Четырехзонная трубчатая печь 1100°C с кварцевой трубкой большого диаметра 600 мм и вакуумными фланцами

Обзор продукта

Эта высокопроизводительная четырехзонная трубчатая печь представляет собой вершину инженерной мысли в области термической обработки, специально разработанную для размещения крупногабаритных образцов материалов и 8-дюймовых пластин. Благодаря использованию массивной кварцевой трубки высокой чистоты диаметром 600 мм (24 дюйма), система обеспечивает обширное пространство для специализированной термообработки, требующей как объема, так и точности. Основная ценность этого оборудования заключается в его многозонной конфигурации, которая позволяет осуществлять сложный контроль над температурными градиентами, что делает его незаменимым инструментом для передового химического осаждения из газовой фазы (CVD), отжига и процессов спекания, где равномерность имеет первостепенное значение.

Ориентированное на промышленные научно-исследовательские центры и лаборатории материаловедения, это оборудование превосходно справляется с различными атмосферными условиями. Независимо от того, работает ли система в условиях высокого вакуума или в специфических средах защитных газов, она сохраняет свою целостность благодаря надежной конструкции. Двухслойный стальной корпус со встроенным воздушным охлаждением гарантирует, что в то время как внутренняя камера достигает высоких температур, внешняя поверхность остается безопасной для операторов, способствуя продуктивной и безопасной лабораторной среде. Данная установка оптимизирована для синтеза новых материалов, предлагая исследователям гибкость в моделировании сложных промышленных условий производства на лабораторном или пилотном уровне.

Надежность стоит во главе угла этой конструкции, в которой используется футеровка из огнеупорного волокнистого глинозема, обеспечивающая максимальную энергоэффективность и термическую стабильность. Система рассчитана на интенсивные промышленные рабочие циклы, обеспечивая стабильную производительность на протяжении тысяч часов работы. Благодаря способности справляться со структурным упорядочением и графитизацией современных углеродных материалов, оборудование служит надежной основой для проектов, связанных с разработкой катализаторов, исследованиями полупроводников и металлургическими испытаниями. Эта система является не просто печью, а комплексным термическим решением для инноваций в области материалов с высокими ставками.

Ключевые особенности

• Независимое управление температурой в четырех зонах: Система оснащена четырьмя отдельными зонами нагрева, каждая длиной 300 мм, что обеспечивает общую длину нагрева 1200 мм. Такая конфигурация позволяет создавать точные температурные градиенты или исключительно длинную зону постоянной температуры до 1100 мм, обеспечивая непревзойденную гибкость обработки длинных подложек или больших партий.
• Кварцевая технологическая трубка сверхбольшого диаметра: Оснащенная кварцевой трубкой высокой чистоты с внешним диаметром 600 мм (24 дюйма), эта установка специально разработана для обработки крупноформатных материалов, таких как 8-дюймовые пластины. Кварцевый материал обеспечивает отличную стойкость к тепловому удару и химическую инертность, поддерживая беззагрязненную среду для высокочистого спекания и отжига.
• Прецизионное микропроцессорное ПИД-регулирование: Каждая зона управляется выделенным цифровым контроллером с 30-сегментными программируемыми циклами и функциями самонастройки. Микропроцессорная ПИД-логика предотвращает перегрев и поддерживает точность в установившемся режиме ±1°C, что критически важно для чувствительных превращений материалов и повторяемых результатов.
• Усовершенствованное многоступенчатое вакуумное уплотнение: Система включает пару шарнирных фланцев из нержавеющей стали с водяным охлаждением, предназначенных для быстрого доступа и превосходной герметизации. Используя силиконовые уплотнительные кольца и встроенные порты KF40, печь может достигать уровней вакуума до 10-5 торр при использовании вторичных турбомолекулярных насосов, что способствует созданию сверхчистых условий обработки.
• Нагревательные элементы промышленного класса: Благодаря использованию высококачественных нагревательных элементов из проволоки сопротивления NiCrAl, печь достигает максимальной температуры нагрева 1150°C. Эти элементы выбраны за их долговечность и стабильную теплоотдачу, что обеспечивает долгосрочную надежность даже при частых термических циклах.
• Интегрированные системы безопасности и охлаждения: Двухслойный стальной корпус спроектирован с внутренним воздушным охлаждением для поддержания температуры внешней поверхности ниже 70°C. Эта конструкция защищает персонал лаборатории и предотвращает накопление тепла в помещении, а включение рециркуляционного охладителя воды (чиллера) для фланцев защищает уплотнения во время высокотемпературных циклов.
• Комплексный мониторинг и калибровка: Установка оснащена четырьмя термопарами типа K для мониторинга каждой зоны в режиме реального времени. Фланцы включают специализированные порты для вторичных калибровочных термопар, что позволяет пользователям проверять внутреннюю температуру и обеспечивать самые высокие стандарты валидации процесса и контроля качества.
• Высокоэффективная огнеупорная изоляция: Высококачественная футеровка из волокнистого глинозема минимизирует потери тепла и энергопотребление. Эта энергоэффективная конструкция в сочетании с керамическими блоками трубки эффективно удерживает излучение, фокусируя тепловую энергию в зоне обработки, а не в окружающей среде.

Применение

Почему выбирают нас

• Превосходная равномерность температуры: Четырехзонная архитектура обеспечивает исключительно большую зону постоянной температуры, что делает эту установку лучшим выбором для крупноформатных подложек и массовой обработки, где термическая стабильность определяет качество продукта.
• Надежная промышленная конструкция: Изготовленная из сверхпрочной стали, с фланцами из нержавеющей стали с водяным охлаждением и высокоэффективной изоляцией из глинозема, эта система разработана для жестких условий непрерывных НИОКР и пилотного производства.
• Исключительная герметичность вакуума: Конструкция с шарнирными фланцами в сочетании с совместимостью с высокоскоростными турбонасосами гарантирует, что исследователи могут достигать и поддерживать сверхчистую атмосферу, необходимую для высокочистого химического осаждения из газовой фазы.
• Точное проектирование и поддержка: Каждая система откалибрована по строгим стандартам и поддерживается набором доступных аксессуаров, включая системы подачи газа, детекторы утечки водорода и калибровочные комплекты для обеспечения долгосрочной точности работы.
• Настраиваемая высокопроизводительная обработка: Благодаря уникальному диаметру трубки 600 мм, эта печь заполняет нишу между стандартными лабораторными установками и промышленными печами, предлагая решение профессионального уровня для масштабирования исследований передовых материалов.

Наша техническая команда готова помочь вам в настройке идеального термического решения для ваших конкретных требований к обработке. Свяжитесь с нами сегодня для получения технической консультации или официального коммерческого предложения.