Вертикальная вакуумная печь 1100°C, высокотемпературная, 8-дюймовая кварцевая камера, система водяного охлаждения фланцев

Обзор продукта

Эта высокотемпературная вертикальная вакуумно-герметичная система представляет собой вершину технологий термической обработки в области материаловедения и полупроводниковых исследований. Устройство разработано для проведения точных процессов отжига и кальцинации; его специальная вертикальная ориентация оптимизирует рабочее пространство, обеспечивая равномерную температурную среду для крупногабаритных подложек. Оборудование построено на базе сверхпрочной кварцевой камеры, способной достигать рабочих температур до 1100°C при атмосферном давлении, что делает его незаменимым инструментом для лабораторий, занимающихся разработкой высокочистых материалов и современных электронных компонентов.

Система специально спроектирована для работы с полупроводниковыми пластинами диаметром до 8 дюймов, предлагая универсальную платформу как для вакуумной обработки, так и для экспериментов в контролируемой газовой среде. Благодаря интеграции сложного фланца из нержавеющей стали с водяным охлаждением, система сохраняет структурную целостность и долговечность уплотнений даже при длительных высокотемпературных циклах. Это оборудование является предпочтительным выбором для промышленных научно-исследовательских центров и академических учреждений, которым требуется надежное, воспроизводимое и высокопроизводительное решение для термической обработки деликатных подложек.

Созданная для надежной работы в жестких промышленных условиях, эта установка использует высококачественную проволоку сопротивления и передовые огнеупорные материалы для обеспечения стабильной производительности. Каждый компонент, от цифрового контроллера с сертификацией NRTL до механизма уплотнения с двойным силиконовым уплотнительным кольцом, был выбран так, чтобы обеспечить отделам закупок и ведущим инженерам уверенность в долгосрочной эксплуатационной стабильности системы. Устройство обладает надежностью, необходимой для круглосуточных исследовательских сред, где точность и время безотказной работы являются критическими показателями успеха.

Основные характеристики

• Кварцевая камера большой емкости: Система оснащена кварцевой трубкой GE214 большого диаметра (8 дюймов), специально рассчитанной на обработку полупроводниковых пластин и крупных партий образцов материалов с непревзойденной чистотой.
• Усовершенствованный фланец с водяным охлаждением: Встроенная рубашка водяного охлаждения защищает узел вакуумного уплотнения от термической деградации, позволяя фланцу из нержавеющей стали сохранять герметичность при температурах выше 1100°C без расплавления силиконовых уплотнительных колец.
• Прецизионный ПИД-контроль температуры: Цифровой контроллер с сертификацией NRTL предлагает 30 программируемых сегментов для нагрева, охлаждения и выдержки, обеспечивая точность ±1°C, необходимую для чувствительных температурных профилей при производстве полупроводников.
• Превосходные вакуумные характеристики: Устройство спроектировано для бесперебойной работы с высоковакуумными насосными станциями и может достигать уровня вакуума до 10^-5 Торр при использовании турбомолекулярного насоса, что необходимо для чувствительных к кислороду процессов кальцинации и отжига.
• Надежная конструкция нагревательного элемента: Благодаря использованию высококачественной проволоки сопротивления Ni-Cr-Al, система обеспечивает скорость нагрева до 20°C в минуту, сохраняя при этом отличную долговечность при повторяющихся термических циклах.
• Встроенная система безопасности и сигнализации: Оборудование включает встроенные сигналы тревоги при перегреве и выходе из строя термопары, обеспечивая автоматическую защиту как самой печи, так и ценных материалов, находящихся внутри.
• Гибкое управление атмосферой: Система оснащена высокоточными игольчатыми клапанами и несколькими портами для впуска/выпуска газа, что позволяет точно подавать инертные или реактивные газы в процессе нагрева.
• Масштабируемые опции мониторинга: В стандартную комплектацию входит механический вакуумметр, с возможностью установки цифровых вакуумметров и портов связи с ПК для регистрации данных в реальном времени и удаленного мониторинга.
• Высокая грузоподъемность: Вертикальная архитектура камеры усилена для работы с промышленными нагрузками до 40 кг без ущерба для структурной целостности.

Области применения

Технические характеристики

Почему стоит выбрать TU-QF02

• Точность для масштабируемых задач: В отличие от стандартных лабораторных печей, эта система обеспечивает огромную зону обработки диаметром 8 дюймов, позволяя осуществлять прямой переход от НИОКР с малыми образцами к пилотному производству без изменения параметров нагрева.
• Превосходное управление температурой: Интеграция системы фланцев с водяным охлаждением гарантирует, что даже при максимальных температурах герметичность остается неизменной, что продлевает срок службы расходных материалов и значительно снижает затраты на техническое обслуживание.
• Адаптируемая вакуумная архитектура: Независимо от того, требуется ли вам базовый механический вакуум или сверхвысокий вакуум с помощью турбомолекулярных насосов, гибкий интерфейс KF25 и высококачественные клапаны из нержавеющей стали поддержат ваши специфические технологические потребности.
• Сертифицированная безопасность и надежность: Благодаря контроллерам с сертификацией NRTL и соответствию стандартам CE, это оборудование отвечает строгим требованиям безопасности и качества, предъявляемым в современном промышленном производстве и высокотехнологичных исследовательских центрах.
• Настраиваемые параметры управления: От высокоточных контроллеров Eurotherm до цифровых станций смешивания газов — мы обеспечиваем модульность оборудования, необходимую для адаптации системы под специализированные протоколы обработки материалов.

Наша техническая команда готова помочь вам с индивидуальной конфигурацией или официальным коммерческим предложением для вашего предприятия. Свяжитесь с нами сейчас, чтобы обсудить, как эта вертикальная вакуумная система может расширить ваши возможности термической обработки.