Трехзонная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и вакуумными фланцами для обработки больших пластин

Обзор продукта

Эта высокопроизводительная система термической обработки специально разработана для крупномасштабной обработки полупроводниковых пластин, передовых исследований материалов и промышленной термообработки. Благодаря интеграции массивной трехзонной системы нагрева с кварцевыми трубками большого диаметра, оборудование обеспечивает значительный рабочий объем без ущерба для термической точности, необходимой для процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD) или циклов отжига. Установка рассчитана на непрерывную работу при температуре 1100°C, предоставляя надежную платформу для высокопроизводительных лабораторных сред и пилотных производственных линий, требующих воспроизводимых результатов и атмосферы высокой чистоты.

Ориентированное на полупроводниковую, аэрокосмическую отрасли и сектор хранения энергии, это оборудование отлично подходит для широкого спектра задач: от диффузии пластин до структурной оптимизации каталитических материалов. Трехзонная конструкция позволяет создавать точные температурные градиенты или значительно расширенную зону равномерного нагрева, что критически важно для одновременной обработки крупных подложек или нескольких образцов. Такая универсальность делает систему краеугольным камнем для предприятий, ориентированных на масштабирование синтеза материалов от лабораторных экспериментов до промышленных прототипов.

При создании печи приоритет был отдан надежности: используется двухслойный стальной корпус и усовершенствованная изоляция из волокнистого оксида алюминия для обеспечения эксплуатационной безопасности и энергоэффективности. Наличие герметичных фланцев из нержавеющей стали с водяным охлаждением позволяет проводить операции в условиях высокого вакуума и контролируемой атмосферы, гарантируя, что даже самые требовательные металлургические или химические процессы будут проходить в стабильной и чистой среде. Эта система представляет собой значительную инвестицию в долговечность, обеспечивая стабильную работу в рамках интенсивных графиков НИОКР.

Основные характеристики

• Независимое трехзонное управление температурой: Система оснащена тремя отдельными зонами нагрева длиной 300 мм каждая, управляемыми индивидуальными программируемыми ПИД-контроллерами. Это обеспечивает общую длину нагрева 900 мм (около 35,4 дюйма), предоставляя оператору гибкость для создания зоны постоянной температуры 600 мм или сложных температурных градиентов, необходимых для специализированных процессов переноса пара.
• Интеграция кварцевых трубок большого формата: Печь вмещает кварцевые трубки с внешним диаметром от 8,5" (216 мм) до 11" (279 мм), что позволяет использовать крупногабаритные лодочки для пластин и нестандартные промышленные компоненты. Такая большая вместимость редко встречается в лабораторных трубчатых печах, что позволяет преодолеть разрыв между мелкомасштабными исследованиями и полноценным промышленным производством.
• Высокоэффективные нагревательные элементы FeCrAl: Качественные резистивные проволоки из железо-хром-алюминиевого сплава (FeCrAl) стратегически встроены в огнеупорную изоляцию из волокнистого оксида алюминия. Эти элементы выбраны за их исключительную стойкость к окислению и термической усталости, что обеспечивает длительный срок службы даже при частых циклах до максимальных рабочих температур.
• Усовершенствованная герметичная вакуумная изоляция: Печь оснащена парой откидных фланцев из нержавеющей стали с водяным охлаждением. Эти фланцы имеют встроенные вакуумметры, игольчатые клапаны и порты KF40, что позволяет системе достигать уровня вакуума до 5e-2 торр с помощью механического насоса или более высокого уровня с дополнительными турбомолекулярными насосными системами.
• Превосходная теплоизоляция и безопасность: Двухслойный стальной корпус со встроенным воздушным охлаждением гарантирует, что температура внешней поверхности остается ниже 70°C во время пиковой нагрузки. Использование изоляции из высокочистого волокна оксида алюминия минимизирует потери тепла и снижает энергопотребление, поддерживая при этом высокую скорость нагрева и охлаждения — до 10°C/мин.
• Прецизионное ПИД-управление: Каждая зона контролируется двумя термопарами K-типа и управляется 30-сегментным программируемым контроллером с точностью +/- 1°C. Такой уровень контроля необходим для предотвращения температурного перерегулирования и обеспечения целостности деликатных подложек во время длительных этапов отжига или диффузии.
• Надежные возможности работы с газами: Фланцевый узел включает игольчатые клапаны из нержавеющей стали и быстроразъемные порты, облегчающие подачу инертных или реакционных газов. Это делает систему идеальной для процессов с контролируемой атмосферой, где необходимо строго поддерживать расход и давление газа.
• Оптимизация для обработки пластин: Конструкция поддерживает дополнительные кварцевые перегородки и специализированные лодочки для пластин (до 8 дюймов для вариантов с трубками большего диаметра), что делает ее готовым решением для процессов отжига, окисления и диффузии в полупроводниковой промышленности.

Области применения

Технические характеристики

Почему стоит выбрать эту трехзонную трубчатую печь

• Промышленная производительность: Редкое сочетание возможности использования трубки внешним диаметром 11 дюймов и длины нагрева 900 мм позволяет исследователям обрабатывать крупные подложки или большие объемы материалов, для чего обычно требуется оборудование промышленного масштаба.
• Прецизионная инженерия: Благодаря трехзонному ПИД-управлению и точности +/- 1°C, эта система обеспечивает термическую стабильность, необходимую для воспроизводимых исследований в области материаловедения и производства полупроводников.
• Улучшенная безопасность и стабильность: Двустенная конструкция корпуса и фланцы с водяным охлаждением обеспечивают безопасную лабораторную среду и защищают внутренние уплотнения системы во время высокотемпературных длительных циклов.
• Высокая вакуумная целостность: Система разработана с откидными герметичными фланцами и портами KF40 для процессов высокой чистоты, требующих уровня вакуума до 5e-2 торр, что делает ее пригодной для использования в чистых помещениях.
• Настраиваемые параметры управления: Помимо стандартной ПИД-конфигурации, этот блок может быть модернизирован контроллерами Eurotherm серии 3000 и программным обеспечением на базе Labview для расширенного редактирования рецептов и автоматизированной регистрации данных.

Наша техническая команда готова помочь с индивидуальными конфигурациями или специфическими требованиями к процессам, чтобы гарантировать, что эта система точно соответствует вашим потребностям в НИОКР или производстве. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы получить подробное коммерческое предложение или обсудить ваши требования к термической обработке.