Вакуумная печь
Вертикальная вакуумная печь 1100°C, высокотемпературная, 8-дюймовая кварцевая камера, система водяного охлаждения фланцев
Артикул: TU-QF02
Доставка: Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Обзор продукта
Эта высокотемпературная вертикальная вакуумно-герметичная система представляет собой вершину технологий термической обработки в области материаловедения и полупроводниковых исследований. Устройство разработано для проведения точных процессов отжига и кальцинации; его специальная вертикальная ориентация оптимизирует рабочее пространство, обеспечивая равномерную температурную среду для крупногабаритных подложек. Оборудование построено на базе сверхпрочной кварцевой камеры, способной достигать рабочих температур до 1100°C при атмосферном давлении, что делает его незаменимым инструментом для лабораторий, занимающихся разработкой высокочистых материалов и современных электронных компонентов.
Система специально спроектирована для работы с полупроводниковыми пластинами диаметром до 8 дюймов, предлагая универсальную платформу как для вакуумной обработки, так и для экспериментов в контролируемой газовой среде. Благодаря интеграции сложного фланца из нержавеющей стали с водяным охлаждением, система сохраняет структурную целостность и долговечность уплотнений даже при длительных высокотемпературных циклах. Это оборудование является предпочтительным выбором для промышленных научно-исследовательских центров и академических учреждений, которым требуется надежное, воспроизводимое и высокопроизводительное решение для термической обработки деликатных подложек.
Созданная для надежной работы в жестких промышленных условиях, эта установка использует высококачественную проволоку сопротивления и передовые огнеупорные материалы для обеспечения стабильной производительности. Каждый компонент, от цифрового контроллера с сертификацией NRTL до механизма уплотнения с двойным силиконовым уплотнительным кольцом, был выбран так, чтобы обеспечить отделам закупок и ведущим инженерам уверенность в долгосрочной эксплуатационной стабильности системы. Устройство обладает надежностью, необходимой для круглосуточных исследовательских сред, где точность и время безотказной работы являются критическими показателями успеха.
Основные характеристики
- Кварцевая камера большой емкости: Система оснащена кварцевой трубкой GE214 большого диаметра (8 дюймов), специально рассчитанной на обработку полупроводниковых пластин и крупных партий образцов материалов с непревзойденной чистотой.
- Усовершенствованный фланец с водяным охлаждением: Встроенная рубашка водяного охлаждения защищает узел вакуумного уплотнения от термической деградации, позволяя фланцу из нержавеющей стали сохранять герметичность при температурах выше 1100°C без расплавления силиконовых уплотнительных колец.
- Прецизионный ПИД-контроль температуры: Цифровой контроллер с сертификацией NRTL предлагает 30 программируемых сегментов для нагрева, охлаждения и выдержки, обеспечивая точность ±1°C, необходимую для чувствительных температурных профилей при производстве полупроводников.
- Превосходные вакуумные характеристики: Устройство спроектировано для бесперебойной работы с высоковакуумными насосными станциями и может достигать уровня вакуума до 10^-5 Торр при использовании турбомолекулярного насоса, что необходимо для чувствительных к кислороду процессов кальцинации и отжига.
- Надежная конструкция нагревательного элемента: Благодаря использованию высококачественной проволоки сопротивления Ni-Cr-Al, система обеспечивает скорость нагрева до 20°C в минуту, сохраняя при этом отличную долговечность при повторяющихся термических циклах.
- Встроенная система безопасности и сигнализации: Оборудование включает встроенные сигналы тревоги при перегреве и выходе из строя термопары, обеспечивая автоматическую защиту как самой печи, так и ценных материалов, находящихся внутри.
- Гибкое управление атмосферой: Система оснащена высокоточными игольчатыми клапанами и несколькими портами для впуска/выпуска газа, что позволяет точно подавать инертные или реактивные газы в процессе нагрева.
- Масштабируемые опции мониторинга: В стандартную комплектацию входит механический вакуумметр, с возможностью установки цифровых вакуумметров и портов связи с ПК для регистрации данных в реальном времени и удаленного мониторинга.
- Высокая грузоподъемность: Вертикальная архитектура камеры усилена для работы с промышленными нагрузками до 40 кг без ущерба для структурной целостности.
Области применения
| Применение | Описание | Ключевое преимущество |
|---|---|---|
| Отжиг полупроводниковых пластин | Обработка пластин диаметром до 8 дюймов для устранения дефектов кристаллической решетки после ионной имплантации. | Точный контроль ±1°C обеспечивает равномерные электрические характеристики по всей поверхности пластины. |
| Кальцинация аэрокосмических материалов | Высокотемпературное окисление и кальцинация композитов с керамической матрицей в вакууме. | Поддержание высокой чистоты за счет бескислородной среды, предотвращающей загрязнение критически важных сплавов. |
| Исследования осаждения тонких пленок | Подготовка подложек и термообработка после осаждения для современных солнечных элементов. | Камера с внутренним диаметром 190 мм позволяет одновременно размещать несколько подложек для высокопроизводительных испытаний. |
| НИОКР твердотельных аккумуляторов | Спекание керамических электролитов и анодных материалов в контролируемой газовой среде. | Надежные системы впуска/выпуска газа позволяют точно контролировать химический состав во время спекания. |
| Стресс-тестирование электронных компонентов | Испытания датчиков и мощных электронных модулей в экстремальных температурных условиях. | Вертикальная ориентация позволяет использовать специальные приспособления и оснастку, минимизирующие деформацию компонентов. |
| Вакуумная дегазация | Удаление захваченных газов из специальных стекол или металлических порошков перед литьем. | Высокий вакуум (10^-5 Торр) обеспечивает полное удаление летучих веществ для достижения превосходной плотности материала. |
Технические характеристики
| Характеристика | Детали для TU-QF02 |
|---|---|
| Напряжение | Однофазное 208–240 В перем. тока / 50/60 Гц |
| Максимальная мощность | 3 кВт (установлен автоматический выключатель на 25 А) |
| Макс. рабочая температура (атмосфера) | < 1100°C |
| Макс. рабочая температура (вакуум) | < 1000°C |
| Опциональная макс. температура | 1150°C (с модернизированной кварцевой трубкой GE214) |
| Скорость нагрева | Рекомендуемая: 10°C/мин; Макс.: < 20°C/мин |
| Нагревательные элементы | Проволока сопротивления Ni-Cr-Al |
| Размеры кварцевой трубки | Ø200 × Ø190 × В425 мм |
| Максимальная грузоподъемность | 40 кг |
| Эффективная зона нагрева | Ø240 × В245 мм |
| Узел фланца | Нержавеющая сталь с двойными высокотемпературными силиконовыми уплотнительными кольцами и рубашкой водяного охлаждения |
| Управление газом | Один вход 1/4" и один выход с игольчатыми клапанами |
| Вакуумный порт | Встроенный порт KF25 для подключения насоса |
| Уровень вакуума (механический насос) | 10^-2 Торр в течение 30 минут (без теплового блока) |
| Уровень вакуума (турбонасос) | 10^-5 Торр в течение 30 минут (при 900°C с кварцевым тепловым блоком) |
| Температурный контроллер | 30-сегментный ПИД-контроллер, сертификация NRTL |
| Точность температуры | ± 1 ºC (стандарт); ± 0.1 ºC (опция Eurotherm) |
| Вакуумметр | Механический манометр (-0.1 до 0.15 МПа); опционально цифровой манометр |
| Соответствие стандартам | Сертификат CE (NRTL/CSA по запросу) |
| Требования к охлаждению | Поток воды 16 л/мин для защиты фланца |
| Коммуникация | Стандартный порт связи DB9 для ПК включен |
Почему стоит выбрать TU-QF02
- Точность для масштабируемых задач: В отличие от стандартных лабораторных печей, эта система обеспечивает огромную зону обработки диаметром 8 дюймов, позволяя осуществлять прямой переход от НИОКР с малыми образцами к пилотному производству без изменения параметров нагрева.
- Превосходное управление температурой: Интеграция системы фланцев с водяным охлаждением гарантирует, что даже при максимальных температурах герметичность остается неизменной, что продлевает срок службы расходных материалов и значительно снижает затраты на техническое обслуживание.
- Адаптируемая вакуумная архитектура: Независимо от того, требуется ли вам базовый механический вакуум или сверхвысокий вакуум с помощью турбомолекулярных насосов, гибкий интерфейс KF25 и высококачественные клапаны из нержавеющей стали поддержат ваши специфические технологические потребности.
- Сертифицированная безопасность и надежность: Благодаря контроллерам с сертификацией NRTL и соответствию стандартам CE, это оборудование отвечает строгим требованиям безопасности и качества, предъявляемым в современном промышленном производстве и высокотехнологичных исследовательских центрах.
- Настраиваемые параметры управления: От высокоточных контроллеров Eurotherm до цифровых станций смешивания газов — мы обеспечиваем модульность оборудования, необходимую для адаптации системы под специализированные протоколы обработки материалов.
Наша техническая команда готова помочь вам с индивидуальной конфигурацией или официальным коммерческим предложением для вашего предприятия. Свяжитесь с нами сейчас, чтобы обсудить, как эта вертикальная вакуумная система может расширить ваши возможности термической обработки.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Компактная вертикальная вакуумная трубчатая печь с верхней загрузкой (1100°C) для плавки благородных металлов и материаловедческих исследований
Эта компактная вертикальная вакуумная трубчатая печь с верхней загрузкой (1100°C) обеспечивает создание глубокого вакуума для плавки благородных металлов и научных исследований. Оснащена точным ПИД-регулятором и износостойкими нагревательными элементами для надежной и стабильной работы в требовательных лабораторных и промышленных условиях.
Вертикальная вакуумная трубчатая печь 1700°C с атмосферой и глиноземной трубкой 80 мм
Эта высокоточная вертикальная трубчатая печь обеспечивает исключительную температурную равномерность до 1700°C для синтеза материалов. Благодаря 80-миллиметровой глиноземной трубке и усовершенствованным вакуумным уплотнительным фланцам, она создает стабильную атмосферу для требовательных промышленных НИОКР и специализированных процессов термообработки.
Вакуумная вертикальная трубчатая печь 500C, образец 84 мм OD, система вращения и подъёма
Эта превосходная вакуумная вертикальная трубчатая печь обладает высокотемпературными возможностями и муллитовой трубкой с внешним диаметром 84 мм, а также системами вращения образца и ручного подъёма, обеспечивая равномерное спекание для передовых исследований материалов и промышленных процессов термообработки. Инженерное совершенство обеспечивает надёжность.
Высокотемпературная вертикальная печь с контролируемой атмосферой 1700°C, автоматической нижней загрузкой и вакуумной термосистемой объемом 13 литров
Достигайте превосходных результатов термической обработки с помощью этой вертикальной печи с контролируемой атмосферой (1700°C), оснащенной автоматической нижней загрузкой, точными контроллерами Eurotherm и возможностями глубокого вакуума для передовых исследований материалов и сложных промышленных R&D задач.
Трёхзонная нагревательная разъёмная вертикальная трубчатая печь 1700°C — высокотемпературная вакуумная атмосферная термообрабатывающая система
Передовая трёхзонная разъёмная вертикальная трубчатая печь на 1700°C для промышленного НИОКР и материаловедческих применений. Эта прецизионная система отличается независимым терморегулированием, возможностью создания высокого вакуума и энергоэффективной теплоизоляцией, обеспечивая стабильную высокотемпературную обработку и быстрые результаты закалки образцов.
Компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь с вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической закалки и обработки материалов в контролируемой атмосфере
Эта компактная вертикальная разъемная кварцевая трубчатая печь, разработанная для высокоточных исследований, обеспечивает быстрый нагрев до 1100°C. Оснащенная вакуумными фланцами из нержавеющей стали и 30-сегментным программируемым управлением, она является незаменимым инструментом для материаловедения и промышленных процессов закалки. Надежная производительность.
Вертикальная открываемая трубчатая печь 0-1700°C, высокотемпературная лабораторная система для CVD и вакуумной термообработки
Спроектированная для передовых исследований материалов, эта вертикальная открываемая трубчатая печь на 1700°C оснащена прецизионным трехзонным нагревом и возможностями быстрого закаливания. Идеальна для процессов CVD и вакуумного отжига, она обеспечивает промышленную надежность, контроль атмосферы и модульную гибкость для требовательных сред НИОКР.
Большая вертикальная трехзонная трубчатая печь с кварцевой трубой диаметром 8 или 11 дюймов и высоковакуумными фланцами, 1200°C
Наша спроектированная высокопроизводительная вертикальная трехзонная печь предлагает независимое термическое управление и совместимость с массивной 11-дюймовой кварцевой трубой, обеспечивая превосходную равномерность и повышенную вакуумную герметичность для критических промышленных процессов отжига, спекания, исследований и разработки современного материаловедения в требовательных лабораторных условиях
Разрывная вертикальная трубчатая печь с кварцевой трубкой 1200°C и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для быстрой термической обработки
Максимизируйте эффективность исследований с этой разрывной вертикальной трубчатой печью 1200°C, оснащенной 5-дюймовой кварцевой трубкой и точным ПИД-регулированием для быстрого закаливания, вакуумной обработки и современного синтеза материалов в требовательных лабораторных условиях промышленности.
Вертикальная трубчатая печь с разъемным корпусом 1100°C, кварцевой трубкой 80 мм и вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Эта высокопроизводительная вертикальная трубчатая печь с разъемным корпусом (1100°C) оснащена кварцевой трубкой диаметром 80 мм, вакуумными фланцами из нержавеющей стали и точным 30-сегментным ПИД-контроллером. Разработана для НИОКР в области материалов, быстрой закалки и термической обработки в контролируемой атмосфере в профессиональных промышленных лабораториях.
Вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C, 5 дюймов, с вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Высокопроизводительная вертикальная кварцевая трубчатая печь 1200°C с рабочей камерой диаметром 5 дюймов и вакуумными фланцами из нержавеющей стали. Прецизионное 30-сегментное ПИД-управление обеспечивает точность термической обработки для НИОКР в области материаловедения, CVD-процессов и специализированных задач закалки в контролируемой атмосфере.
Пятизонная разъемная вертикальная трубчатая печь, макс. 1200°C, с кварцевой трубкой 4 дюйма и вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Эта высокопроизводительная пятизонная разъемная вертикальная трубчатая печь 1200°C оснащена пятью независимыми зонами нагрева и кварцевой трубкой диаметром 4 дюйма, обеспечивая исключительную равномерность температуры и возможность быстрого закаливания для передовых исследований материалов и промышленной термообработки.
Вертикальная трубчатая печь для сферификации порошков и спекания материалов, 1700°C
Эта система вертикальной трубчатой печи на 1700°C оптимизирует процесс сферификации порошков для электродов аккумуляторов и 3D-печати. Оснащенная автоматическим питателем и двухзонным управлением, установка обеспечивает высокочистую обработку в вакууме или контролируемых атмосферах для превосходных применений в промышленных исследованиях материалов.
Высокотемпературная вертикальная печь с контролируемой атмосферой, автоматической нижней загрузкой и рабочей температурой до 1700°C для передовых исследований материалов
Усовершенствованная вертикальная вакуумная печь с температурой до 1700°C, оснащенная автоматизированной системой нижней загрузки. Эта высокочистая система, разработанная для прецизионного спекания и отжига, включает камеры с водяным охлаждением и ПИД-контроллер Eurotherm для решения сложных задач промышленных исследований и разработок.
1200C Трёхзонная раздельная вертикальная трубчатая печь с 4-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами из нержавеющей стали
Эта трёхзонная раздельная вертикальная трубчатая печь 1200C оснащена 4-дюймовой кварцевой трубкой и вакуумными фланцами из нержавеющей стали для высокоточной термообработки. Идеально подходящая для закалки и синтеза материалов, эта надёжная система обеспечивает равномерный нагрев и быстрый доступ для загрузки образцов.
Вакуумная тигельная печь 1100°C с кварцевой камерой для термообработки и спекания
Эта вакуумная тигельная печь 1100°C оснащена кварцевой камерой для точной термообработки. Предназначена для спекания и термической обработки в вакууме или инертной атмосфере, она обеспечивает стабильные результаты для исследований в области материаловедения, промышленной инженерии и профессиональных научно-исследовательских лабораторий.
Высокотемпературная вакуумная камерная печь с холодными стенками 1400°C для передовых исследований материалов
Оптимизируйте свои исследования с помощью этой вакуумной камерной печи с холодными стенками, работающей при температуре до 1400°C. Она оснащена камерой из нержавеющей стали с водяным охлаждением и цельнометаллической теплоизоляцией для сверхчистой обработки, обеспечивая уровень вакуума 1e-6 торр для высокочистой термической обработки и разработки перспективных материалов.
Высокотемпературная вакуумная печь с холодными стенками для спекания и отжига передовых материалов, 1600°C, зона нагрева 200x200x300 мм
Эта высокотемпературная вакуумная печь с холодными стенками обеспечивает термическую обработку при температуре 1600°C в чистой металлической зоне нагрева. Благодаря встроенному чиллеру и прецизионному контроллеру Eurotherm, она гарантирует отсутствие загрязнений, что идеально подходит для передовых исследований в области металлургии и материаловедения.
Компактная вакуумная камерная печь, макс. 1050°C, 6,2 л, керамическая камера, корпус из нержавеющей стали, программируемый терморегулятор для исследований в области материаловедения
Оптимизируйте лабораторную термическую обработку с помощью этой вакуумной камерной печи на 1050°C с керамической камерой объемом 6,2 л и возможностью создания вакуума до 10⁻⁴ торр. Идеально подходит для спекания, отжига и термообработки в контролируемой атмосфере или в условиях прецизионного вакуума для высокоуровневых промышленных исследований.
Компактная высоковакуумная трубчатая печь 1200°C со встроенной турбомолекулярной насосной системой и зоной нагрева 8 дюймов
Эта компактная высоковакуумная трубчатая печь 1200°C оснащена встроенной турбомолекулярной насосной системой, обеспечивающей вакуум 10^-5 торр. Идеально подходит для НИОКР в области материаловедения; она предлагает точное ПИД-управление, зону нагрева 8 дюймов и прочную кварцевую трубку для обработки.
