсоров во время высокотемпературных операций CVD.
- Превосходная вакуумная и атмосферная герметичность: Установка оснащена вакуумными уплотнительными фланцами из нержавеющей стали со встроенными клапанами и манометрами, что позволяет достигать уровня вакуума до 10-4 Торр при использовании турбомолекулярного насоса. Конструкция с двойной прокладкой обеспечивает герметичность при работе в среде инертных или восстановительных газов.
- Продуманная теплоизоляция: В печи используется изоляция из волокнистого оксида алюминия высокой чистоты, которая обладает низкой теплопроводностью и малым накоплением тепла. Такая конструкция обеспечивает более быстрые циклы нагрева и охлаждения, значительно снижая потребление энергии, необходимое для поддержания высокотемпературной стабильности.
- Надежные системы безопасности и охлаждения: Двухслойный стальной корпус со встроенными двойными вентиляторами охлаждения поддерживает безопасную температуру внешней поверхности. Такая конструкция защищает лабораторный персонал и внутренние электронные компоненты, значительно продлевая срок службы систем управления.
- Интеграция многозонных термопар: В системе используется одна термопара типа B для высокотемпературной центральной зоны и две термопары типа S для боковых зон. Такая конфигурация обеспечивает высочайший уровень точности измерений и быструю обратную связь для ПИД-контроллеров.
- Настраиваемые варианты подачи газа: Стандартные штуцеры для шлангов могут быть заменены на адаптеры KF25 или трубные фитинги Swagelok, что позволяет легко интегрировать систему с высоковакуумными установками или коллекторами подачи газа под высоким давлением для современного выращивания тонких пленок.
Применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Эпитаксиальный рост пленок (CVD) | Испарение прекурсоров в верхней зоне и их осаждение на подложку в центральной высокотемпературной зоне. | Прецизионный контроль толщины пленки и молекулярной структуры. |
| Синтез нанопроволок | Облегчение роста оксида галлия (Ga2O3), где легирование катализатора и аксиальный рост требуют различных термических стадий. | Оптимизированная морфологическая регулярность и улучшенные электронные свойства. |
| Спекание с температурным градиентом | Подвергание керамических или металлических образцов контролируемым изменениям температуры по их длине. | Позволяет изучать фазовые переходы и кинетику диффузии за один цикл. |
| Старение электронных компонентов | Тестирование долговечности мощных полупроводниковых материалов в условиях экстремального локализованного нагрева. | Высоконадежное тестирование, имитирующее реальные условия эксплуатации с высокими нагрузками. |
| Прокаливание порошков | Обработка химических катализаторов или материалов для аккумуляторов в условиях вакуума высокой чистоты или инертного газа. | Предотвращает окисление и обеспечивает высокую чистоту конечных продуктов для систем хранения энергии. |
| Отжиг и отпуск | Снятие напряжений в прецизионных металлических сплавах в контролируемой среде для улучшения механических свойств. | Устраняет внутренние напряжения без ущерба для чистоты поверхности или состава. |
| Картирование фазовых диаграмм | Быстрое определение температурно-зависимых свойств материалов с использованием гибкой трехзонной архитектуры. | Значительное сокращение времени НИОКР при поиске новых функциональных материалов. |
Технические характеристики
| Особенность | Технические детали (TU-79) |
|---|---|
| Серия модели продукта | TU-79 |
| Напряжение | Переменный ток 208-240 В, однофазный, 50/60 Гц |
| Потребляемая мощность | 10 кВт (требуется автоматический выключатель на 75 А) |
| Характеристики зоны 1 | Длина 7,5" (190 мм); 4 элемента SiC; 400 - 1400°C (до 1500°C менее 1 часа) |
| Характеристики зоны 2 (центр) | Длина 10,0" (250 мм); 6 элементов MoSi2; 800 - 1700°C |
| Характеристики зоны 3 | Длина 7,5" (190 мм); 4 элемента SiC; 400 - 1400°C (до 1500°C менее 1 часа) |
| Общая длина зоны нагрева | Всего 25" (630 мм), включая два огнеупорных разделителя |
| Зона постоянной температуры | Длина 200 мм с точностью ± 1°C (при синхронизации всех контроллеров) |
| Максимальная скорость нагрева | ≤ 10°C/мин (боковые зоны); ≤ 5°C/мин (центральная зона) |
| Материал и размер трубки | Оксид алюминия чистотой 99,8%; варианты внешнего диаметра: 60 мм, 80 мм или 100 мм; длина 1200 мм |
| Вакуумное уплотнение | Фланцы из нержавеющей стали с клапанами и манометрами; двойные прокладки в комплекте |
| Предел вакуумного давления | До 10-4 Торр с турбонасосом (использование вакуума ограничено температурой <1500°C) |
| Контроллеры температуры | Три цифровых ПИД-контроллера, 30 сегментов, автонастройка, точность ± 1°C |
| Типы термопар | Одна типа B (центр), две типа S (боковые); длина погружения 210 мм |
| Безопасность и соответствие | Сертификация CE; NRTL/CSA доступны по запросу |
| Корпус | Двухслойная сталь с двумя высокоскоростными вентиляторами охлаждения |
Почему выбирают нас
- Сложная теплотехника: Используя уникальную комбинацию нагревательных элементов MoSi2 и SiC, эта печь обеспечивает более широкий рабочий диапазон и более стабильные термические градиенты, чем стандартные системы с одним типом элементов.
- Непревзойденный контроль атмосферы: Использование трубок из оксида алюминия высокой чистоты и прецизионных вакуумных фланцев из нержавеющей стали гарантирует отсутствие загрязнений в среде для самых чувствительных процессов химического осаждения из газовой фазы и производства полупроводников.
- Надежность промышленного уровня: Благодаря стальной конструкции с двойными стенками и электронным компонентам, сертифицированным по стандарту CE, эта система способна выдерживать суровые условия непрерывных высокотемпературных НИОКР без ухудшения характеристик.
- Точность и программируемость: Каждая из трех зон управляется отдельными 30-сегментными ПИД-контроллерами, что позволяет создавать сложные многостадийные рецепты, которые можно синхронизировать или программировать для создания определенных температурных перепадов.
- Настраиваемость и перспективность: THERMUNITS предлагает обширные дополнительные обновления, включая высокоточные контроллеры европейского производства, программное обеспечение на базе LabVIEW и специализированные фитинги для подачи газа, чтобы соответствовать меняющимся требованиям исследований.
Наша группа технической поддержки готова помочь вам сконфигурировать идеальную печь для ваших конкретных исследовательских нужд; пожалуйста, свяжитесь с нами сегодня для получения подробного коммерческого предложения или обсуждения индивидуальных модификаций системы.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Трёхзонная разъемная трубчатая печь, длина зоны нагрева 36 дюймов, высокотемпературная 1200°C исследовательская печь для материалов с вакуумными фланцами
Точно спроектированная трёхзонная разъемная трубчатая печь для высокотемпературной обработки при 1200°C. Оснащена усовершенствованным ПИД-регулированием для работы в атмосфере и в вакууме в исследованиях материалов, обеспечивая исключительную термостабильность и надёжную работу в промышленных лабораторных условиях и научно-исследовательских учреждениях.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь, макс. 1200°C, длина нагрева 35,4 дюйма, внутренний диаметр трубки 8 дюймов
Эта высокопроизводительная трехзонная разъемная трубчатая печь оснащена зоной нагрева длиной 35,4 дюйма и трубкой диаметром 8 дюймов для передовой термической обработки. Достигайте пиковых температур 1200°C с независимым управлением зонами для превосходной равномерности нагрева в вакуумной или газовой среде.
Высокотемпературная трубчатая печь с тремя температурными зонами для спекания современных материалов и процессов химического осаждения из газовой фазы
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой прецизионной трехзонной трубчатой печи с максимальной температурой 1700°C и независимым ПИД-регулированием для превосходной равномерности нагрева. Идеально подходит для ВГД, вакуумного отжига и спекания материалов в передовых исследовательских и промышленных научно-исследовательских лабораториях или крупных производственных предприятиях
Большая вертикальная трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 8 или 11 дюймов и высоковакуумными фланцами, 1200°C
Наша спроектированная высокопроизводительная вертикальная трехзонная печь предлагает независимое термическое управление и совместимость с массивной 11-дюймовой кварцевой трубой, обеспечивая превосходную равномерность и повышенную вакуумную герметичность для критических промышленных процессов отжига, спекания, исследований и разработки современного материаловедения в требовательных лабораторных условиях
24-дюймовая трехзонная разъемная трубчатая печь с дополнительной кварцевой трубкой и системой вакуумных фланцев для высокотемпературного синтеза материалов
Ускорьте исследования материалов с помощью этой премиальной 24-дюймовой трехзонной разъемной трубчатой печи. Благодаря независимому контролю температуры, совместимости с кварцевой трубкой и вакуумным фланцам она обеспечивает точную термообработку до 1200°C для требовательных лабораторных и промышленных задач НИОКР.
Трубчатая печь 1100°C с вакуумным фланцем и программируемым контроллером температуры для материаловедения и промышленной термообработки
Оптимизируйте лабораторную термообработку с помощью этой универсальной трубчатой печи на 1100°C, оснащенной программируемым ПИД-контроллером и высоковакуумными фланцами. Разработанная для прецизионного синтеза материалов и промышленных НИОКР, она предлагает гибкость ориентации (горизонтальная/вертикальная) и стабильную равномерность температуры для самых требовательных задач.
Трехзонная трубчатая печь с максимальной температурой 1200°C, внешний диаметр до 6 дюймов, с трубкой и фланцами
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой трехзонной трубчатой печи на 1200°C с поддержкой внешнего диаметра 6 дюймов и усовершенствованным сенсорным управлением. Эта высокоточная система обеспечивает равномерное распределение температуры для передовых исследований материалов, отжига полупроводников и промышленной термообработки.
Трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 11 или 15 дюймов и шарнирными фланцами для термообработки в вакуумной атмосфере
Достигните превосходной тепловой однородности с этой трехзонной трубчатой печью, оснащенной кварцевыми трубами диаметром 11 или 15 дюймов для крупномасштабного отжига пластин и синтеза материалов при точном вакуумном контроле, с электроприводом крышки для обеспечения безопасности в промышленных лабораторных условиях.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Вертикальная вакуумная трубчатая печь 1700°C с атмосферой и глиноземной трубкой 80 мм
Эта высокоточная вертикальная трубчатая печь обеспечивает исключительную температурную равномерность до 1700°C для синтеза материалов. Благодаря 80-миллиметровой глиноземной трубке и усовершенствованным вакуумным уплотнительным фланцам, она создает стабильную атмосферу для требовательных промышленных НИОКР и специализированных процессов термообработки.
Трехзонная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь для CVD и спекания материалов
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь обеспечивает независимое управление зонами для создания точных температурных градиентов. Разработанная для CVD-процессов и вакуумного отжига, она предлагает исключительную равномерность температуры, передовое PID-программирование и надежную вакуумную герметизацию для промышленных исследований и разработок.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь (1500°C) с глиноземной трубкой 80 мм и вакуумным фланцем
Эта высокотехнологичная трехзонная разъемная трубчатая печь на 1500°C оснащена глиноземной трубкой диаметром 80 мм и точным ПИД-регулированием. Она идеально подходит для передовых исследований материалов, процессов CVD и промышленной термообработки, требующих исключительной равномерности температуры и высокой вакуумной стабильности.
Трехзонная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и вакуумными фланцами для обработки больших пластин
Прецизионная трехзонная трубчатая печь на 1100°C, оснащенная массивными кварцевыми трубками внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и герметичными фланцами. Разработана для крупномасштабной обработки пластин и передовых исследований материалов, обеспечивая превосходную температурную однородность и совместимость с высоким вакуумом для промышленных НИОКР и производственных задач.
Трехзонная высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с глиноземной трубой и фланцами с водяным охлаждением
Эта современная трехзонная высокотемпературная трубчатая печь обеспечивает прецизионную термическую обработку при температуре до 1700°C и контроль атмосферы. Система идеально подходит для исследований полупроводников, современной металлургии и спекания керамики, обеспечивая превосходную равномерность нагрева благодаря независимым ПИД-контроллерам температуры.
Трехзонная трубчатая печь с длиной нагрева 24 дюйма и системой кварцевых трубок с откидными фланцами
Эта профессиональная трехзонная трубчатая печь оснащена зоной нагрева длиной 24 дюйма и откидными фланцами для эффективной загрузки образцов. Оптимизированная для процессов при температуре 1200°C, она обеспечивает точную равномерность температуры и совместимость с вакуумом для передовых промышленных исследований материалов.
Трубчатая печь высокой температуры 1700°C с тремя зонами нагрева и трубой из оксида алюминия с наружным диаметром 50, 60, 80 мм для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь 1700°C оснащена точными трубами из оксида алюминия и независимым управлением нагревом. Разработана для современных материаловедческих исследований, обеспечивает исключительную тепловую однородность и стабильность при проведении химического осаждения из газовой фазы и сложных процессов промышленной термообработки в контролируемой атмосфере.
Трёхзонная нагревательная разъёмная вертикальная трубчатая печь 1700°C — высокотемпературная вакуумная атмосферная термообрабатывающая система
Передовая трёхзонная разъёмная вертикальная трубчатая печь на 1700°C для промышленного НИОКР и материаловедческих применений. Эта прецизионная система отличается независимым терморегулированием, возможностью создания высокого вакуума и энергоэффективной теплоизоляцией, обеспечивая стабильную высокотемпературную обработку и быстрые результаты закалки образцов.
Трехзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с длиной нагрева 18 дюймов и вакуумными фланцами
Оптимизируйте термообработку с помощью этой трехзонной разъемной трубчатой печи 1200°C. Благодаря длине нагрева 18 дюймов и точному ПИД-регулированию она обеспечивает исключительную равномерность температуры для современных исследований материалов, отжига, спекания и профессиональных промышленных научно-исследовательских работ в лабораториях по всему миру.
Трехзонная разъемная трубчатая печь 1600°C с глиноземной трубой и вакуумным фланцем
Эта трехзонная разъемная трубчатая печь с рабочей температурой 1600°C обеспечивает точное температурное профилирование и возможность создания вакуума для передового синтеза материалов и НИОКР, гарантируя исключительную равномерность температуры в нескольких независимых зонах нагрева благодаря надежной конструкции.