Трубчатая печь
Высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с системой турбомолекулярного насоса высокого вакуума и многоканальным газовым смесителем с контроллерами массового расхода
Артикул: TU-83
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта


Эта высокопроизводительная система термической обработки разработана для передовых материаловедческих и промышленных исследований, требующих экстремальных температур и условий сверхчистой атмосферы. Благодаря интеграции глиноземной трубчатой печи на 1700°C с высокоэффективной турбомолекулярной вакуумной станцией и прецизионным модулем подачи газа с массовым расходом, оборудование представляет собой готовое решение «под ключ» для сложных процессов химического осаждения из газовой фазы (CVD), диффузии и спекания. Прочная конструкция гарантирует исследователям получение высокоповторяемых результатов при сохранении целостности чувствительных образцов в условиях глубокого вакуума до 10^-5 Торр.
Ориентированная на производство полупроводников, аэрокосмическую промышленность и разработку передовой керамики, эта установка является связующим звеном между лабораторными экспериментами и пилотным производством. Ее универсальная архитектура позволяет точно контролировать несколько видов газов, что делает ее незаменимым инструментом для создания тонких пленок, нанопроволок и сложных 2D-материалов. Вся сборка установлена на мобильной усиленной тележке, что обеспечивает легкое перемещение и бесшовную интеграцию в существующие чистые помещения или лабораторные пространства без необходимости сложного стационарного монтажа.
Надежность лежит в основе конструкции этой печи. Использование нагревательных элементов премиум-класса из дисилицида молибдена (MoSi2) и камеры из высокочистого оксида алюминия позволяет системе выдерживать интенсивные циклы нагрева, необходимые для промышленных R&D. Двухслойный стальной корпус со встроенным вентиляторным охлаждением гарантирует, что температура внешней поверхности остается безопасной для операторов даже во время высокотемпературных операций. Этот акцент на безопасности в сочетании с высокоточным ПИД-регулированием и вакуумными компонентами немецкого производства обеспечивает долгосрочную эксплуатационную стабильность, которую требуют профессиональные отделы закупок и главные исследователи.
Основные характеристики
- Исключительный температурный диапазон: Система достигает максимальной температуры нагрева 1650°C при непрерывной рабочей температуре 1600°C, обеспечиваемой восемью высококачественными нагревательными элементами MoSi2, расположенными для оптимальной равномерности нагрева.
- Интеграция сверхвысокого вакуума: Оснащенная оригинальным турбомолекулярным насосом Pfeiffer, система достигает предельного давления <1E-7 мбар, создавая бескислородную среду, критически важную для синтеза материалов высокой чистоты и процессов, чувствительных к загрязнениям.
- Прецизионное управление массовым расходом: Встроенная станция смешивания газов оснащена 2–4 каналами цифровых контроллеров массового расхода (MFC), что позволяет точно подавать технологические газы, такие как азот, гелий или водород, с высокой повторяемостью и контролем через цифровой сенсорный экран.
- Усовершенствованная логика ПИД-регулирования: Температурный контроллер использует систему управления с фазовым углом и ограничением тока с 30 программируемыми сегментами, поддерживая точность ±1°C на всем протяжении цикла нагрева.
- Надежная конструкция камеры: В печи используется рабочая трубка из высокочистого оксида алюминия с внешним диаметром 60 мм и огнеупорная камера из высокочистого оксида алюминия для минимизации теплопотерь и предотвращения химического перекрестного загрязнения во время циклов высокотемпературного нагрева.
- Интеллектуальное управление вакуумом: Высоковакуумная станция поддерживает управление диафрагменным и турбомолекулярным насосами одной кнопкой, при этом скорость вращения автоматически регулируется в зависимости от уровня вакуума и скорости утечки.
- Улучшенные протоколы безопасности: Встроенный механизм самозащиты отслеживает перегрев и перегрузки по току, автоматически замедляя или останавливая турбину, если скорость утечки превышает безопасные пороговые значения, чтобы предотвратить повреждение насоса.
- Гибкие интерфейсные опции: Система включает порт связи RS485 и совместима с передовыми программными пакетами для удаленного управления с ПК, интеграции с LabVIEW и комплексной регистрации данных для аудита контроля качества.
Применение
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) | Синтез тонких пленок и наноматериалов, таких как графен или углеродные нанотрубки, с использованием контролируемых газовых прекурсоров. | Точный стехиометрический контроль соотношения газов обеспечивает равномерность пленки и высокое качество решетчатых структур. |
| Легирование полупроводников | Введение примесей в полупроводниковые пластины при высоких температурах для изменения электрических свойств. | Высокая герметичность вакуума предотвращает непреднамеренное окисление или загрязнение полупроводниковой подложки. |
| Спекание керамики | Консолидация керамических порошковых компактов в плотные, высокопрочные структурные компоненты при температурах до 1600°C. | Стабильные температурные зоны и трубки из высокочистого оксида алюминия предотвращают попадание примесей, ослабляющих керамическую матрицу. |
| Испытания аэрокосмических сплавов | Воздействие на передовые сплавы экстремальных тепловых сред в вакууме для имитации условий больших высот или космоса. | Точное изменение температуры и стабильность вакуума имитируют суровые условия орбитального полета. |
| Порошковая металлургия | Термическая обработка металлических порошков для создания сложных деталей путем твердофазного спекания без достижения точки плавления. | Вакуумная среда исключает атмосферные газы, вызывающие хрупкость или поверхностное окисление реактивных металлов. |
| Отжиг оптики | Снятие внутренних напряжений в специализированном оптическом стекле или кристаллах посредством медленных, контролируемых фаз охлаждения. | 30-шаговый программируемый ПИД-контроллер позволяет настроить чрезвычайно точные скорости охлаждения для предотвращения термического удара. |
Технические характеристики
Основные характеристики печи (TU-83)
| Параметр | Техническая деталь |
|---|---|
| Нагревательные элементы | 8 шт., дисилицид молибдена (MoSi2), класс 1800°C |
| Максимальная температура | 1650°C |
| Непрерывная рабочая температура | 1600°C |
| Стандартная рабочая трубка | Высокочистый оксид алюминия, 60 мм (внешний диаметр) x 1000 мм (длина) |
| Длина зоны нагрева | 457 мм (18") |
| Зона постоянной температуры | 150 мм (6") с точностью ±1°C |
| Скорость нагрева | ≤ 5°C/мин |
| Точность температуры | ±1°C |
| Тип термопары | Тип B (платино-родиевая) |
| Потребляемая мощность | 6.0 кВт |
| Входное напряжение | AC 208-240В, однофазное, 50/60Гц |
| Габариты печи | 550 x 380 x 520 мм |
Характеристики высоковакуумной станции
| Параметр | Техническая деталь |
|---|---|
| Производитель насоса | Pfeiffer Vacuum (Германия) |
| Скорость откачки азота | 33 л/с |
| Предельное давление | <1E-8 мбар (при отсутствии утечек) |
| Рабочий диапазон | от 1000 мбар до <1E-7 мбар |
| Интерфейс управления | Цифровой ЖК-дисплей с функцией запуска/остановки одной кнопкой |
| Системы защиты | Самозащита от перегрева и перегрузки по току |
| Габариты тележки | 600(Д) x 600(Ш) x 700(В) мм |
| Вакуумметр | Цифровой датчик с мониторингом давления в реальном времени |
Система управления газовым потоком (MFC)
| Параметр | Техническая деталь |
|---|---|
| Количество каналов | 2 канала (стандарт), до 4 каналов (опционально) |
| Материал клапана | Нержавеющая сталь 316 |
| Размер смесительного бака | Φ80 x 120 мм |
| Предел расхода | < 200 SCCM (стандартная конфигурация) |
| Интерфейс управления | 6-дюймовый цветной сенсорный экран с режимом переключения удаленного управления с ПК |
| Предохранительные клапаны | Прецизионные игольчатые клапаны и механические манометры в комплекте |
Почему стоит выбрать эту высокотемпературную систему
Это комплексное решение представляет собой значительную инвестицию в возможности лаборатории, предлагая уровень точности и надежности, с которым не могут сравниться отдельные компоненты. Размещая печь, вакуумную станцию и блок смешивания газов на одной инженерной мобильной платформе, система устраняет сложные проблемы, часто возникающие при настройке оборудования от разных поставщиков. Использование компонентов премиум-класса, таких как турбомолекулярный насос Pfeiffer и нагревательные элементы MoSi2 высокого качества, гарантирует, что система сохраняет эксплуатационную стабильность в течение многих лет интенсивного использования в промышленных R&D средах.
Более того, система разработана с учетом масштабируемости и возможности кастомизации. Если вам требуются дополнительные газовые каналы для сложного CVD с несколькими прекурсорами или обновленные температурные контроллеры от Eurotherm для совместимости с LabVIEW, эта архитектура адаптируется к вашим конкретным исследовательским требованиям. Конструкция, сертифицированная CE, и возможность получения сертификации NRTL/UL/CSA дают отделам закупок уверенность в том, что это оборудование соответствует высочайшим международным стандартам безопасности и качества. Это не просто печь, а полноценная среда термической обработки, созданная для самых сложных задач материаловедения.
Пожалуйста, свяжитесь с нашим отделом технических продаж сегодня для получения подробного коммерческого предложения или обсуждения индивидуальной конфигурации, адаптированной к вашим конкретным исследовательским требованиям.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Высокотемпературная настольная трубчатая печь 1700°C с зоной нагрева 5 дюймов, высокочистой трубкой из оксида алюминия и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта высокотемпературная трубчатая печь 1700°C оснащена зоной нагрева длиной пять дюймов и трубкой из оксида алюминия для передовых материаловедческих исследований. Обеспечивает точный контроль атмосферы и вакуум до 50 мТорр для спекания, отжига и химического осаждения из паровой фазы.
Высокотемпературная трубчатая печь из оксида алюминия 1700°C с зоной нагрева 18 дюймов и вакуумными уплотнительными фланцами
Эта профессиональная трубчатая печь на 1700°C оснащена восемнадцатидюймовой зоной нагрева и трубками из высокочистого оксида алюминия для передовых исследований материалов. Разработанная для работы в вакууме и контролируемой атмосфере, она обеспечивает исключительную термическую стабильность и надежность для сложных лабораторных процессов.
Вертикальная трубчатая печь для сферификации порошков и спекания материалов, 1700°C
Эта система вертикальной трубчатой печи на 1700°C оптимизирует процесс сферификации порошков для электродов аккумуляторов и 3D-печати. Оснащенная автоматическим питателем и двухзонным управлением, установка обеспечивает высокочистую обработку в вакууме или контролируемых атмосферах для превосходных применений в промышленных исследованиях материалов.
Высокотемпературная 1700C шестизонная разъёмная трубчатая печь с трубкой из оксида алюминия и фланцами с водяным охлаждением
Точная шестизонная разъёмная трубчатая печь 1700C, разработанная для исследований материалов и промышленных процессов осаждения из паровой фазы. Эта универсальная система обеспечивает независимое управление температурой в каждой зоне и фланцы, готовые к вакуумной работе, для стабильной термообработки и выполнения передовых задач по разработке материалов, обеспечивая максимальную производительность.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Высокотемпературная трубчатая печь 1800°C для исследований CVD, вакуумного спекания и прецизионной термообработки
Обеспечьте прецизионную термическую обработку с помощью этой высокотемпературной трубчатой печи на 1800°C, оснащенной нагревательными элементами MoSi2 1900 и ПИД-контроллером Shimaden. Разработана для экспериментов CVD, вакуумного отжига и спекания в контролируемой атмосфере в передовых материаловедческих исследованиях или промышленных R&D лабораториях.
Высокотемпературная гибридная муфельная и трубчатая печь 1700°C с программируемым ПИД-контроллером, вакуумными фланцами и трубкой из оксида алюминия
Оптимизируйте рабочее пространство лаборатории с помощью этой универсальной гибридной печи на 1700°C, сочетающей в себе возможности камерной и трубчатой печи. Оснащена 30-сегментным программируемым управлением и совместимостью с высоким вакуумом, что делает ее идеальным решением для прецизионной термической обработки в требовательных средах НИОКР в области материаловедения.
Вертикальная вакуумная трубчатая печь 1700°C с атмосферой и глиноземной трубкой 80 мм
Эта высокоточная вертикальная трубчатая печь обеспечивает исключительную температурную равномерность до 1700°C для синтеза материалов. Благодаря 80-миллиметровой глиноземной трубке и усовершенствованным вакуумным уплотнительным фланцам, она создает стабильную атмосферу для требовательных промышленных НИОКР и специализированных процессов термообработки.
Высокотемпературная вертикальная разъемная трубчатая печь 1700°C для закалки материалов и выращивания монокристаллов
Эта передовая вертикальная разъемная трубчатая печь с температурой 1700°C обеспечивает прецизионную термическую обработку для закалки материалов и выращивания монокристаллов. Система, разработанная для высокоэффективных НИОКР, поддерживает работу в вакууме и оснащена ПИД-регулированием для получения надежных и воспроизводимых результатов в требовательных условиях промышленных исследовательских лабораторий.
Высокотемпературная трубчатая печь с разъемным корпусом (1700°C), вакуумными фланцами, клапанами и глиноземной трубкой 60 мм
Достигайте прецизионной обработки материалов с помощью этой высокотемпературной трубчатой печи (1700°C) с разъемным корпусом, оснащенной глиноземными трубками диаметром 60 мм и вакуумными фланцами. Идеально подходит для научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИОКР), требующих точного контроля атмосферы, передового ПИД-программирования и надежной высокочистой термической обработки в требовательных лабораторных условиях.
Трехзонная высокотемпературная трубчатая печь 1700°C с глиноземной трубой и фланцами с водяным охлаждением
Эта современная трехзонная высокотемпературная трубчатая печь обеспечивает прецизионную термическую обработку при температуре до 1700°C и контроль атмосферы. Система идеально подходит для исследований полупроводников, современной металлургии и спекания керамики, обеспечивая превосходную равномерность нагрева благодаря независимым ПИД-контроллерам температуры.
Трубчатая печь 4 дюйма для высоких температур 1200°C со скользящим фланцем для систем CVD
Эта трубчатая печь 4 дюйма для температур до 1200°C оснащена скользящими фланцами для быстрой загрузки образцов и совместима с высоким вакуумом. Она разработана для прецизионных процессов химического осаждения из газовой фазы и передовых материаловедческих исследований, обеспечивая исключительно надёжную работу в сложных лабораторных условиях.
Высокотемпературная настольная вакуумная трубчатая печь с атмосферным контролем 1750°C с нагревательными элементами Kanthal Super 1800 и процессной трубкой из оксида алюминия 60 мм
Высокопроизводительная вакуумная трубчатая печь 1750°C с нагревательными элементами Kanthal Super-1800 и высокочистой трубкой из оксида алюминия. Идеально подходит для точных исследований материалов, эта система обеспечивает точность ±1°C и программируемое 30-сегментное управление для требовательной лабораторной термообработки и спекания в контролируемой атмосфере.
Высокотемпературная двухзонная вращающаяся трубчатая печь 1500°C с карбид-кремниевыми нагревателями для синтеза передовых материалов
Оптимизируйте термическую обработку с помощью этой высокоточной двухзонной вращающейся трубчатой печи. Благодаря максимальной температуре 1500°C и передовым нагревательным элементам из карбида кремния (SiC), она обеспечивает равномерные результаты для промышленных НИОКР, химического осаждения из газовой фазы и сложных приложений в области материаловедения в лабораториях по всему миру.
Компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь 1800°C с трубкой из оксида алюминия (внешний диаметр 60 мм) и нагревательными элементами Kanthal MoSi2
Эта компактная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь (1800°C) оснащена первоклассными нагревательными элементами Kanthal и трубкой из оксида алюминия с внешним диаметром 60 мм. Разработанная для исследований материалов и процессов спекания, она обеспечивает прецизионную термическую обработку в вакууме или контролируемой атмосфере для лабораторных НИОКР.
Высокотемпературная двухзонная вакуумная трубчатая печь для исследования материалов и процессов CVD
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой высокоточной двухзонной вакуумной трубчатой печи. Разработанная для передовых исследований материалов и процессов CVD, она оснащена независимым контролем температуры, высокой скоростью нагрева и надежной вакуумной герметизацией для получения стабильных результатов термообработки промышленного уровня.
Высокотемпературная вертикальная печь с контролируемой атмосферой, автоматической нижней загрузкой и рабочей температурой до 1700°C для передовых исследований материалов
Усовершенствованная вертикальная вакуумная печь с температурой до 1700°C, оснащенная автоматизированной системой нижней загрузки. Эта высокочистая система, разработанная для прецизионного спекания и отжига, включает камеры с водяным охлаждением и ПИД-контроллер Eurotherm для решения сложных задач промышленных исследований и разработок.
Высокотемпературная разъемная трубчатая печь 1500°C для исследований материалов, вакуумной и атмосферной термической обработки
Эта высокотемпературная разъемная трубчатая печь на 1500°C обеспечивает прецизионную термическую обработку для передовых исследований материалов и промышленного спекания. Она оснащена двухкорпусной конструкцией, встроенным ПИД-регулятором и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для надежной работы в требовательных лабораторных условиях.
Компактная высокотемпературная трубчатая печь (1600°C) с алюмооксидной трубкой 50 мм и вакуумными фланцами для спекания материалов
Расширьте возможности вашей лаборатории с помощью этой компактной высокотемпературной трубчатой печи (1600°C), оснащенной алюмооксидной трубкой 50 мм и вакуумными фланцами. Идеально подходит для спекания материалов и химических исследований, обеспечивая прецизионную термообработку и исключительную надежность для промышленных научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ (НИОКР).
Кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C с зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением
Эта кварцевая трубчатая печь диаметром 1100°C оснащена зоной нагрева 24 дюйма и фланцами с водяным охлаждением для точной обработки методом CVD. Идеально подходит для материаловедческих исследований и промышленных НИОКР, обеспечивая исключительную термическую стабильность и надежные тепловые характеристики.