Трубчатая печь
Однозонная трубчатая печь, кварцевая трубка 5 дюймов, зона нагрева 36 дюймов, вакуумные фланцы
Артикул: TU-31
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для передовых исследований материалов и промышленных процессов термообработки, требующих реакционной камеры большого диаметра и длинной, равномерной зоны нагрева. Печь выполнена в разъемном (split-type) однозонном исполнении, что обеспечивает легкий доступ к рабочей трубке, упрощает загрузку и выгрузку образцов, а также облегчает техническое обслуживание. Ее основное преимущество заключается в способности поддерживать высокостабильную тепловую среду до 1200°C, что делает ее незаменимым инструментом для лабораторий и производственных предприятий, занимающихся полупроводниковыми технологиями, металлургией и керамическим производством.
Оборудование специально оптимизировано для процессов высокой чистоты, включая вакуумный отжиг, газофазную диффузию и твердофазное спекание. Использование кварцевой трубки диаметром 5 дюймов позволяет размещать более крупные подложки или большие объемы мелких образцов по сравнению со стандартными лабораторными печами. Она особенно хорошо подходит для обработки 4-дюймовых пластин, обеспечивая необходимую термическую равномерность и контроль атмосферы, требуемые для деликатных процедур окисления и легирования в электронной промышленности.
Надежность лежит в основе конструкции данного устройства. Система, созданная с использованием компонентов промышленного класса и сверхпрочного двухслойного стального корпуса, способна работать непрерывно в сложных условиях. Интеграция передовой технологии воздушного охлаждения гарантирует, что внешний корпус остается безопасным для прикосновения даже во время высокотемпературных циклов, защищая как оператора, так и окружающую лабораторную инфраструктуру. Данное устройство представляет собой надежную инвестицию для организаций, ставящих во главу угла техническую точность и долгосрочную эксплуатационную стабильность.
Ключевые особенности
- Прецизионное управление температурой: Система использует сертифицированный MET цифровой контроллер с 30 программируемыми сегментами. Это позволяет тщательно контролировать скорость нагрева, охлаждения и время выдержки, обеспечивая воспроизводимые результаты в сложных термических циклах.
- Кварцевая камера большой емкости: Благодаря кварцевой трубке с внешним диаметром 130 мм устройство обеспечивает просторную среду для масштабных экспериментов. Высококачественный кварц обладает исключительной стойкостью к тепловому удару и химической инертностью для обеспечения высокой чистоты атмосферы.
- Улучшенная теплоизоляция: Для максимальной энергоэффективности используется высокочистая волокнистая глиноземная изоляция. Этот первоклассный огнеупорный материал минимизирует потери тепла, позволяя системе достигать и поддерживать пиковые температуры при меньшем энергопотреблении.
- Надежная система вакуумного уплотнения: В комплект оборудования входит пара вакуумных фланцев из нержавеющей стали 304, оснащенных двойными высокотемпературными силиконовыми уплотнительными кольцами. Эта сборка обеспечивает герметичность, позволяющую достичь уровня вакуума до 10^-5 торр при использовании молекулярного насоса.
- Мощные нагревательные элементы: Печь оснащена нагревательными элементами из сплава Fe-Cr-Al, легированного молибденом. Эти элементы рассчитаны на длительный срок службы и стабильное тепловое излучение даже при частых высокотемпературных циклах.
- Встроенная безопасность и мониторинг: Встроенная функция PID-автонастройки в сочетании с защитой от перегрева и аварийными сигналами об обрыве термопары обеспечивает безопасную работу без постоянного присмотра. Встроенный манометр обеспечивает мониторинг внутренней среды трубки в режиме реального времени.
- Конструкция разъемной печи: Разъемная конструкция корпуса на петлях позволяет открывать верхнюю половину печи, обеспечивая мгновенный доступ к зоне нагрева и кварцевой трубке. Эта функция критически важна для быстрого охлаждения или точного позиционирования внутренних компонентов.
- Масштабируемый коммуникационный порт: Оснащенная портом связи RS485, система может быть интегрирована в лабораторные сети для удаленного мониторинга и регистрации данных, поддерживая современные стандарты Индустрии 4.0 для цифровой прослеживаемости.
- Эффективное внешнее охлаждение: Двухслойный стальной корпус с активным воздушным охлаждением поддерживает температуру внешней поверхности ниже 60°C, обеспечивая комфортные условия труда и защищая внутреннюю электронику от тепловой усталости.
- Настраиваемая среда обработки: Устройство поддерживает различные входы и выходы газа через игольчатые клапаны на фланцах, позволяя исследователям вводить защитные или реакционные газы, такие как азот, аргон или формирующий газ, во время процесса нагрева.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Окисление полупроводников | Выращивание оксидных слоев на 4-дюймовых кремниевых пластинах в контролируемой кислородной среде при высоких температурах. | Высокая термическая равномерность обеспечивает стабильную толщину оксида по всей поверхности пластины. |
| Вакуумный отжиг | Снятие внутренних напряжений в металлических сплавах или стеклянных компонентах путем нагрева в среде высокого вакуума для предотвращения окисления. | Предотвращает изменение цвета поверхности и сохраняет чистоту материала благодаря превосходной герметичности. |
| Исследования CVD | Использование в качестве реакционной камеры для химического осаждения из газовой фазы графена, углеродных нанотрубок или тонкопленочных покрытий. | Большой диаметр трубки 5 дюймов обеспечивает стабильность потока газа-прекурсора и возможность обработки крупных подложек. |
| Спекание керамики | Консолидация керамических порошковых прессовок в плотные, высокопрочные компоненты при температурах до 1100°C. | Точное 30-сегментное программирование предотвращает тепловой удар и растрескивание во время критических фаз охлаждения. |
| Диффузионное легирование | Введение примесей-легирующих добавок в полупроводниковые материалы путем газофазной или твердофазной диффузии. | Разъемная конструкция печи позволяет осуществлять быструю закалку или точное соблюдение времени процесса диффузии. |
| Кальцинация материалов | Термическое разложение сырья для удаления летучих фракций или инициирования фазовых переходов. | Волокнистая глиноземная изоляция обеспечивает термическую стабильность, необходимую для длительных циклов кальцинации. |
| НИОКР материалов для аккумуляторов | Синтез и термообработка порошков катодов или анодов в атмосфере инертного газа. | Интегрированная система подачи газа и контроля давления обеспечивает безопасную обработку чувствительных химических составов. |
| Спекание в атмосфере | Термообработка специализированных сплавов в среде азота или аргона для достижения специфических металлургических свойств. | Надежные клапаны подачи/выпуска газа и фланцы SS304 гарантируют чистоту атмосферы без утечек. |
Технические характеристики
| Категория характеристик | Параметры (Модель: TU-26) |
|---|---|
| Конфигурация зоны нагрева | Однозонная разъемная печь |
| Макс. рабочая температура | 1200°C (длительностью < 5 часов) в инертной атмосфере |
| Температура непрерывной работы | 1100°C |
| Длина зоны нагрева | 880 мм (прибл. 34.6 дюйма) |
| Зона постоянной температуры | 240 мм (±1°C) |
| Скорость нагрева | ≤ 20°C в минуту |
| Нагревательные элементы | Сплав Fe-Cr-Al, легированный молибденом |
| Стандартная рабочая трубка | Кварцевое стекло: 130 мм наруж. x 120 мм внутр. x 1400 мм длина |
| Дополнительные размеры трубок | Доступны диаметры 80 мм и 100 мм |
| Контроль температуры | PID-контроллер, сертифицированный MET, 30 программируемых сегментов |
| Точность температуры | ± 1°C |
| Термопара | Тип K |
| Выходная мощность | 7.0 кВт |
| Входное напряжение | AC 208-240В, однофазное, 50/60 Гц |
| Уровень вакуума | 10^-2 торр (механический насос); до 10^-5 торр (молекулярный насос) |
| Вакуумные фланцы | Пара SS304 с двойными силиконовыми кольцами и игольчатыми клапанами |
| Структура корпуса | Двухслойная сталь с воздушным охлаждением (темп. поверхности ≤ 60°C) |
| Изоляционный материал | Высокочистый волокнистый глинозем с огнеупорным покрытием |
| Связь | Порт RS485 (опционально ПО MTS02-Y и ноутбук) |
| Функции безопасности | Защита от перегрева, сигнал обрыва термопары, PID-автонастройка |
Почему стоит выбрать TU-26
- Доказанная термическая стабильность: Система разработана для обеспечения высокостабильной зоны постоянной температуры 240 мм, гарантируя, что ваши образцы будут находиться в равномерных тепловых условиях на протяжении всего цикла обработки.
- Премиальное качество сборки: От высокочистой глиноземной изоляции до вакуумных фланцев из нержавеющей стали 304 — каждый компонент выбран за его способность выдерживать суровые условия высокотемпературных промышленных НИОКР.
- Универсальная интеграция: Благодаря опциям сдвижных фланцев, передовым контроллерам Eurotherm (точность ±0.1°C) и специализированным комплектам вакуумных насосов, это оборудование может быть адаптировано под специфические требования любой лаборатории материаловедения.
- Безопасность прежде всего: Двухслойный стальной корпус и передовые системы сигнализации обеспечивают спокойствие, позволяя проводить длительную обработку без постоянного контроля, увеличивая производительность вашего объекта.
- Масштабируемость для промышленности: Сочетание большой 5-дюймовой кварцевой трубки и высокой мощности делает эту печь подходящей как для начальных академических исследований, так и для мелкосерийного промышленного производства.
Для получения дополнительной информации о TU-26 или запроса индивидуального коммерческого предложения под ваши конкретные задачи термической обработки, пожалуйста, свяжитесь с нашей командой технических специалистов уже сегодня.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная трубчатая печь из оксида алюминия 1700°C с зоной нагрева 18 дюймов и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта профессиональная трубчатая печь на 1700°C оснащена восемнадцатидюймовой зоной нагрева и трубками из высокочистого оксида алюминия для передовых исследований материалов. Разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, она обеспечивает исключительную термическую стабильность и надежность для сложных лабораторных процессов.
Компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь 1800°C с трубкой из оксида алюминия (внешний диаметр 60 мм) и нагревательными элементами Kanthal MoSi2
Эта компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь (1800°C) оснащена первоклассными нагревательными элементами Kanthal и трубкой из оксида алюминия с внешним диаметром 60 мм. Разработанная для исследований материалов и процессов спекания, она обеспечивает прецизионную термическую обработку в вакууме или контролируемой атмосфере для лабораторных НИОКР.
Высокотемпературная трубчатая печь 1200°C с разъемным корпусом, откидными вакуумными фланцами и кварцевой трубкой 4 дюйма для лабораторных исследований
Эта трубчатая печь с разъемным корпусом (1200°C) оснащена откидными вакуумными фланцами и четырехдюймовой кварцевой трубкой для удобной загрузки образцов. Разработанная для прецизионной термической обработки, она обеспечивает исключительную равномерность температуры и вакуумные характеристики для передовых исследований в области материаловедения и промышленных НИОКР.
Компактная трубчатая печь разъемного типа со встроенной вакуумной системой и прецизионным калибратором температуры
Расширьте возможности своих исследований материалов с помощью этой высокопроизводительной компактной трубчатой печи разъемного типа, оснащенной встроенной вакуумной системой и прецизионным калибратором температуры. Получите превосходную тепловую однородность при температурах до 1200°C для сложных лабораторных задач и передовых промышленных процессов термообработки с высокой точностью.
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с системой турбомолекулярного насоса высокого вакуума и многоканальным газовым смесителем с контроллерами массового расхода
Эта современная высокотемпературная трубчатая печь (1700°C) объединяет прецизионную систему турбомолекулярного высоковакуумного насоса и многоканальный газовый смеситель с контроллерами массового расхода, обеспечивая исключительную производительность для сложных процессов CVD, диффузии и материаловедческих исследований в требовательных промышленных R&D средах.
Высокотемпературная автоматизированная трубчатая печь 5 дюймов для автономных исследований материалов и передовых лабораторных НИОКР
Ускорьте синтез материалов с помощью этой автоматизированной трубчатой печи на 1200 °C, оснащённой прецизионным вакуумным контролем, высокочистым кварцевым процессным трактом и интеграцией, готовой к удалённой работе, для исследований с высокой пропускной способностью на базе ИИ и автономных лабораторных приложений в требовательных промышленных секторах материаловедения и передовых рабочих процессах НИОКР.
Высокотемпературная настольная вакуумная трубчатая печь с атмосферным контролем 1750°C с нагревательными элементами Kanthal Super 1800 и процессной трубкой из оксида алюминия 60 мм
Высокопроизводительная вакуумная трубчатая печь 1750°C с нагревательными элементами Kanthal Super-1800 и высокочистой трубкой из оксида алюминия. Идеально подходит для точных исследований материалов, эта система обеспечивает точность ±1°C и программируемое 30-сегментное управление для требовательной лабораторной термообработки и спекания в контролируемой атмосфере.
Трубчатая печь 1100°C с вакуумным фланцем и программируемым контроллером температуры для материаловедения и промышленной термообработки
Оптимизируйте лабораторную термообработку с помощью этой универсальной трубчатой печи на 1100°C, оснащенной программируемым ПИД-контроллером и высоковакуумными фланцами. Разработанная для прецизионного синтеза материалов и промышленных НИОКР, она предлагает гибкость ориентации (горизонтальная/вертикальная) и стабильную равномерность температуры для самых требовательных задач.
Компактная разъемная трубчатая печь 1250°C с нагревательной зоной 8 дюймов и программируемым контроллером
Оптимизируйте ваши передовые материалыедческие исследования с этой компактной разъемной трубчатой печью 1250°C, оснащенной точным 30-сегментным программируемым контроллером и нагревательной зоной 8 дюймов для высокоточной энергоэффективной термообработки в сложных лабораторных или промышленных средах НИОКР и научных пилотных исследованиях.
Высокотемпературная гибридная муфельная и трубчатая печь с возможностью вакуумирования и ПИД-регулированием
Эта гибридная муфельная и трубчатая печь с рабочей температурой до 1200°C представляет собой универсальное решение «2-в-1» для точной обработки материалов. Благодаря камере 6x6x7 дюймов и опциям использования кварцевых трубок, она поддерживает работу в вакууме или атмосферной среде, обеспечивая исключительную надежность для высокотемпературных лабораторных исследований.
Компактная высоковакуумная трубчатая печь 1200°C со встроенной турбомолекулярной насосной системой и зоной нагрева 8 дюймов
Эта компактная высоковакуумная трубчатая печь 1200°C оснащена встроенной турбомолекулярной насосной системой, обеспечивающей вакуум 10^-5 торр. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения; она предлагает точное ПИД-управление, зону нагрева 8 дюймов и прочную кварцевую трубку для обработки.
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Шестизонная трубчатая печь разъемного типа с глиноземной трубкой и вакуумными фланцами для высокотемпературной обработки до 1500°C и CVD-процессов
Эта шестизонная трубчатая печь разъемного типа с рабочей температурой 1500°C обеспечивает исключительный тепловой контроль для профессиональных лабораторных исследований и высокотемпературных CVD-процессов. Оснащена глиноземной трубкой длиной 1800 мм и точными 30-сегментными ПИД-контроллерами для достижения стабильных результатов обработки материалов и отжига.
Высокотемпературная 1700C шестизонная разъёмная трубчатая печь с трубкой из оксида алюминия и фланцами с водяным охлаждением
Точная шестизонная разъёмная трубчатая печь 1700C, разработанная для исследований материалов и промышленных процессов осаждения из паровой фазы. Эта универсальная система обеспечивает независимое управление температурой в каждой зоне и фланцы, готовые к вакуумной работе, для стабильной термообработки и выполнения передовых задач по разработке материалов, обеспечивая максимальную производительность.
Десятизонная лабораторная трубчатая печь многоориентационного типа для высокотемпературной градиентной термообработки при 1200°C
Оптимизированная для сложных термических профилей, эта десятизонная печь обеспечивает точное регулирование температуры до 1200°C как в горизонтальном, так и в вертикальном положении. Идеально подходит для научно-исследовательских разработок в области материаловедения, требующих крупномасштабных температурных градиентов и надежной обработки в контролируемой атмосфере в системе с общей длиной нагрева 1470 мм.
Высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь для исследования материалов и процессов CVD
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой высокоточной двухзонной вакуумной трубчатой печи. Разработанная для передовых исследований материалов и процессов CVD, она оснащена независимым контролем температуры, высокой скоростью нагрева и надежной вакуумной герметизацией для получения стабильных результатов термообработки промышленного уровня.
Вертикальная вакуумная трубчатая печь 1700°C с атмосферой и глиноземной трубкой 80 мм
Эта высокоточная вертикальная трубчатая печь обеспечивает исключительную температурную равномерность до 1700°C для синтеза материалов. Благодаря 80-миллиметровой глиноземной трубке и усовершенствованным вакуумным уплотнительным фланцам, она создает стабильную атмосферу для требовательных промышленных НИОКР и специализированных процессов термообработки.
Многопозиционная трубчатая печь 1100°C для лабораторных исследований материалов и передовой промышленной термической обработки
Эта многопозиционная трубчатая печь обеспечивает прецизионный нагрев до 1100°C с возможностью вертикальной и горизонтальной ориентации. Разработанная для передовых исследований материалов, она оснащена 30-сегментным ПИД-контроллером и высокочистой волокнистой изоляцией для исключительной термической стабильности и надежной работы в промышленных лабораториях.
Вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C, 5 дюймов, с вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Высокопроизводительная вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C с рабочей камерой диаметром 5 дюймов и вакуумными фланцами из нержавеющей стали. Прецизионное 30-сегментное ПИД-управление обеспечивает точность термической обработки для НИОКР в области материаловедения, CVD-процессов и специализированных задач закалки в контролируемой атмосфере.
Трёхзонная разъемная трубчатая печь, длина зоны нагрева 36 дюймов, высокотемпературная 1200°C исследовательская печь для материалов с вакуумными фланцами
Точно спроектированная трёхзонная разъемная трубчатая печь для высокотемпературной обработки при 1200°C. Оснащена усовершенствованным ПИД-регулированием для работы в атмосфере и в вакууме в исследованиях материалов, обеспечивая исключительную термостабильность и надёжную работу в промышленных лабораторных условиях и научно-исследовательских учреждениях.