Трубчатая печь
Однозонная трубчатая печь, кварцевая трубка 5 дюймов, зона нагрева 36 дюймов, вакуумные фланцы
Артикул: TU-31
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для передовых исследований материалов и промышленных процессов термообработки, требующих реакционной камеры большого диаметра и длинной, равномерной зоны нагрева. Печь выполнена в разъемном (split-type) однозонном исполнении, что обеспечивает легкий доступ к рабочей трубке, упрощает загрузку и выгрузку образцов, а также облегчает техническое обслуживание. Ее основное преимущество заключается в способности поддерживать высокостабильную тепловую среду до 1200°C, что делает ее незаменимым инструментом для лабораторий и производственных предприятий, занимающихся полупроводниковыми технологиями, металлургией и керамическим производством.
Оборудование специально оптимизировано для процессов высокой чистоты, включая вакуумный отжиг, газофазную диффузию и твердофазное спекание. Использование кварцевой трубки диаметром 5 дюймов позволяет размещать более крупные подложки или большие объемы мелких образцов по сравнению со стандартными лабораторными печами. Она особенно хорошо подходит для обработки 4-дюймовых пластин, обеспечивая необходимую термическую равномерность и контроль атмосферы, требуемые для деликатных процедур окисления и легирования в электронной промышленности.
Надежность лежит в основе конструкции данного устройства. Система, созданная с использованием компонентов промышленного класса и сверхпрочного двухслойного стального корпуса, способна работать непрерывно в сложных условиях. Интеграция передовой технологии воздушного охлаждения гарантирует, что внешний корпус остается безопасным для прикосновения даже во время высокотемпературных циклов, защищая как оператора, так и окружающую лабораторную инфраструктуру. Данное устройство представляет собой надежную инвестицию для организаций, ставящих во главу угла техническую точность и долгосрочную эксплуатационную стабильность.
Ключевые особенности
- Прецизионное управление температурой: Система использует сертифицированный MET цифровой контроллер с 30 программируемыми сегментами. Это позволяет тщательно контролировать скорость нагрева, охлаждения и время выдержки, обеспечивая воспроизводимые результаты в сложных термических циклах.
- Кварцевая камера большой емкости: Благодаря кварцевой трубке с внешним диаметром 130 мм устройство обеспечивает просторную среду для масштабных экспериментов. Высококачественный кварц обладает исключительной стойкостью к тепловому удару и химической инертностью для обеспечения высокой чистоты атмосферы.
- Улучшенная теплоизоляция: Для максимальной энергоэффективности используется высокочистая волокнистая глиноземная изоляция. Этот первоклассный огнеупорный материал минимизирует потери тепла, позволяя системе достигать и поддерживать пиковые температуры при меньшем энергопотреблении.
- Надежная система вакуумного уплотнения: В комплект оборудования входит пара вакуумных фланцев из нержавеющей стали 304, оснащенных двойными высокотемпературными силиконовыми уплотнительными кольцами. Эта сборка обеспечивает герметичность, позволяющую достичь уровня вакуума до 10^-5 торр при использовании молекулярного насоса.
- Мощные нагревательные элементы: Печь оснащена нагревательными элементами из сплава Fe-Cr-Al, легированного молибденом. Эти элементы рассчитаны на длительный срок службы и стабильное тепловое излучение даже при частых высокотемпературных циклах.
- Встроенная безопасность и мониторинг: Встроенная функция PID-автонастройки в сочетании с защитой от перегрева и аварийными сигналами об обрыве термопары обеспечивает безопасную работу без постоянного присмотра. Встроенный манометр обеспечивает мониторинг внутренней среды трубки в режиме реального времени.
- Конструкция разъемной печи: Разъемная конструкция корпуса на петлях позволяет открывать верхнюю половину печи, обеспечивая мгновенный доступ к зоне нагрева и кварцевой трубке. Эта функция критически важна для быстрого охлаждения или точного позиционирования внутренних компонентов.
- Масштабируемый коммуникационный порт: Оснащенная портом связи RS485, система может быть интегрирована в лабораторные сети для удаленного мониторинга и регистрации данных, поддерживая современные стандарты Индустрии 4.0 для цифровой прослеживаемости.
- Эффективное внешнее охлаждение: Двухслойный стальной корпус с активным воздушным охлаждением поддерживает температуру внешней поверхности ниже 60°C, обеспечивая комфортные условия труда и защищая внутреннюю электронику от тепловой усталости.
- Настраиваемая среда обработки: Устройство поддерживает различные входы и выходы газа через игольчатые клапаны на фланцах, позволяя исследователям вводить защитные или реакционные газы, такие как азот, аргон или формирующий газ, во время процесса нагрева.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Окисление полупроводников | Выращивание оксидных слоев на 4-дюймовых кремниевых пластинах в контролируемой кислородной среде при высоких температурах. | Высокая термическая равномерность обеспечивает стабильную толщину оксида по всей поверхности пластины. |
| Вакуумный отжиг | Снятие внутренних напряжений в металлических сплавах или стеклянных компонентах путем нагрева в среде высокого вакуума для предотвращения окисления. | Предотвращает изменение цвета поверхности и сохраняет чистоту материала благодаря превосходной герметичности. |
| Исследования CVD | Использование в качестве реакционной камеры для химического осаждения из газовой фазы графена, углеродных нанотрубок или тонкопленочных покрытий. | Большой диаметр трубки 5 дюймов обеспечивает стабильность потока газа-прекурсора и возможность обработки крупных подложек. |
| Спекание керамики | Консолидация керамических порошковых прессовок в плотные, высокопрочные компоненты при температурах до 1100°C. | Точное 30-сегментное программирование предотвращает тепловой удар и растрескивание во время критических фаз охлаждения. |
| Диффузионное легирование | Введение примесей-легирующих добавок в полупроводниковые материалы путем газофазной или твердофазной диффузии. | Разъемная конструкция печи позволяет осуществлять быструю закалку или точное соблюдение времени процесса диффузии. |
| Кальцинация материалов | Термическое разложение сырья для удаления летучих фракций или инициирования фазовых переходов. | Волокнистая глиноземная изоляция обеспечивает термическую стабильность, необходимую для длительных циклов кальцинации. |
| НИОКР материалов для аккумуляторов | Синтез и термообработка порошков катодов или анодов в атмосфере инертного газа. | Интегрированная система подачи газа и контроля давления обеспечивает безопасную обработку чувствительных химических составов. |
| Спекание в атмосфере | Термообработка специализированных сплавов в среде азота или аргона для достижения специфических металлургических свойств. | Надежные клапаны подачи/выпуска газа и фланцы SS304 гарантируют чистоту атмосферы без утечек. |
Технические характеристики
| Категория характеристик | Параметры (Модель: TU-26) |
|---|---|
| Конфигурация зоны нагрева | Однозонная разъемная печь |
| Макс. рабочая температура | 1200°C (длительностью < 5 часов) в инертной атмосфере |
| Температура непрерывной работы | 1100°C |
| Длина зоны нагрева | 880 мм (прибл. 34.6 дюйма) |
| Зона постоянной температуры | 240 мм (±1°C) |
| Скорость нагрева | ≤ 20°C в минуту |
| Нагревательные элементы | Сплав Fe-Cr-Al, легированный молибденом |
| Стандартная рабочая трубка | Кварцевое стекло: 130 мм наруж. x 120 мм внутр. x 1400 мм длина |
| Дополнительные размеры трубок | Доступны диаметры 80 мм и 100 мм |
| Контроль температуры | PID-контроллер, сертифицированный MET, 30 программируемых сегментов |
| Точность температуры | ± 1°C |
| Термопара | Тип K |
| Выходная мощность | 7.0 кВт |
| Входное напряжение | AC 208-240В, однофазное, 50/60 Гц |
| Уровень вакуума | 10^-2 торр (механический насос); до 10^-5 торр (молекулярный насос) |
| Вакуумные фланцы | Пара SS304 с двойными силиконовыми кольцами и игольчатыми клапанами |
| Структура корпуса | Двухслойная сталь с воздушным охлаждением (темп. поверхности ≤ 60°C) |
| Изоляционный материал | Высокочистый волокнистый глинозем с огнеупорным покрытием |
| Связь | Порт RS485 (опционально ПО MTS02-Y и ноутбук) |
| Функции безопасности | Защита от перегрева, сигнал обрыва термопары, PID-автонастройка |
Почему стоит выбрать TU-26
- Доказанная термическая стабильность: Система разработана для обеспечения высокостабильной зоны постоянной температуры 240 мм, гарантируя, что ваши образцы будут находиться в равномерных тепловых условиях на протяжении всего цикла обработки.
- Премиальное качество сборки: От высокочистой глиноземной изоляции до вакуумных фланцев из нержавеющей стали 304 — каждый компонент выбран за его способность выдерживать суровые условия высокотемпературных промышленных НИОКР.
- Универсальная интеграция: Благодаря опциям сдвижных фланцев, передовым контроллерам Eurotherm (точность ±0.1°C) и специализированным комплектам вакуумных насосов, это оборудование может быть адаптировано под специфические требования любой лаборатории материаловедения.
- Безопасность прежде всего: Двухслойный стальной корпус и передовые системы сигнализации обеспечивают спокойствие, позволяя проводить длительную обработку без постоянного контроля, увеличивая производительность вашего объекта.
- Масштабируемость для промышленности: Сочетание большой 5-дюймовой кварцевой трубки и высокой мощности делает эту печь подходящей как для начальных академических исследований, так и для мелкосерийного промышленного производства.
Для получения дополнительной информации о TU-26 или запроса индивидуального коммерческого предложения под ваши конкретные задачи термической обработки, пожалуйста, свяжитесь с нашей командой технических специалистов уже сегодня.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Трёхзонная разъемная трубчатая печь, длина зоны нагрева 36 дюймов, высокотемпературная 1200°C исследовательская печь для материалов с вакуумными фланцами
Точно спроектированная трёхзонная разъемная трубчатая печь для высокотемпературной обработки при 1200°C. Оснащена усовершенствованным ПИД-регулированием для работы в атмосфере и в вакууме в исследованиях материалов, обеспечивая исключительную термостабильность и надёжную работу в промышленных лабораторных условиях и научно-исследовательских учреждениях.
Вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C, 5 дюймов, с вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Высокопроизводительная вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C с рабочей камерой диаметром 5 дюймов и вакуумными фланцами из нержавеющей стали. Прецизионное 30-сегментное ПИД-управление обеспечивает точность термической обработки для НИОКР в области материаловедения, CVD-процессов и специализированных задач закалки в контролируемой атмосфере.
Кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C с зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением
Эта кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C оснащена зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением для точной обработки методом CVD. Идеально подходит для материаловедческих исследований и промышленных НИОКР, обеспечивая исключительную термическую стабильность и надежные тепловые характеристики.
Трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 11 или 15 дюймов и шарнирными фланцами для термообработки в вакуумной атмосфере
Достигните превосходной тепловой однородности с этой трехзонной трубчатой печью, оснащенной кварцевыми трубами диаметром 11 или 15 дюймов для крупномасштабного отжига пластин и синтеза материалов при точном вакуумном контроле, с электроприводом крышки для обеспечения безопасности в промышленных лабораторных условиях.
Трехзонная трубчатая печь с длиной нагрева 24 дюйма и системой кварцевых трубок с откидными фланцами
Эта профессиональная трехзонная трубчатая печь оснащена зоной нагрева длиной 24 дюйма и откидными фланцами для эффективной загрузки образцов. Оптимизированная для процессов при температуре 1200°C, она обеспечивает точную равномерность температуры и совместимость с вакуумом для передовых промышленных исследований материалов.
Пятизонная разъемная вертикальная трубчатая печь, макс. 1200°C, с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Эта высокопроизводительная пятизонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1200°C оснащена пятью независимыми зонами нагрева и кварцевой трубкой диаметром 4 дюйма, обеспечивая исключительную равномерность температуры и возможность быстрого закаливания для передовых исследований материалов и промышленной термообработки.
Двухзонная ИК-печь для быстрого термического отжига (RTP) с кварцевой трубкой (внутренний диаметр 4 дюйма) и подвижными держателями образцов
Высокопроизводительная двухзонная ИК-печь RTP с кварцевой трубкой (внутренний диаметр 4 дюйма) и двумя подвижными держателями образцов. Обеспечивает скорость нагрева до 50°C/с для передовых исследований в области синтеза 2D-материалов, сверхпроводимости и прецизионного высокоскоростного осаждения из паровой фазы.
24-дюймовая трехзонная разъемная трубчатая печь с дополнительной кварцевой трубкой и системой вакуумных фланцев для высокотемпературного синтеза материалов
Ускорьте исследования материалов с помощью этой премиальной 24-дюймовой трехзонной разъемной трубчатой печи. Благодаря независимому контролю температуры, совместимости с кварцевой трубкой и вакуумным фланцам она обеспечивает точную термообработку до 1200°C для требовательных лабораторных и промышленных задач НИОКР.
Шестизонная разъемная трубчатая печь, 1,8-метровая кварцевая трубка, высокотемпературная система нагрева до 1200°C
Эта высокотемпературная шестизонная разъемная трубчатая печь предлагает гибкие температурные градиенты и 1,8-метровые зоны нагрева. Система оснащена функциями вакуумной совместимости при максимальной температуре 1200°C и шестью ПИД-контроллерами для передовых исследований материалов и промышленных процессов термообработки.
Пятизонная высокотемпературная разъемная трубчатая печь 1200 °C с сенсорным контроллером и несколькими вариантами кварцевых труб
Высокопроизводительная пятизонная трубчатая печь 1200 °C, разработанная для точных температурных градиентов и контроля атмосферы. Эта система обеспечивает интуитивно понятное программирование через сенсорный экран и возможности вакуумного уплотнения, способствуя стабильным результатам в сложных процессах спекания, отжига и синтеза материалов.
Трехзонная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и вакуумными фланцами для обработки больших пластин
Прецизионная трехзонная трубчатая печь на 1100°C, оснащенная массивными кварцевыми трубками внешним диаметром от 8,5 до 11 дюймов и герметичными фланцами. Разработана для крупномасштабной обработки пластин и передовых исследований материалов, обеспечивая превосходную температурную однородность и совместимость с высоким вакуумом для промышленных НИОКР и производственных задач.
Удлиненная двухзонная трубчатая печь для промышленных термообработок и исследований в области материаловедения
Эта удлиненная двухзонная трубчатая печь оснащена шведскими нагревательными элементами Kanthal A1 и усовершенствованной ПИД-системой управления для точных материаловедческих исследований. Благодаря возможности работы в вакууме и защитной среде, она обеспечивает превосходную температурную однородность и надежность для требовательных промышленных лабораторных процессов термообработки.
5-дюймовая двухзонная ротационная трубчатая печь 1100°C для порошкового CVD и синтеза материалов
Повысьте эффективность исследований материалов с нашей высокоточной двухзонной ротационной трубчатой печью 1100°C. Специально разработанная для равномерного порошкового CVD и синтеза ядро-оболочка, эта 5-дюймовая кварцевая система обеспечивает расширенный контроль атмосферы и оптимизацию независимой двухзонной термообработки.
Высокотемпературная удлиненная двухзонная трубчатая печь для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Улучшите свои исследования материалов с помощью этой высокопроизводительной удлиненной двухзонной трубчатой печи. Благодаря использованию шведских нагревательных элементов Kanthal A1 и передового ПИД-регулирования, печь обеспечивает исключительную равномерность нагрева до 1200°C для сложных лабораторных и промышленных научно-исследовательских задач в современной инженерии.
Трехзонная разъемная трубчатая печь 1200°C с длиной нагрева 18 дюймов и вакуумными фланцами
Оптимизируйте термообработку с помощью этой трехзонной разъемной трубчатой печи 1200°C. Благодаря длине нагрева 18 дюймов и точному ПИД-регулированию она обеспечивает исключительную равномерность температуры для современных исследований материалов, отжига, спекания и профессиональных промышленных научно-исследовательских работ в лабораториях по всему миру.
Большая вертикальная трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 8 или 11 дюймов и высоковакуумными фланцами, 1200°C
Наша спроектированная высокопроизводительная вертикальная трехзонная печь предлагает независимое термическое управление и совместимость с массивной 11-дюймовой кварцевой трубой, обеспечивая превосходную равномерность и повышенную вакуумную герметичность для критических промышленных процессов отжига, спекания, исследований и разработки современного материаловедения в требовательных лабораторных условиях
10-зонная трубчатая печь с разъемом (split tube) 1200°C с возможностью горизонтального и вертикального монтажа для создания многозонных температурных градиентов и обработки материалов большого диаметра
Усовершенствованная 10-зонная трубчатая печь с разъемом (split tube) 1200°C, обеспечивающая непревзойденный контроль температурного градиента благодаря десяти независимым зонам нагрева и универсальному горизонтальному или вертикальному монтажу. Разработана для точного промышленного моделирования, синтеза материалов и высокопроизводительных лабораторных исследований и разработок с исключительной надежностью.
Трубчатая печь высокой температуры 1700°C с тремя зонами нагрева и трубой из оксида алюминия с наружным диаметром 50, 60, 80 мм для материаловедческих исследований и промышленной термообработки
Эта высокопроизводительная трехзонная трубчатая печь 1700°C оснащена точными трубами из оксида алюминия и независимым управлением нагревом. Разработана для современных материаловедческих исследований, обеспечивает исключительную тепловую однородность и стабильность при проведении химического осаждения из газовой фазы и сложных процессов промышленной термообработки в контролируемой атмосфере.
Высокотемпературная трехзонная разъемная трубчатая печь, макс. 1200°C, длина нагрева 35,4 дюйма, внутренний диаметр трубки 8 дюймов
Эта высокопроизводительная трехзонная разъемная трубчатая печь оснащена зоной нагрева длиной 35,4 дюйма и трубкой диаметром 8 дюймов для передовой термической обработки. Достигайте пиковых температур 1200°C с независимым управлением зонами для превосходной равномерности нагрева в вакуумной или газовой среде.
12-зонная сверхдлинная трубчатая печь с кварцевой трубкой длиной 20 футов (6 м) и максимальной температурой 1100°C
Эта высокоточная 12-зонная трубчатая печь с разъемным корпусом предлагает зону нагрева длиной шесть метров и максимальную температуру 1100°C для работы с длинномерными образцами. Благодаря независимому ПИД-регулированию и фланцам для работы в вакууме, она обеспечивает исключительную равномерность нагрева для передовых исследований в области материаловедения и НИОКР.
